JPS6269363U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6269363U JPS6269363U JP15985885U JP15985885U JPS6269363U JP S6269363 U JPS6269363 U JP S6269363U JP 15985885 U JP15985885 U JP 15985885U JP 15985885 U JP15985885 U JP 15985885U JP S6269363 U JPS6269363 U JP S6269363U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- vacuum vessel
- cathode
- cathodes
- anode
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例の縦断面図、第2図
は第1図の実施例のA―B断面図、第3図は本考
案の他の実施例断面図、第4図は従来例の縦断面
図、第5図は本考案の効果の説明図である。 1……真空容器、2……磁石、10……陰極。
は第1図の実施例のA―B断面図、第3図は本考
案の他の実施例断面図、第4図は従来例の縦断面
図、第5図は本考案の効果の説明図である。 1……真空容器、2……磁石、10……陰極。
Claims (1)
- 真空容器の外周又は内周に沿つて磁界を発生す
る手段を配し、且つ真空容器内は真空容器の一部
をもつて陽極と陰極を設けてなるイオン源におい
て、複数の陰極を真空容器壁に沿つて周方向に配
列してなることを特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15985885U JPS6269363U (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15985885U JPS6269363U (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6269363U true JPS6269363U (ja) | 1987-05-01 |
Family
ID=31084686
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15985885U Pending JPS6269363U (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6269363U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011228044A (ja) * | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | イオン源及びイオン注入装置 |
-
1985
- 1985-10-21 JP JP15985885U patent/JPS6269363U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011228044A (ja) * | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | イオン源及びイオン注入装置 |