JPS6370651U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6370651U JPS6370651U JP16487486U JP16487486U JPS6370651U JP S6370651 U JPS6370651 U JP S6370651U JP 16487486 U JP16487486 U JP 16487486U JP 16487486 U JP16487486 U JP 16487486U JP S6370651 U JPS6370651 U JP S6370651U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arc chamber
- sealing material
- current introduction
- introduction terminal
- filament
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims description 3
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示すイオン源の
要部拡大図である。第２図は従来のイオン源の要
部拡大図である。 １：アークチヤンバ、２：フイラメント、７：
フランジ付電流導入端子、７１：導体、７５：フ
ランジ、８：シール材、９：冷媒路。
要部拡大図である。第２図は従来のイオン源の要
部拡大図である。 １：アークチヤンバ、２：フイラメント、７：
フランジ付電流導入端子、７１：導体、７５：フ
ランジ、８：シール材、９：冷媒路。
Claims (1)
- アークチヤンバ内に配設されたフイラメントか
らの熱電子をもつてプラズマを発生させるものに
おいて、前記フイラメントがつながれる導体をフ
ランジに取り付けてフランジ付電流導入端子を形
成し、このフランジ付電流導入端子を前記アーク
チヤンバに真空シール材を用いて取り外し可能に
気密に固着するとともに、前記シール材の近傍に
冷媒を循環せしめる冷媒路を設けてなることを特
徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16487486U JPS6370651U (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16487486U JPS6370651U (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6370651U true JPS6370651U (ja) | 1988-05-12 |
Family
ID=31094396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16487486U Pending JPS6370651U (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6370651U (ja) |
-
1986
- 1986-10-27 JP JP16487486U patent/JPS6370651U/ja active Pending