JPH0333946U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0333946U JPH0333946U JP9521489U JP9521489U JPH0333946U JP H0333946 U JPH0333946 U JP H0333946U JP 9521489 U JP9521489 U JP 9521489U JP 9521489 U JP9521489 U JP 9521489U JP H0333946 U JPH0333946 U JP H0333946U
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- JP
- Japan
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- ion source
- plasma generation
- plasma
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- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン源
を示す断面図である。第２図は、従来のイオン源
の一例を示す断面図である。 ２……プラズマ生成容器、４……フイラメント
、１０……イオンビーム、１６……放電ギヤツプ
、２０……放電用電源。
を示す断面図である。第２図は、従来のイオン源
の一例を示す断面図である。 ２……プラズマ生成容器、４……フイラメント
、１０……イオンビーム、１６……放電ギヤツプ
、２０……放電用電源。
Claims (1)
- プラズマ生成容器内でアーク放電を起こさせて
プラズマを生成させる構成のイオン源において、
前記プラズマ生成容器内に放電ギヤツプを設けた
ことを特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9521489U JPH0333946U (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9521489U JPH0333946U (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0333946U true JPH0333946U (ja) | 1991-04-03 |
Family
ID=31644492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9521489U Pending JPH0333946U (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0333946U (ja) |
-
1989
- 1989-08-11 JP JP9521489U patent/JPH0333946U/ja active Pending