JPH0461733U - - Google Patents

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JPH0461733U
JPH0461733U JP10358190U JP10358190U JPH0461733U JP H0461733 U JPH0461733 U JP H0461733U JP 10358190 U JP10358190 U JP 10358190U JP 10358190 U JP10358190 U JP 10358190U JP H0461733 U JPH0461733 U JP H0461733U
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JP
Japan
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sputter electrode
plasma generation
holder
ion source
hole
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JP10358190U
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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

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【図面の簡単な説明】
第1図は、この考案の一実施例に係るイオン源
を示す断面図である。第2図は、この考案の他の
実施例に係るイオン源を示す断面図である。第3
図は、第2図中のチヤンバーブロツクを示す斜視
図である。第4図は、従来のイオン源の一例を示
す断面図である。 3……プラズマ生成容器、6……フイラメント
、12……支持ブロツク、14……スパツタ電極
、22……イオンビーム、24……ホルダ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. プラズマ生成容器内に、それに対して負電圧が
    印加されるスパツタ電極を収納し、それによつて
    当該スパツタ電極構成物質のイオンビームの引き
    出しを可能にしたイオン源において、前記スパツ
    タ電極を直接またはホルダを介して絶縁物製の支
    持ブロツクに着脱可能に取り付け、かつ前記プラ
    ズマ生成容器の前記スパツタ電極またはそのホル
    ダが通る穴を設け、そして前記スパツタ電極の部
    分をこの穴を通してプラズマ生成容器内に挿入す
    ると共に前記支持ブロツクをプラズマ生成容器に
    着脱可能に取り付けていることを特徴とするイオ
    ン源。
JP10358190U 1990-10-01 1990-10-01 Pending JPH0461733U (ja)

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JP10358190U JPH0461733U (ja) 1990-10-01 1990-10-01

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JPH0461733U true JPH0461733U (ja) 1992-05-27

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JP10358190U Pending JPH0461733U (ja) 1990-10-01 1990-10-01

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JP (1) JPH0461733U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011124059A (ja) * 2009-12-10 2011-06-23 Nissin Ion Equipment Co Ltd 反射電極構造体及びイオン源

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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