JPS6217063U - - Google Patents

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JPS6217063U
JPS6217063U JP10896085U JP10896085U JPS6217063U JP S6217063 U JPS6217063 U JP S6217063U JP 10896085 U JP10896085 U JP 10896085U JP 10896085 U JP10896085 U JP 10896085U JP S6217063 U JPS6217063 U JP S6217063U
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plasma
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low
pressure chamber
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  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案による装置の構成図、第2図は
従来の装置の構成図を示す。 1……サンプリングコーン、2……スキマー、
3……イオンレンズ、4……4重極質量分析計、
5……大気圧プラズマ、6……排気管1、7……
排気管2、8……遮光板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 大気圧下に存在するプラズマを取り入れる先端
    に円形オリフイスを持つサンプリングコーンと、
    該サンプリングコーンに接続される低圧室と、該
    低圧室を通過したプラズマを引き込み先端に円形
    オリフイスを持つスキマーと、該スキマーに接続
    された第2の低圧室と、該第2の低圧室内に設置
    され前記スキマーを通過したプラズマのうちイオ
    ンを収束するイオンレンズと、該収束イオンを質
    量分析する質量分析計からなる大気圧プラズマ質
    量分析装置において、前記サンプリングコーンの
    オリフイスの中心軸と前記スキマーのオリフイス
    の中心軸が両オリフイスの半径の和以上離れるよ
    うにサンプリングコーンとスキマーを設置したこ
    とを特徴とする大気圧プラズマ質量分析装置。
JP10896085U 1985-07-17 1985-07-17 Expired JPH0323653Y2 (ja)

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JP10896085U JPH0323653Y2 (ja) 1985-07-17 1985-07-17

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JP10896085U JPH0323653Y2 (ja) 1985-07-17 1985-07-17

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Publication Number Publication Date
JPS6217063U true JPS6217063U (ja) 1987-01-31
JPH0323653Y2 JPH0323653Y2 (ja) 1991-05-23

Family

ID=30986628

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10896085U Expired JPH0323653Y2 (ja) 1985-07-17 1985-07-17

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0323653Y2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6437227U (ja) * 1987-08-24 1989-03-07

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6437227U (ja) * 1987-08-24 1989-03-07

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0323653Y2 (ja) 1991-05-23

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