JPS6220448U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6220448U JPS6220448U JP11143985U JP11143985U JPS6220448U JP S6220448 U JPS6220448 U JP S6220448U JP 11143985 U JP11143985 U JP 11143985U JP 11143985 U JP11143985 U JP 11143985U JP S6220448 U JPS6220448 U JP S6220448U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aperture
- extraction electrode
- ion source
- electrostatic lens
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は、本考案のイオン源を示す概略断面図
、第２図は、引出し電極とアパーチヤーの軸合わ
せに用いる治具を示す概略断面図、第３図は、従
来のイオン源を示す概略断面図である。 １……エミツタチツプ、２……引出し電極、３
……アパーチヤー、４……静電レンズ、５，６…
…碍子、１１，１２，１３……電源、２１……顕
微鏡、２２……台、２３……ライト。
、第２図は、引出し電極とアパーチヤーの軸合わ
せに用いる治具を示す概略断面図、第３図は、従
来のイオン源を示す概略断面図である。 １……エミツタチツプ、２……引出し電極、３
……アパーチヤー、４……静電レンズ、５，６…
…碍子、１１，１２，１３……電源、２１……顕
微鏡、２２……台、２３……ライト。
Claims (1)
- エミツタチツプ、引出し電極、アパーチヤーお
よび静電レンズを有する電界放出型イオン源にお
いて、引出し電極はアパーチヤーに取り付けられ
ていることを特徴とする電界放出型イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11143985U JPS6220448U (ja) | 1985-07-19 | 1985-07-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11143985U JPS6220448U (ja) | 1985-07-19 | 1985-07-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6220448U true JPS6220448U (ja) | 1987-02-06 |
Family
ID=30991363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11143985U Pending JPS6220448U (ja) | 1985-07-19 | 1985-07-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6220448U (ja) |
-
1985
- 1985-07-19 JP JP11143985U patent/JPS6220448U/ja active Pending