JPS59137965U - マグネトロン型スパツタカソ−ド - Google Patents

マグネトロン型スパツタカソ−ド

Info

Publication number
JPS59137965U
JPS59137965U JP2983783U JP2983783U JPS59137965U JP S59137965 U JPS59137965 U JP S59137965U JP 2983783 U JP2983783 U JP 2983783U JP 2983783 U JP2983783 U JP 2983783U JP S59137965 U JPS59137965 U JP S59137965U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cathode
spatuta
magnetron type
magnet
target
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2983783U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6142903Y2 (ja
Inventor
隆 松本
藤岡　俊昭
泉 中山
Original Assignee
日本真空技術株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本真空技術株式会社 filed Critical 日本真空技術株式会社
Priority to JP2983783U priority Critical patent/JPS59137965U/ja
Publication of JPS59137965U publication Critical patent/JPS59137965U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6142903Y2 publication Critical patent/JPS6142903Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来例の截断側面図、第２図はそのカソード部
分の斜視図、第３図は従来の電磁石式カソードの截断側
面図、第４図はそのカソード部分の斜視図、第５図及び
第６図は磁束密度の値を示す平面図、第７図は本考案の
実施例の截断側面図、　　、第８図はそのカソード部分
の平面線図、第９図はその磁束密度の値を示す平面図で
ある。 １・・・ターゲット、２・・・第１磁石、３・・・第２
磁石、４．５・・・電源、６．７・・・電磁石。 第４図　　− 第５図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ターゲット１の背後に、中央部の第１磁石２とその外周
    の環状の第２磁石３とを設ｐｊで該ターゲット１の前方
    に磁界を得る式のものに於て、該第１磁石２を電源４に
    接続した電磁石６で構成すると共に第２磁石３を複数の
    電源５に接続した複数個の電磁石７により全体環状に構
    成して成るマグネトロン型スパンタカソード。
JP2983783U 1983-03-03 1983-03-03 マグネトロン型スパツタカソ−ド Granted JPS59137965U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2983783U JPS59137965U (ja) 1983-03-03 1983-03-03 マグネトロン型スパツタカソ−ド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2983783U JPS59137965U (ja) 1983-03-03 1983-03-03 マグネトロン型スパツタカソ−ド

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59137965U true JPS59137965U (ja) 1984-09-14
JPS6142903Y2 JPS6142903Y2 (ja) 1986-12-05

Family

ID=30160708

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2983783U Granted JPS59137965U (ja) 1983-03-03 1983-03-03 マグネトロン型スパツタカソ−ド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59137965U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62142765A (ja) * 1985-12-17 1987-06-26 Rohm Co Ltd マグネトロンスパツタにおける膜厚調整方法
WO2009057715A1 (ja) * 2007-10-31 2009-05-07 Canon Anelva Corporation マグネトロンユニット、マグネトロンスパッタリング装置及び電子デバイスの製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62142765A (ja) * 1985-12-17 1987-06-26 Rohm Co Ltd マグネトロンスパツタにおける膜厚調整方法
WO2009057715A1 (ja) * 2007-10-31 2009-05-07 Canon Anelva Corporation マグネトロンユニット、マグネトロンスパッタリング装置及び電子デバイスの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6142903Y2 (ja) 1986-12-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5859368U (ja) 直流モ−タ用磁気回路
JPS59137965U (ja) マグネトロン型スパツタカソ−ド
JPS60166110U (ja) 磁界発生装置
JPS59173252U (ja) マグネトロン
JPS58181029U (ja) 電磁連結装置
JPS5825818U (ja) 磁気軸受装置
JPS59131128U (ja) Ｅｉ型フエライトコア
JPS6049153U (ja) スパッタ装置のカソ−ド
JPS59173965U (ja) マグネトロン装置
JPS5925718U (ja) 磁性粉体式電磁連結装置
JPS5868657U (ja) 磁界型電子レンズ
JPS62151299U (ja)
JPS59164216U (ja) 釈放型アクチユエ−タ
JPS6062845U (ja) ロ−タ−装置
JPS59104694U (ja) 同軸型２ウエイスピ−カ
JPS58158000U (ja) 真空ダクト
JPS58176581U (ja) 小形直流モ−タ用マグネツト
JPS6016523U (ja) 磁心
JPS5964876U (ja) 吊り上げ電磁石
JPS59111391U (ja) 平面形スピ−カ−
JPS58115885U (ja) 磁石モ−タ−
JPS5841567U (ja) 電子ビ−ム集束用磁気回路
JPS593693U (ja) 電気音響変換器の磁気回路
JPS62158608U (ja)
JPS58120549U (ja) 磁石内蔵型マグネトロン