JP2013072695A - 熱陰極電離真空計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試験体に装着されてその内部の圧力を検出する熱陰極電離真空計IGは、フィラメント2と、このフィラメント2を囲うように配置される、筒状の輪郭を有するグリッド3と、板状部材で構成され、グリッドの母線方向の延長上に所定間隔を存して当該グリッドの少なくとも一方の開口を覆うように配置されるイオンコレクタ41、42とを備える。フィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンがイオンコレクタで捕集され、このときのイオン電流から圧力を検出する
【選択図】図2
Description
Claims (3)
- 試験体に装着されてその内部の圧力を検出する熱陰極電離真空計であって、
フィラメントと、このフィラメントを囲うように配置される、筒状の輪郭を有するグリッドと、イオンコレクタとを備え、このフィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンがイオンコレクタで捕集され、このときのイオン電流から圧力を検出するものにおいて、
前記イオンコレクタが板状部材で構成され、グリッドの母線方向の延長上に所定間隔を存して当該グリッドの少なくとも一方の開口を覆うように配置されることを特徴とする熱陰極電離真空計。 - 前記フィラメントと、グリッドと、イオンコレクタとが金属製の真空隔壁内に収納されることを特徴とする請求項1記載の熱陰極電離真空計。
- 前記フィラメントは、タングステンとレニウムとの合金で構成されることを特徴とする請求項1または請求項2記載の熱陰極電離真空計。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3310699A (en) * | 1964-10-16 | 1967-03-21 | Nat Res Corp | Ultrahigh vacuum gauge having two collector electrodes |
JPS60139241U (ja) * | 1984-02-27 | 1985-09-14 | 日本原子力研究所 | 荷電粒子分析器の電離真空計 |
JPH0968473A (ja) * | 1995-08-31 | 1997-03-11 | Ulvac Japan Ltd | 熱陰極型真空計 |
JP2006343305A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Toyo Denshi Kenkyusho:Kk | 三極管型熱陰極電離真空計 |
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2011
- 2011-09-27 JP JP2011210918A patent/JP5783866B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3310699A (en) * | 1964-10-16 | 1967-03-21 | Nat Res Corp | Ultrahigh vacuum gauge having two collector electrodes |
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Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN7015000600; W. C. SCHUEMANN: '"Ionization Vacuum Gauge with Photocurrent Suppression"' Review of Scientific Instruments Vol. 34, 1963, p. 700 - 702, AIP Publishing * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5783866B2 (ja) | 2015-09-24 |
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