JPH034456U - - Google Patents
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- JPH034456U JPH034456U JP6396489U JP6396489U JPH034456U JP H034456 U JPH034456 U JP H034456U JP 6396489 U JP6396489 U JP 6396489U JP 6396489 U JP6396489 U JP 6396489U JP H034456 U JPH034456 U JP H034456U
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- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本案の一実施例の電子銃構成図、第２
図はＴｉ／Ｗ陰極の構成図、第３図は本案の一実
施例のカバーの断面図である。 １…真空容器、２…イオンポンプ、３…イオン
ポンプ、４…チツプ、５…フイラメント、６…陽
極、７…陽極、８…高圧電源、９…加速電源、１
０…引出電源、１１…フイラメント電源、１２…
フイラメント、１３…チタン線、１４…チタン補
給源、１５…Ｗ〈１００〉チツプ。
図はＴｉ／Ｗ陰極の構成図、第３図は本案の一実
施例のカバーの断面図である。 １…真空容器、２…イオンポンプ、３…イオン
ポンプ、４…チツプ、５…フイラメント、６…陽
極、７…陽極、８…高圧電源、９…加速電源、１
０…引出電源、１１…フイラメント電源、１２…
フイラメント、１３…チタン線、１４…チタン補
給源、１５…Ｗ〈１００〉チツプ。
Claims (1)
- 真空容器と真空に排気するための真空ポンプと
荷電粒子を放出する粒子源と、前記粒子源と同電
位の粒子源を保持するホルダーと高電圧を印加す
る絶縁碍子と電極等からなる荷電粒子銃において
ホルダーと同電位の金属カバーを設けたことを特
徴とする荷電粒子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6396489U JPH034456U (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6396489U JPH034456U (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH034456U true JPH034456U (ja) | 1991-01-17 |
Family
ID=31594484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6396489U Pending JPH034456U (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH034456U (ja) |
-
1989
- 1989-06-02 JP JP6396489U patent/JPH034456U/ja active Pending
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