JPS60139241U - 荷電粒子分析器の電離真空計 - Google Patents

荷電粒子分析器の電離真空計

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JPS60139241U
JPS60139241U JP2706584U JP2706584U JPS60139241U JP S60139241 U JPS60139241 U JP S60139241U JP 2706584 U JP2706584 U JP 2706584U JP 2706584 U JP2706584 U JP 2706584U JP S60139241 U JPS60139241 U JP S60139241U
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JP
Japan
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charged particle
particle analyzer
ionization vacuum
vacuum gauge
ionization
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JP2706584U
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Inventor
浩 竹内
好夫 北
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日本原子力研究所
株式会社東芝
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は従来の荷電粒子分析器の電離真空計
を示す概略構成図、第３図は本考案の実施例に係る荷電
粒子分析器の電離真空計を示す概　。 略構成図、第４図、第５図及び第６図は本考案め−他の
実施例に係る荷電粒子分析器の電離真空計を示す概略構
成図、第７図は第６図中の補助電極の讐〒″″’ｉｗ；
＊ｉｉ、２−’Ｉ＃Ｘ’！ｇ＋、１０−００、容器、１
０ａ・・・開口部、１０ｂ・・・折曲部、１１・・・フ
ィラメント、１２・・・グリッド、１３・・・コレツ　
　　　　□夕、２０．２０’・・・第１の補助電極、２
１．２４・・・直流電源、２２・・・筒状部材、２２ａ
・・・開口部、　　　　−２３，２３’・・・第２の補
助電極。 １’、　　１七ｔｊ １．ＩＩＩ■、Ｆｊｉ

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　真空系である荷電粒子分析器と連通ずる容器内に陰
    極と陽極を収容し、この陰極と陽極で真空系内の気体分
    子をイオン化してこれによって生ずる電離重環を測定し
    、前記荷電粒子分析器内の真空度を求める荷電粒子分析
    器の電離真空前記容器の真空系と連通ずる開口部に、前
    記、　　　　　陰極に対して所定の電位をもつ補助電極
    を配設５、シたことを特徴とする荷電粒子分析器の電離
    真−空計。 ２　実用新案登録請求の範囲第１項記載の電離真空計に
    おいて、前記電離真空計は、熱電子を放出するフィラメ
    ントと熱電子を引きだすグリッドとイオンを集めるコレ
    クタとを前記容器内に”　　収容して構成し−た荷電粒
    子分析器の電離真空計。 ３　実用新案登録請求の範囲第２項記載の電離真−空計
    において、前記補助電極は前記フィラメントに対して、
    正の電位をもつ荷電粒子分析器め電離真空計。　　　　
    ゛ ４°実用新案登録請求の範囲第２項記載の電離真空計に
    おいて、前記補助電極は前記フィラメントに対して正の
    電位をもつ第１の電極と、前記フィラメントに対して負
    の電位をもつ第２の電極とを具えた荷電粒子分析器の電
    離真空計。
JP2706584U 1984-02-27 1984-02-27 荷電粒子分析器の電離真空計 Granted JPS60139241U (ja)

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JPH0338669Y2 JPH0338669Y2 (ja) 1991-08-15

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010511875A (ja) * 2006-12-06 2010-04-15 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 真空圧力測定装置のための電子源
JP2013072695A (ja) * 2011-09-27 2013-04-22 Ulvac Japan Ltd 熱陰極電離真空計

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5255575A (en) * 1975-10-31 1977-05-07 Hitachi Ltd Vacuum degree measuring element for vacuum valve
JPS5258590A (en) * 1975-11-10 1977-05-14 Hitachi Ltd Ion number counter device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5255575A (en) * 1975-10-31 1977-05-07 Hitachi Ltd Vacuum degree measuring element for vacuum valve
JPS5258590A (en) * 1975-11-10 1977-05-14 Hitachi Ltd Ion number counter device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010511875A (ja) * 2006-12-06 2010-04-15 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 真空圧力測定装置のための電子源
JP2013072695A (ja) * 2011-09-27 2013-04-22 Ulvac Japan Ltd 熱陰極電離真空計

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