JPS6346465U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6346465U JPS6346465U JP14050686U JP14050686U JPS6346465U JP S6346465 U JPS6346465 U JP S6346465U JP 14050686 U JP14050686 U JP 14050686U JP 14050686 U JP14050686 U JP 14050686U JP S6346465 U JPS6346465 U JP S6346465U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum container
- target
- substrate holder
- prevention plate
- adhesion prevention
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 4
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
図は本考案の一実施例のスパツタリング装置の
断面図である。 １……真空室、２……スパツタ電極、３……タ
ーゲツト、９……シヤツタ、１１……基板ホルダ
、１３……防着板、１４……絶縁体、１６……電
源。
断面図である。 １……真空室、２……スパツタ電極、３……タ
ーゲツト、９……シヤツタ、１１……基板ホルダ
、１３……防着板、１４……絶縁体、１６……電
源。
Claims (1)
- 真空容器と前記真空容器内にカソード電極とタ
ーゲツトとアノード電極と前記ターゲツトを覆う
シヤツタと基板ホルダと防着板とガス供給手段と
ガス排出手段とを持つスパツタリング装置におい
て、前記防着板は前記真空容器と絶縁して支持さ
れており、前記防着板及び前記基板ホルダと、前
記シヤツタ及び前記真空容器との間での放電発生
手段と、前記真空容器内へのエツチングガス導入
手段とを持つことを特徴とするスパツタリング装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14050686U JPS6346465U (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14050686U JPS6346465U (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6346465U true JPS6346465U (ja) | 1988-03-29 |
Family
ID=31047417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14050686U Pending JPS6346465U (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6346465U (ja) |
-
1986
- 1986-09-16 JP JP14050686U patent/JPS6346465U/ja active Pending