JPS6284149U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6284149U JPS6284149U JP17493885U JP17493885U JPS6284149U JP S6284149 U JPS6284149 U JP S6284149U JP 17493885 U JP17493885 U JP 17493885U JP 17493885 U JP17493885 U JP 17493885U JP S6284149 U JPS6284149 U JP S6284149U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- cathode
- ion gun
- insulator
- removable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 3
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は、本考案カートリツジ式イオンガンの
実施例の断面図である。 １…真空チヤンバ、２…カートリツジ固定用キ
ヤツプ、３…カートリツジ、４…アノード。
実施例の断面図である。 １…真空チヤンバ、２…カートリツジ固定用キ
ヤツプ、３…カートリツジ、４…アノード。
Claims (1)
- アノードと、このアノードをおおう絶縁物と、
前記アノードに対向するカソードと、前記アノー
ド、絶縁物、カソードを固定するイオンガンボデ
イとから成るイオンガンにおいて、前記アノード
、絶縁物、カソードを一体化取出し可能なカート
リツジ式としたことを特徴とするカートリツジ式
イオンガン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17493885U JPS6284149U (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17493885U JPS6284149U (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6284149U true JPS6284149U (ja) | 1987-05-29 |
Family
ID=31113790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17493885U Pending JPS6284149U (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6284149U (ja) |
-
1985
- 1985-11-15 JP JP17493885U patent/JPS6284149U/ja active Pending