JPH02115245U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02115245U JPH02115245U JP2370289U JP2370289U JPH02115245U JP H02115245 U JPH02115245 U JP H02115245U JP 2370289 U JP2370289 U JP 2370289U JP 2370289 U JP2370289 U JP 2370289U JP H02115245 U JPH02115245 U JP H02115245U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- members
- ion source
- grooves
- mounting structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000013011 mating Effects 0.000 claims 2
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例に係るフイラメン
ト取り付け構造を示すものでありＡは平面図、Ｂ
は正面図である。第２図はこの考案の他の実施例
に係るフイラメント取り付け構造を示すものであ
り、Ａは平面図、Ｂは正面図、Ｃは右側面図であ
る。第３図は、バケツト型イオン源の一例を示す
概略断面図である。第４図は従来のフイラメント
取り付け構造を示すものであり、Ａは平面図、Ｂ
は正面図である。 ２……プラズマ生成容器、４……電流導入端子
、６……フイラメント、２６……フイラメント取
り付け金具、２６ａ〜２６ｃ……第１〜第３の部
材、２８……穴、２８ａ，２８ｂ……溝、３０…
…穴、３０ａ，３０ｂ……溝、３２……ボルト、
３４……ナツト。
ト取り付け構造を示すものでありＡは平面図、Ｂ
は正面図である。第２図はこの考案の他の実施例
に係るフイラメント取り付け構造を示すものであ
り、Ａは平面図、Ｂは正面図、Ｃは右側面図であ
る。第３図は、バケツト型イオン源の一例を示す
概略断面図である。第４図は従来のフイラメント
取り付け構造を示すものであり、Ａは平面図、Ｂ
は正面図である。 ２……プラズマ生成容器、４……電流導入端子
、６……フイラメント、２６……フイラメント取
り付け金具、２６ａ〜２６ｃ……第１〜第３の部
材、２８……穴、２８ａ，２８ｂ……溝、３０…
…穴、３０ａ，３０ｂ……溝、３２……ボルト、
３４……ナツト。
Claims (1)
- イオン源のプラズマ生成容器内に挿入固定され
た電流導入端子に熱電子放出用のフイラメントを
取り付け金具を用いて取り付ける構造において、
前記フイラメント取り付け金具を第１ないし第３
の部材で構成し、第１および第２の部材の合わせ
面側に、電流導入端子が嵌まる穴を構成する溝を
それぞれ設け、第２および第３の部材の合わせ面
側に、フイラメントが嵌まる穴を構成する溝をそ
れぞれ設け、そして第１および第２の部材で電流
導入端子をその前記溝内に挟んだ状態で、かつ第
２および第３の部材でフイラメントをその前記溝
内に挟んだ状態で、各部材間を一つの締結手段に
よつて一括して締め付けるようにしたことを特徴
とするイオン源のフイラメント取り付け構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2370289U JPH02115245U (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2370289U JPH02115245U (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02115245U true JPH02115245U (ja) | 1990-09-14 |
Family
ID=31242911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2370289U Pending JPH02115245U (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02115245U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009163985A (ja) * | 2008-01-07 | 2009-07-23 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | フィラメント保持構造およびそれを備えるイオン源 |
-
1989
- 1989-03-01 JP JP2370289U patent/JPH02115245U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009163985A (ja) * | 2008-01-07 | 2009-07-23 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | フィラメント保持構造およびそれを備えるイオン源 |
| JP4636087B2 (ja) * | 2008-01-07 | 2011-02-23 | 日新イオン機器株式会社 | フィラメント保持構造およびそれを備えるイオン源 |