JPS5868657U - 磁界型電子レンズ - Google Patents

磁界型電子レンズ

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Publication number
JPS5868657U
JPS5868657U JP16377381U JP16377381U JPS5868657U JP S5868657 U JPS5868657 U JP S5868657U JP 16377381 U JP16377381 U JP 16377381U JP 16377381 U JP16377381 U JP 16377381U JP S5868657 U JPS5868657 U JP S5868657U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
field type
magnetic field
type electron
lens
Prior art date
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Pending
Application number
JP16377381U
Other languages
English (en)
Inventor
野村　節生
秀男 戸所
成人 砂子沢
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の磁界電子レンズの断面図、第２図は磁界
型電子レンズにおける磁束分布の説明図、第３図は磁極
が磁気飽和したレンズの磁極付近の磁束分布とレンズ軸
における磁束密度の分布、第４図は磁気飽和のないレン
ズの磁極付近における磁束分布とレンズ軸上の磁束密度
分布、第５図は本考案の１実施例、第６図、第７図は本
考案の他の実施例である。 １・・・励磁コイル、２・・・磁気ヨーク、３・・・磁
極、４・・・レンズ中心軸、５・・・レンズ軸上の磁束
密度に寄与する磁束、６・・・レンズの軸上磁束密度に
直接寄与しない磁束、７・・・レンズ軸における磁束密
度分布、８・・・鉄で作った磁極、９・・・パーメンジ
ュールで作った円筒状部分。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. コイルもしくは永久磁石と磁気ヨークと磁極からなる磁
    界型電子レンズにおいて該磁極のレンズ軸に対面した磁
    極孔内面部分に該磁極より大きい飽和磁化を有する円筒
    状磁性体部分を設けたことを特徴とする磁界型電子レン
    ズ。
JP16377381U 1981-11-04 1981-11-04 磁界型電子レンズ Pending JPS5868657U (ja)

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JP16377381U JPS5868657U (ja) 1981-11-04 1981-11-04 磁界型電子レンズ

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JP16377381U JPS5868657U (ja) 1981-11-04 1981-11-04 磁界型電子レンズ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5868657U true JPS5868657U (ja) 1983-05-10

Family

ID=29956056

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16377381U Pending JPS5868657U (ja) 1981-11-04 1981-11-04 磁界型電子レンズ

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Country Link
JP (1) JPS5868657U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08124505A (ja) * 1994-10-27 1996-05-17 Nikon Corp 電磁レンズ及び該電磁レンズの製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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