JPH02110166U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02110166U JPH02110166U JP1914189U JP1914189U JPH02110166U JP H02110166 U JPH02110166 U JP H02110166U JP 1914189 U JP1914189 U JP 1914189U JP 1914189 U JP1914189 U JP 1914189U JP H02110166 U JPH02110166 U JP H02110166U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- anode
- view
- circuit
- starting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第1図は一般的なペニング真空計の切断側面図
、第2図は本考案の起動用フイラメント回路をも
つペニング真空計の切断側面図、第3図は本考案
の陽極回路に起動用フイラメント回路をもつ、磁
極方向から見た陽極回路の正面図、第4図は本考
案のフイラメントの保護板をもつ陽極回路の正面
図、第5図は本考案の起動用フイラメントをイオ
ン流より遠ざけた陽極回路の正面図である。 1……リング状陽極、2……真空容器、3……
陽極ハーメチツクシール、4……陰極、5……接
続口、6……磁石、7……高圧電源、8……フイ
ラメント・ハーメチツクシール、9……起動用フ
イラメント、10……2極陽極ハーメチツクシー
ル、11……分割形リング状陽極、12……起動
用フイラメント電源、13……遮蔽板。
、第2図は本考案の起動用フイラメント回路をも
つペニング真空計の切断側面図、第3図は本考案
の陽極回路に起動用フイラメント回路をもつ、磁
極方向から見た陽極回路の正面図、第4図は本考
案のフイラメントの保護板をもつ陽極回路の正面
図、第5図は本考案の起動用フイラメントをイオ
ン流より遠ざけた陽極回路の正面図である。 1……リング状陽極、2……真空容器、3……
陽極ハーメチツクシール、4……陰極、5……接
続口、6……磁石、7……高圧電源、8……フイ
ラメント・ハーメチツクシール、9……起動用フ
イラメント、10……2極陽極ハーメチツクシー
ル、11……分割形リング状陽極、12……起動
用フイラメント電源、13……遮蔽板。
Claims (1)
- 内部に、熱電子発生用フイラメントを設けたこ
とを特徴とするペニング放電装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1914189U JPH02110166U (ja) | 1989-02-21 | 1989-02-21 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1914189U JPH02110166U (ja) | 1989-02-21 | 1989-02-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02110166U true JPH02110166U (ja) | 1990-09-04 |
Family
ID=31234389
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1914189U Pending JPH02110166U (ja) | 1989-02-21 | 1989-02-21 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02110166U (ja) |
-
1989
- 1989-02-21 JP JP1914189U patent/JPH02110166U/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH02110166U (ja) | ||
US3244933A (en) | Device of the kind comprising a highpower klystron with getter ion pump connected thereto | |
EP0469631A3 (en) | Ion pump and vacuum pumping unit using the same | |
JPH0295148U (ja) | ||
JPS5974659U (ja) | イオン注入装置のイオン発生装置 | |
JPS6370651U (ja) | ||
JPS62193659U (ja) | ||
JPH0332348U (ja) | ||
JPS63165750U (ja) | ||
JPH02129650U (ja) | ||
JPH034456U (ja) | ||
JPH0394753U (ja) | ||
JPH0229150U (ja) | ||
JPH0166744U (ja) | ||
JPS60139241U (ja) | 荷電粒子分析器の電離真空計 | |
JPS6033749U (ja) | 電界放射型電子銃 | |
JPS62193656U (ja) | ||
JPH03100349U (ja) | ||
JPH0472548U (ja) | ||
JPH03109258U (ja) | ||
JPH03103550U (ja) | ||
JPH0298451U (ja) | ||
JPS60102647U (ja) | ペニング真空計 | |
JPS6319745U (ja) | ||
JPS6113456U (ja) | 線形カソ−ド形電子線照射装置 |