JPH0179254U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0179254U JPH0179254U JP1987175577U JP17557787U JPH0179254U JP H0179254 U JPH0179254 U JP H0179254U JP 1987175577 U JP1987175577 U JP 1987175577U JP 17557787 U JP17557787 U JP 17557787U JP H0179254 U JPH0179254 U JP H0179254U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- ion source
- mounting bracket
- current introduction
- introduction terminal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るフイラメ
ント取付構造を示す図である。第２図は、第１図
のフイラメントの斜視図である。第３図は、バケ
ツト型イオン源の一例を示す概略断面図である。
第４図は、従来のフイラメント取付構造の一例を
示す図である。 ２……プラズマ生成容器、４……電流導入端子
、４３……雄ねじ部、６……フイラメント、２０
……取付金具、２０１……雌ねじ部、２２……ボ
ルト。
ント取付構造を示す図である。第２図は、第１図
のフイラメントの斜視図である。第３図は、バケ
ツト型イオン源の一例を示す概略断面図である。
第４図は、従来のフイラメント取付構造の一例を
示す図である。 ２……プラズマ生成容器、４……電流導入端子
、４３……雄ねじ部、６……フイラメント、２０
……取付金具、２０１……雌ねじ部、２２……ボ
ルト。
Claims (1)
- イオン源のプラズマ生成容器内に挿入固定され
た電流導入端子に熱電子放出用のフイラメントを
取り付ける構造において、電流導入端子の先端部
に設けた雄ねじ部に、少なくとも両端部に雌ねじ
部を有する取付金具の一端側をねじ込んで取り付
け、かつフイラメントの端部を丸く曲げておいて
その部分をボルトを用いて前記取付金具の他端側
に締付けるようにしたことを特徴とするイオン源
のフイラメント取付構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987175577U JPH0179254U (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987175577U JPH0179254U (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0179254U true JPH0179254U (ja) | 1989-05-29 |
Family
ID=31467365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987175577U Pending JPH0179254U (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0179254U (ja) |
-
1987
- 1987-11-16 JP JP1987175577U patent/JPH0179254U/ja active Pending