JPH02101456U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02101456U JPH02101456U JP870789U JP870789U JPH02101456U JP H02101456 U JPH02101456 U JP H02101456U JP 870789 U JP870789 U JP 870789U JP 870789 U JP870789 U JP 870789U JP H02101456 U JPH02101456 U JP H02101456U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wehnelt electrode
- divided
- rectangular hole
- filament
- rectangular
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図ａは本考案の一実施例の５分割の線源線
状電子ビーム発生用ウエネルト電極のフイラメン
ト長手方向断面図で、ｂの矢視Ｂ―Ｂから見た断
面図、ｂはａの矢視Ａ―Ａから見た平面図、第２
図ａ〜ｃは第１図で示した５分割のウエネルト電
極を用いたときのフイラメントからの電子放出領
域の変化を示す図、第３図ａは従来の線源線状電
子ビーム発生用ウエネルト電極のフイラメント長
手方向断面図で、ｂの矢視Ｄ―Ｄから見た断面図
、ｂはａの矢視Ｃ―Ｃから見た平面図である。 １……フイラメント、２，３，４……分割され
たウエネルト電極。
状電子ビーム発生用ウエネルト電極のフイラメン
ト長手方向断面図で、ｂの矢視Ｂ―Ｂから見た断
面図、ｂはａの矢視Ａ―Ａから見た平面図、第２
図ａ〜ｃは第１図で示した５分割のウエネルト電
極を用いたときのフイラメントからの電子放出領
域の変化を示す図、第３図ａは従来の線源線状電
子ビーム発生用ウエネルト電極のフイラメント長
手方向断面図で、ｂの矢視Ｄ―Ｄから見た断面図
、ｂはａの矢視Ｃ―Ｃから見た平面図である。 １……フイラメント、２，３，４……分割され
たウエネルト電極。
Claims (1)
- 電子放出部が矩形状のフイラメントを包囲する
矩形孔を備えたウエネルト電極において、矩形孔
を含んでウエネルト電極を長手方向に３つ以上の
奇数個に分割し、分割されたそれぞれのウエネル
ト電極の電位を調整可能としたことを特徴とした
線源線状電子ビーム発生用ウエネルト電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP870789U JPH02101456U (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP870789U JPH02101456U (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02101456U true JPH02101456U (ja) | 1990-08-13 |
Family
ID=31214821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP870789U Pending JPH02101456U (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02101456U (ja) |
-
1989
- 1989-01-27 JP JP870789U patent/JPH02101456U/ja active Pending