JPS6377248U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6377248U JPS6377248U JP17172886U JP17172886U JPS6377248U JP S6377248 U JPS6377248 U JP S6377248U JP 17172886 U JP17172886 U JP 17172886U JP 17172886 U JP17172886 U JP 17172886U JP S6377248 U JPS6377248 U JP S6377248U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- filament
- container
- conductor
- fixing fitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン源
の電流導入端子部分を示す拡大断面図である。第
２図は、第１図の矢印Ｐ方向に見たものを部分的
に示す正面図である。第３図は、バケツト型イオ
ン源の一例を示す概略断面図である。第４図は、
第３図のイオン源における従来の電流導入端子部
分を示す拡大断面図である。 ２…アークチヤンバー、４…電流導入端子、４
１…導体、４３…絶縁碍子、５…固定金具、６…
フイラメント。
の電流導入端子部分を示す拡大断面図である。第
２図は、第１図の矢印Ｐ方向に見たものを部分的
に示す正面図である。第３図は、バケツト型イオ
ン源の一例を示す概略断面図である。第４図は、
第３図のイオン源における従来の電流導入端子部
分を示す拡大断面図である。 ２…アークチヤンバー、４…電流導入端子、４
１…導体、４３…絶縁碍子、５…固定金具、６…
フイラメント。
Claims (1)
- プラズマ生成用の容器内に熱電子放出用のフイ
ラメントを設けたイオン源であつて当該フイラメ
ントが、筒状の絶縁碍子およびその中を貫通する
導体を有し前記容器に取り付けられた電流導入端
子の導体に固定金具によつて固定されたものにお
いて、前記絶縁碍子の一端側を前記固定金具の近
傍まで延ばしたことを特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17172886U JPS6377248U (ja) | 1986-11-08 | 1986-11-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17172886U JPS6377248U (ja) | 1986-11-08 | 1986-11-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6377248U true JPS6377248U (ja) | 1988-05-23 |
Family
ID=31107623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17172886U Pending JPS6377248U (ja) | 1986-11-08 | 1986-11-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6377248U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0416858U (ja) * | 1990-05-31 | 1992-02-12 |
-
1986
- 1986-11-08 JP JP17172886U patent/JPS6377248U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0416858U (ja) * | 1990-05-31 | 1992-02-12 |