JPS60140356U - 質量分析装置 - Google Patents

質量分析装置

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JPS60140356U
JPS60140356U JP2787184U JP2787184U JPS60140356U JP S60140356 U JPS60140356 U JP S60140356U JP 2787184 U JP2787184 U JP 2787184U JP 2787184 U JP2787184 U JP 2787184U JP S60140356 U JPS60140356 U JP S60140356U
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JP
Japan
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section
mass spectrometer
mass spectrometry
ionization
ionization section
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JP2787184U
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JPH0342611Y2 (ja
Inventor
正彦 土屋
大塚　紀一郎
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日本電子株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来例の構造を説明するための断面図、第２図
は本考案を実施した質量分析装置の一例を示す断面図、
第３図はそのＡ−Ａ断面図である。 １：ＡＰＩイオン源、２：四重極質量分析装置、３．４
，７：アパーチャ板、１７：フランジ、１９．２１：排
気管、２２ａ〜２２ｄ：偏向電極、２３ａ〜２３ｄ：電
源。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 圧力の高いイオン化部と、該イオン化部で生成されたイ
    オンを導入して分析する圧力の低い質量分析部と、上記
    イオン化部と上記質量分析部との間に間階をおいて配列
    された複数のアパーチャ板と、該アパーチャ板で挟まれ
    た領域を排気する手段とを備え、前記アパーチャ板で囲
    まれた領域の少なくとも１つに通過するイオンを偏向す
    を偏向電極を設けたことを特徴とする質量分析装置。
JP2787184U 1984-02-28 1984-02-28 質量分析装置 Granted JPS60140356U (ja)

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JP2787184U JPS60140356U (ja) 1984-02-28 1984-02-28 質量分析装置

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JPS60140356U true JPS60140356U (ja) 1985-09-17
JPH0342611Y2 JPH0342611Y2 (ja) 1991-09-06

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001351563A (ja) * 2000-06-07 2001-12-21 Shimadzu Corp 質量分析装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5550563A (en) * 1978-10-07 1980-04-12 Ulvac Corp Mass analyzer
JPS5623273A (en) * 1979-07-31 1981-03-05 Takara Belmont Co Ltd Sieve for scattering glaze

Patent Citations (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5550563A (en) * 1978-10-07 1980-04-12 Ulvac Corp Mass analyzer
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JPH0342611Y2 (ja) 1991-09-06

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