JPS6289759U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6289759U JPS6289759U JP18153985U JP18153985U JPS6289759U JP S6289759 U JPS6289759 U JP S6289759U JP 18153985 U JP18153985 U JP 18153985U JP 18153985 U JP18153985 U JP 18153985U JP S6289759 U JPS6289759 U JP S6289759U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- field emission
- chamber
- electron gun
- gun chamber
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 3
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
図は本考案の電界放射形電子顕微鏡の実施例の
縦断面図である。 ５……電子ビーム、１２……中間室、１３……
差動排気絞り、１４……焼出し用ヒーター、１６
……第２アノード部、１８……収束レンズ。
縦断面図である。 ５……電子ビーム、１２……中間室、１３……
差動排気絞り、１４……焼出し用ヒーター、１６
……第２アノード部、１８……収束レンズ。
Claims (1)
- 電界放射形電子鏡と電子銃室を高真室に保つた
めの中間室と電子ビームを細く絞る収束レンズと
上記各々の間に差動排気絞りを有する電界放射形
電子顕微鏡において、電子ビームが最初に衝突す
る電子銃室と中間室間の第２アノード部に局部的
焼出し可能なヒーターを設けたことを特徴とする
電界放射形電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18153985U JPS6289759U (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18153985U JPS6289759U (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6289759U true JPS6289759U (ja) | 1987-06-09 |
Family
ID=31126500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18153985U Pending JPS6289759U (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6289759U (ja) |
-
1985
- 1985-11-27 JP JP18153985U patent/JPS6289759U/ja active Pending