JPH0371543U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0371543U JPH0371543U JP13426589U JP13426589U JPH0371543U JP H0371543 U JPH0371543 U JP H0371543U JP 13426589 U JP13426589 U JP 13426589U JP 13426589 U JP13426589 U JP 13426589U JP H0371543 U JPH0371543 U JP H0371543U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- attached
- support
- support cup
- hole
- electrode
- Prior art date
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- Granted
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例のイオン源の基本
的な構成を示す断面図、第2図は要部断面図、第
3図は第1図の−断面図、第4図は従来例の
断面図、第5図はその要部断面図、第6図は第4
図の−断面図である。 6……減速電極、7……接地電極、10……ビ
ーム孔、11……孔部、12……サポートカツプ
、13……絶縁サポート。
的な構成を示す断面図、第2図は要部断面図、第
3図は第1図の−断面図、第4図は従来例の
断面図、第5図はその要部断面図、第6図は第4
図の−断面図である。 6……減速電極、7……接地電極、10……ビ
ーム孔、11……孔部、12……サポートカツプ
、13……絶縁サポート。
Claims (1)
- 対面した一対の電極のいずれか一方の電極の外
周近傍に孔部を設けてサポートカツプを取付け、
このサポートカツプに絶縁サポートを介して他方
の電極を取付けたことを特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13426589U JPH0541490Y2 (ja) | 1989-11-17 | 1989-11-17 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13426589U JPH0541490Y2 (ja) | 1989-11-17 | 1989-11-17 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0371543U true JPH0371543U (ja) | 1991-07-19 |
JPH0541490Y2 JPH0541490Y2 (ja) | 1993-10-20 |
Family
ID=31681613
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13426589U Expired - Lifetime JPH0541490Y2 (ja) | 1989-11-17 | 1989-11-17 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0541490Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-11-17 JP JP13426589U patent/JPH0541490Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0541490Y2 (ja) | 1993-10-20 |