JPS61188352U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61188352U JPS61188352U JP7232885U JP7232885U JPS61188352U JP S61188352 U JPS61188352 U JP S61188352U JP 7232885 U JP7232885 U JP 7232885U JP 7232885 U JP7232885 U JP 7232885U JP S61188352 U JPS61188352 U JP S61188352U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- heating
- ashes
- plasma
- utility
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 2
- 235000002918 Fraxinus excelsior Nutrition 0.000 claims 1
- 239000002956 ash Substances 0.000 claims 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
図面は、本考案によるアツシング装置の一実施
例を示す構成図である。 １０……アツシング処理室、１１……対向電極
、１２……試料電極、１３……高周波電源、１４
……ガス源、１８……真空排気装置、２１……電
気ヒータ。
例を示す構成図である。 １０……アツシング処理室、１１……対向電極
、１２……試料電極、１３……高周波電源、１４
……ガス源、１８……真空排気装置、２１……電
気ヒータ。
Claims (1)
- 試料に被着したフオトレジストをプラズマを利
用してアツシングする装置において、前記試料を
加熱する加熱手段を具備したことを特徴とするア
ツシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7232885U JPS61188352U (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7232885U JPS61188352U (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61188352U true JPS61188352U (ja) | 1986-11-25 |
Family
ID=30610642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7232885U Pending JPS61188352U (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61188352U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01234841A (ja) * | 1988-03-16 | 1989-09-20 | Fujitsu Ltd | パターン形成方法 |
| JPH02191959A (ja) * | 1989-01-20 | 1990-07-27 | Fujitsu Ltd | レジストパターンの形成方法 |
| JPH02228486A (ja) * | 1989-03-01 | 1990-09-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | エッチング方法 |
-
1985
- 1985-05-17 JP JP7232885U patent/JPS61188352U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01234841A (ja) * | 1988-03-16 | 1989-09-20 | Fujitsu Ltd | パターン形成方法 |
| JPH02191959A (ja) * | 1989-01-20 | 1990-07-27 | Fujitsu Ltd | レジストパターンの形成方法 |
| JPH02228486A (ja) * | 1989-03-01 | 1990-09-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | エッチング方法 |