JP6124715B2 - マイクロ波イオン源及びイオン引出部 - Google Patents
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- マイクロ波導入部とイオン引出部とを備えるプラズマ室と、
マイクロ波の進行方向に向けられた磁場を前記プラズマ室に発生させる磁場発生器と、を備え、
前記イオン引出部は、前記磁場に交差する内壁面と、前記内壁面の少なくとも一部を形成する二次電子放出材料層と、非磁性金属材料で形成された外側部分と、前記二次電子放出材料層の背後に設けられ、前記外側部分に収められている磁性体と、を備え、
前記磁性体は、前記二次電子放出材料層と前記外側部分とに挟まれて前記磁性体の全体が覆われていることを特徴とするマイクロ波イオン源。 - 前記内壁面にはイオン引出開口が設けられており、前記二次電子放出材料層は該イオン引出開口に隣接するように形成されていることを特徴とする請求項1に記載のマイクロ波イオン源。
- 前記磁性体は、前記二次電子放出材料層により被覆され、
前記イオン引出部の前記外側部分には、前記外側部分の外周部及びイオン引出開口の周囲を残すように凹部が形成され、
前記磁性体及び前記二次電子放出材料層は、前記凹部に嵌め込まれるように寸法が定められ、
前記凹部の底面に前記磁性体の一面が当接し、前記二次電子放出材料層に前記磁性体の反対側の面が当接して、前記磁性体及び前記二次電子放出材料層が前記凹部に収容されていることを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロ波イオン源。 - プラズマ室からイオンを引き出すためのイオン引出部であって、前記プラズマ室には磁場が印加されており、
前記磁場に交差する内壁面と、
前記内壁面の少なくとも一部を形成する二次電子放出材料層と、
非磁性金属材料で形成された外側部分と、
前記二次電子放出材料層の背後に設けられ、前記外側部分に収められている磁性体と、を備え、
前記磁性体は、前記二次電子放出材料層と前記外側部分とに挟まれて前記磁性体の全体が覆われていることを特徴とするイオン引出部。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013142972A JP6124715B2 (ja) | 2013-07-08 | 2013-07-08 | マイクロ波イオン源及びイオン引出部 |
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JP2015018609A JP2015018609A (ja) | 2015-01-29 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP6124715B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7096930B1 (ja) | 2021-05-06 | 2022-07-06 | 三菱重工サーマルシステムズ株式会社 | 地中熱利用システム、制御装置、制御方法、プログラム |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0680250U (ja) * | 1993-04-22 | 1994-11-08 | 日新電機株式会社 | 磁性体を用いたイオンビ−ム引き出し系 |
JP3379227B2 (ja) * | 1994-06-30 | 2003-02-24 | 日新電機株式会社 | イオン源装置 |
JP4089022B2 (ja) * | 1998-07-22 | 2008-05-21 | 日新イオン機器株式会社 | 自己電子放射型ecrイオンプラズマ源 |
JP2008234880A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Hitachi Ltd | イオン源 |
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2013
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JP7096930B1 (ja) | 2021-05-06 | 2022-07-06 | 三菱重工サーマルシステムズ株式会社 | 地中熱利用システム、制御装置、制御方法、プログラム |
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Publication number | Publication date |
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JP2015018609A (ja) | 2015-01-29 |
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