JPH0273054U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0273054U JPH0273054U JP15319588U JP15319588U JPH0273054U JP H0273054 U JPH0273054 U JP H0273054U JP 15319588 U JP15319588 U JP 15319588U JP 15319588 U JP15319588 U JP 15319588U JP H0273054 U JPH0273054 U JP H0273054U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- driven
- titanium sublimation
- ion
- power supply
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例装置の要部を示した断
面図、第２図は従来例装置の要部を示す断面図で
ある。 １：複合真空ポンプの容器、２：排気口、３：
真空容器、４：チタンフイラメント、５：支持部
、６：絶縁端子、７：スイツチ、８：ポンプ電源
、９：加熱用電源、１０：出力電圧調整器、１１
：アノードセル、１２：平板状陰極、１３：リー
ド線、１４：絶縁端子、１５：スイツチ、１６：
電圧電源、１７：カバー、１８：切替制御手段。
面図、第２図は従来例装置の要部を示す断面図で
ある。 １：複合真空ポンプの容器、２：排気口、３：
真空容器、４：チタンフイラメント、５：支持部
、６：絶縁端子、７：スイツチ、８：ポンプ電源
、９：加熱用電源、１０：出力電圧調整器、１１
：アノードセル、１２：平板状陰極、１３：リー
ド線、１４：絶縁端子、１５：スイツチ、１６：
電圧電源、１７：カバー、１８：切替制御手段。
Claims (1)
- イオンポンプとチタンサブリメーシヨンポンプ
とを組み合わせた装置において、イオンポンプの
みによる駆動状態から、チタンサブリメーシヨン
ポンプを駆動させる系において、チタンサブリメ
ーシヨンポンプが駆動中はイオンポンプの電源を
停止させるための制御手段を設けたことを特徴と
する複合真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15319588U JPH0273054U (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15319588U JPH0273054U (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0273054U true JPH0273054U (ja) | 1990-06-04 |
Family
ID=31428815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15319588U Pending JPH0273054U (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0273054U (ja) |
-
1988
- 1988-11-25 JP JP15319588U patent/JPH0273054U/ja active Pending