JP2013211232A - マイクロ波イオン源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マイクロ波イオン源10は、プラズマ室58にマイクロ波を受け入れるための真空窓24を有するプラズマチャンバ12と、プラズマ室58の内壁の少なくとも一部を構成するライナ78と、プラズマチャンバ12とライナ78との間に設けられている断熱部としての隙間80と、プラズマチャンバ12の周囲に設けられている冷却配管22と、を備える。
【選択図】図1
Description
図1は、第1の実施の形態に係るマイクロ波イオン源の構成を模式的に示した図である。
図2は、第2の実施の形態に係るマイクロ波イオン源の要部を示す図である。なお、第1の実施の形態と同様の構成については、同じ符号を付して説明を適宜省略する。
Claims (2)
- プラズマが生成されるプラズマ室にマイクロ波を受け入れるための窓を有するプラズマチャンバと、
プラズマ室の内壁の少なくとも一部を構成するライナと、
前記プラズマチャンバと前記ライナとの間に設けられている断熱部と、
前記プラズマチャンバの周囲に設けられている冷却部と、
を備えることを特徴とするマイクロ波イオン源。 - プラズマが生成されるプラズマ室にマイクロ波を受け入れるための窓を有するプラズマチャンバと、
プラズマ室の内壁の少なくとも一部を構成するライナと、
前記プラズマチャンバと前記ライナとの間に設けられている断熱材と、
を備えることを特徴とするマイクロ波イオン源。
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