JPS63149962U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63149962U JPS63149962U JP3997787U JP3997787U JPS63149962U JP S63149962 U JPS63149962 U JP S63149962U JP 3997787 U JP3997787 U JP 3997787U JP 3997787 U JP3997787 U JP 3997787U JP S63149962 U JPS63149962 U JP S63149962U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- fixing
- insulator
- terminal
- terminals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す図、第２図は本
考案の実施例の効果を従来例と比較して示した図
、第３図は従来の真空蒸着用電子ビーム源を示す
図である。 第１図において、１は熱電子発生用フイラメン
ト、２，２′はフイラメント固定用端子、３は端
子固定用部材、４は絶縁碍子、９は遮蔽板である
。
考案の実施例の効果を従来例と比較して示した図
、第３図は従来の真空蒸着用電子ビーム源を示す
図である。 第１図において、１は熱電子発生用フイラメン
ト、２，２′はフイラメント固定用端子、３は端
子固定用部材、４は絶縁碍子、９は遮蔽板である
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 熱電子発生用のフイラメント１と、該フイラメ
ント１の両端を固定する２個のフイラメント固定
用端子２，２′と、該フイラメント固定用端子２
，２′を支持する端子固定部材３とを具備し、少
なくとも一方のフイラメント固定用端子２が絶縁
碍子４を用いて前記端子固定部材３と絶縁されて
なる真空蒸着用電子ビーム源において、 上記絶縁碍子４が上記熱電子発生用フイラメン
ト１から見えないように該絶縁碍子４の近傍に遮
蔽板９を設けたことを特徴とした真空蒸着用電子
ビーム源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3997787U JPS63149962U (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3997787U JPS63149962U (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63149962U true JPS63149962U (ja) | 1988-10-03 |
Family
ID=30853649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3997787U Pending JPS63149962U (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63149962U (ja) |
-
1987
- 1987-03-20 JP JP3997787U patent/JPS63149962U/ja active Pending
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