JPH0377354U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0377354U JPH0377354U JP13925689U JP13925689U JPH0377354U JP H0377354 U JPH0377354 U JP H0377354U JP 13925689 U JP13925689 U JP 13925689U JP 13925689 U JP13925689 U JP 13925689U JP H0377354 U JPH0377354 U JP H0377354U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma generation
- lining material
- generation container
- ion source
- insulating spacer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例のイオン源の基本
的な構成を示す断面図、第２図は要部断面図、第
３図は第２図の平面図、第４図は従来例の断面図
である。 １……プラズマ生成容器、８……内張材、９…
…絶縁スペーサ、１２……導体。
的な構成を示す断面図、第２図は要部断面図、第
３図は第２図の平面図、第４図は従来例の断面図
である。 １……プラズマ生成容器、８……内張材、９…
…絶縁スペーサ、１２……導体。
Claims (1)
- ピース状絶縁スペーサを介してプラズマ生成容
器の内周面に内張材を隔設し、この内張材と前記
プラズマ生成容器とを細長い導体で接続したこと
を特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13925689U JPH0377354U (ja) | 1989-11-29 | 1989-11-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13925689U JPH0377354U (ja) | 1989-11-29 | 1989-11-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0377354U true JPH0377354U (ja) | 1991-08-02 |
Family
ID=31686314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13925689U Pending JPH0377354U (ja) | 1989-11-29 | 1989-11-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0377354U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013211232A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | マイクロ波イオン源 |
| JP2021519507A (ja) * | 2018-03-30 | 2021-08-10 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | イオン注入のための箔シートアセンブリ |
-
1989
- 1989-11-29 JP JP13925689U patent/JPH0377354U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013211232A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | マイクロ波イオン源 |
| JP2021519507A (ja) * | 2018-03-30 | 2021-08-10 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | イオン注入のための箔シートアセンブリ |