JPS61206257U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61206257U JPS61206257U JP8976785U JP8976785U JPS61206257U JP S61206257 U JPS61206257 U JP S61206257U JP 8976785 U JP8976785 U JP 8976785U JP 8976785 U JP8976785 U JP 8976785U JP S61206257 U JPS61206257 U JP S61206257U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- insulating plate
- electrode
- heat
- ions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案によるイオン源の一実施例を示
す特に加速電極部分の要部断面図、第２図は本考
案によるイオン源と従来のイオン源との比較を行
なう特性図、第３図は従来のイオン源を示す要部
断面図、第４図は第３図に示すスクリーン電極と
加速電極の平面図である。 ５……スクリーン電極、６……加速電極、７…
…小孔、８……多孔部、１５……耐熱性絶縁板、
１６……孔。
す特に加速電極部分の要部断面図、第２図は本考
案によるイオン源と従来のイオン源との比較を行
なう特性図、第３図は従来のイオン源を示す要部
断面図、第４図は第３図に示すスクリーン電極と
加速電極の平面図である。 ５……スクリーン電極、６……加速電極、７…
…小孔、８……多孔部、１５……耐熱性絶縁板、
１６……孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 導入された希ガスに電子を衝突させること
によりガスを電離させてイオンを発生させ、中央
部に多孔部を有するスクリーン電極と加速電極を
対向させて高電位差を与えることにより前記イオ
ンを加速して取り出すイオン源に於いて、前記ス
クリーン電極および加速電極間にその外形よりも
十分に大きくかつ前記多孔部と対向する部分が取
り除かれているリング状の耐熱性絶縁板を設けた
ことを特徴とするイオン源。 (2) 耐熱性絶縁板はセラミツクを材料としてい
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
項記載のイオン源。 (3) 耐熱性絶縁板はガラスを材料としているこ
とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記
載のイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8976785U JPS61206257U (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8976785U JPS61206257U (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61206257U true JPS61206257U (ja) | 1986-12-26 |
Family
ID=30644156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8976785U Pending JPS61206257U (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61206257U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63221540A (ja) * | 1987-03-09 | 1988-09-14 | Tokyo Electron Ltd | 電子ビ−ム励起イオン源 |
-
1985
- 1985-06-14 JP JP8976785U patent/JPS61206257U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63221540A (ja) * | 1987-03-09 | 1988-09-14 | Tokyo Electron Ltd | 電子ビ−ム励起イオン源 |
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