JPH0357549U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0357549U JPH0357549U JP11893689U JP11893689U JPH0357549U JP H0357549 U JPH0357549 U JP H0357549U JP 11893689 U JP11893689 U JP 11893689U JP 11893689 U JP11893689 U JP 11893689U JP H0357549 U JPH0357549 U JP H0357549U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- source head
- extraction electrode
- electrode system
- slit
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 5
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
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- Pulleys (AREA)
Description
第１図は、この考案に係るイオン注入装置の一
使用態様を示す要部断面図である。第２図は、こ
の考案に係るイオン注入装置の他の使用態様を示
す要部断面図である。 ２……イオン源ハウジング、４……絶縁リング
、８……電極駆動機構、１６……引出し電極系、
２０……第１のイオン源ヘツド、３０……イオン
ビーム、４０……第２のイオン源ヘツド。
使用態様を示す要部断面図である。第２図は、こ
の考案に係るイオン注入装置の他の使用態様を示
す要部断面図である。 ２……イオン源ハウジング、４……絶縁リング
、８……電極駆動機構、１６……引出し電極系、
２０……第１のイオン源ヘツド、３０……イオン
ビーム、４０……第２のイオン源ヘツド。
Claims (1)
- 端部に絶縁リングが取り付けられたイオン源ハ
ウジングと、このイオン源ハウジング内に収納さ
れていてスリツト状孔を有する引出し電極系と、
この引出し電極系を機械的に駆動する電極駆動機
構と、スリツト状孔を有するプラズマ生成容器を
備えていて前記引出し電極系と協働してフリーマ
ン型イオン源を構成する第１のイオン源ヘツドと
、スリツト状孔を有する正電極を備えていて前記
引出し電極系と協働してデユオピガトロン型イオ
ン源を構成する第２のイオン源ヘツドとを備え、
前記絶縁リング部に第１のイオン源ヘツドと第２
のイオン源ヘツドとを選択的に取付け可能にした
ことを特徴とするイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11893689U JPH0357549U (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11893689U JPH0357549U (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0357549U true JPH0357549U (ja) | 1991-06-03 |
Family
ID=31667076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11893689U Pending JPH0357549U (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0357549U (ja) |
-
1989
- 1989-10-11 JP JP11893689U patent/JPH0357549U/ja active Pending