JPH0246359U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0246359U JPH0246359U JP12504388U JP12504388U JPH0246359U JP H0246359 U JPH0246359 U JP H0246359U JP 12504388 U JP12504388 U JP 12504388U JP 12504388 U JP12504388 U JP 12504388U JP H0246359 U JPH0246359 U JP H0246359U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- side wall
- support
- ion gun
- ceiling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 3
Description
第１図及び第２図は本考案集束イオンビーム装
置の一つの実施例を示すもので、第１図は装置全
体の断面図、第２図は支持具の断面図、第３図は
背景技術を示す集束イオンビーム装置の断面図で
ある。 符号の説明、１…イオンガン、２…真空槽、２
１…支持具。
置の一つの実施例を示すもので、第１図は装置全
体の断面図、第２図は支持具の断面図、第３図は
背景技術を示す集束イオンビーム装置の断面図で
ある。 符号の説明、１…イオンガン、２…真空槽、２
１…支持具。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 真空槽の天井からイオンガンが垂下された集束
イオンビーム装置において、 真空槽の側壁に、該側壁内面から内側に延びる
長さを外部にて調整可能な支持具を貫設し、 上記支持具の内端にてイオンガンを抑えてなる ことを特徴とする集束イオンビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12504388U JPH0246359U (ja) | 1988-09-24 | 1988-09-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12504388U JPH0246359U (ja) | 1988-09-24 | 1988-09-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0246359U true JPH0246359U (ja) | 1990-03-29 |
Family
ID=31375298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12504388U Pending JPH0246359U (ja) | 1988-09-24 | 1988-09-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0246359U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5678052A (en) * | 1979-11-30 | 1981-06-26 | Toshiba Corp | Electron beam device |
-
1988
- 1988-09-24 JP JP12504388U patent/JPH0246359U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5678052A (en) * | 1979-11-30 | 1981-06-26 | Toshiba Corp | Electron beam device |