JP7429154B2 - マイクロ波イオン源とそれを備えた粒子加速システム - Google Patents
マイクロ波イオン源とそれを備えた粒子加速システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP7429154B2 JP7429154B2 JP2020080980A JP2020080980A JP7429154B2 JP 7429154 B2 JP7429154 B2 JP 7429154B2 JP 2020080980 A JP2020080980 A JP 2020080980A JP 2020080980 A JP2020080980 A JP 2020080980A JP 7429154 B2 JP7429154 B2 JP 7429154B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- ion source
- magnetic field
- plasma electrode
- microwave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 title claims description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 9
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 26
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 23
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 43
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 2
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
なお、本発明は上記の実施例に限られず、種々の変形、応用が可能なものである。上述した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されない。
2,2A,2B,2C,2D,2E,2F,2G…プラズマ電極
3…引き出し電極
4…磁場発生部
5…マイクロ波導入窓
6…マイクロ波伝送部
7…磁場補正磁極
8…放電室
9…電極支持体
9a…内周面
9b…外周面
10…イオンビーム
11…マイクロ波
12,12A,12B,12C,12D,12E,12F…外側部分
13…内側部分
100,100A,100B,100C,100D,100E,100F,100G…マイクロ波イオン源
151a,151b…レンズコイル
152…加速器
153…高エネルギーイオンビーム
200…粒子加速システム
Claims (6)
- 放電室と、
周囲を磁性体で囲んで構成した磁場発生部と、
マイクロ波伝送部と、
一つ以上の開口部を有する引き出し電極と、
プラズマ電極と、を備え、
前記プラズマ電極が磁性体で構成され、
前記磁場発生部が前記引き出し電極よりも前記放電室側に配置され、
前記磁場発生部側の磁性体と前記プラズマ電極との境界面のうち最も中心軸方向外側の部分が、前記プラズマ電極を支持する電極支持体の内周面より中心軸方向外側の大気圧領域に設けられている
ことを特徴とするマイクロ波イオン源。 - 請求項1に記載のマイクロ波イオン源において、
前記境界面は、前記プラズマ電極を支持する電極支持体と前記プラズマ電極との接触面と平行な面を1か所以上有している
ことを特徴とするマイクロ波イオン源。 - 請求項1に記載のマイクロ波イオン源において、
前記境界面を、3面以上で構成する
ことを特徴とするマイクロ波イオン源。 - 請求項1に記載のマイクロ波イオン源において、
前記磁場発生部側の磁性体と前記プラズマ電極との境界面のうち最も中心軸方向外側の部分が、前記プラズマ電極を支持する電極支持体の外周面より中心軸方向外側に設けられている
ことを特徴とするマイクロ波イオン源。 - 放電室と、
周囲を磁性体で囲んで構成した磁場発生部と、
マイクロ波伝送部と、
一つ以上の開口部を有する引き出し電極と、
プラズマ電極と、を備え、
前記プラズマ電極が磁性体で構成され、
前記磁場発生部が前記引き出し電極よりも前記放電室側に配置され、
前記磁場発生部側の磁性体と前記プラズマ電極との境界面のうち最も中心軸方向外側の部分が、真空領域外に設けられている
ことを特徴とするマイクロ波イオン源。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のマイクロ波イオン源と、
レンズコイルと、
加速器と、を備えた
ことを特徴とする粒子加速システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020080980A JP7429154B2 (ja) | 2020-05-01 | 2020-05-01 | マイクロ波イオン源とそれを備えた粒子加速システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020080980A JP7429154B2 (ja) | 2020-05-01 | 2020-05-01 | マイクロ波イオン源とそれを備えた粒子加速システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021176120A JP2021176120A (ja) | 2021-11-04 |
JP7429154B2 true JP7429154B2 (ja) | 2024-02-07 |
Family
ID=78300459
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020080980A Active JP7429154B2 (ja) | 2020-05-01 | 2020-05-01 | マイクロ波イオン源とそれを備えた粒子加速システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7429154B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008234880A (ja) | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Hitachi Ltd | イオン源 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0845456A (ja) * | 1994-07-29 | 1996-02-16 | Nissin Electric Co Ltd | イオン源装置 |
US6094012A (en) * | 1998-11-06 | 2000-07-25 | The Regents Of The University Of California | Low energy spread ion source with a coaxial magnetic filter |
-
2020
- 2020-05-01 JP JP2020080980A patent/JP7429154B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008234880A (ja) | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Hitachi Ltd | イオン源 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021176120A (ja) | 2021-11-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5763989A (en) | Closed drift ion source with improved magnetic field | |
JP5822767B2 (ja) | イオン源装置及びイオンビーム生成方法 | |
US7176469B2 (en) | Negative ion source with external RF antenna | |
JP5872541B2 (ja) | 改良型イオン源 | |
KR940010844B1 (ko) | 이온 원(源) | |
US5215703A (en) | High-flux neutron generator tube | |
JPH02501965A (ja) | 電子サイクロトロン共鳴プラズマ源 | |
US8840844B2 (en) | Plasma generating apparatus | |
US5750987A (en) | Ion beam processing apparatus | |
US5548183A (en) | Magnetic field immersion type electron gun | |
JP2008234880A (ja) | イオン源 | |
JP7429154B2 (ja) | マイクロ波イオン源とそれを備えた粒子加速システム | |
US9721760B2 (en) | Electron beam plasma source with reduced metal contamination | |
EP1362185A2 (en) | Magnetic field for small closed-drift thruster | |
JPS5923432A (ja) | プラズマイオン源 | |
JP3116794B2 (ja) | 高周波イオン源 | |
KR102641222B1 (ko) | 마이크로파 플라즈마 소스 | |
JP7237877B2 (ja) | イオン源装置 | |
JP6124715B2 (ja) | マイクロ波イオン源及びイオン引出部 | |
JP3633359B2 (ja) | 高周波四重極加速装置 | |
JP2005116312A (ja) | マイクロ波プラズマ発生装置 | |
JPH09259781A (ja) | イオン源装置 | |
JPH08106877A (ja) | イオン注入装置 | |
JP3585512B2 (ja) | マイクロ波プラズマ発生装置 | |
JP2004022205A (ja) | 超小型スパッタイオンポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230203 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231017 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231122 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240123 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240126 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7429154 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |