JPH0360741U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0360741U JPH0360741U JP12117689U JP12117689U JPH0360741U JP H0360741 U JPH0360741 U JP H0360741U JP 12117689 U JP12117689 U JP 12117689U JP 12117689 U JP12117689 U JP 12117689U JP H0360741 U JPH0360741 U JP H0360741U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- charged particle
- particle beam
- electrode
- source
- Prior art date
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- Granted
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- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 10
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係る荷電粒子
ビーム発生装置を示す図である。第２図は、第１
図中の引出し電極系における電位分布の一例を示
す図であり、Ａはイオンビーム引出し時を、Ｂは
イオンビーム遮断時をそれぞれ示す。第３図は、
従来の荷電粒子ビーム発生装置の一例を示す図で
ある。 ２……荷電粒子ビーム源、４……プラズマソー
ス部、１０……プラズマ、１２……引出し電極系
、１３……プラズマ電極、１６……制御電極、１
８……イオンビーム（荷電粒子ビーム）、３０…
…制御電源。
ビーム発生装置を示す図である。第２図は、第１
図中の引出し電極系における電位分布の一例を示
す図であり、Ａはイオンビーム引出し時を、Ｂは
イオンビーム遮断時をそれぞれ示す。第３図は、
従来の荷電粒子ビーム発生装置の一例を示す図で
ある。 ２……荷電粒子ビーム源、４……プラズマソー
ス部、１０……プラズマ、１２……引出し電極系
、１３……プラズマ電極、１６……制御電極、１
８……イオンビーム（荷電粒子ビーム）、３０…
…制御電源。
Claims (1)
- プラズマを作るプラズマソース部およびそこか
ら荷電粒子ビームを引き出す引出し電極系を有す
る荷電粒子ビーム源を備える荷電粒子ビーム発生
装置において、前記荷電粒子ビーム源の引出し電
極系を構成する電極の内の最プラズマ側の電極で
あるプラズマ電極のすぐ下流側に、荷電粒子ビー
ムの流れを制御する制御電極を設け、かつ、この
制御電極とプラズマ電極との間に電圧を印加して
、制御電極の電位を前記プラズマソース部中のプ
ラズマの電位よりも低くしたり高くしたりする制
御電源を設けたことを特徴とする荷電粒子ビーム
発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12117689U JPH0722034Y2 (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | 荷電粒子ビーム発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12117689U JPH0722034Y2 (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | 荷電粒子ビーム発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0360741U true JPH0360741U (ja) | 1991-06-14 |
| JPH0722034Y2 JPH0722034Y2 (ja) | 1995-05-17 |
Family
ID=31669214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12117689U Expired - Lifetime JPH0722034Y2 (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | 荷電粒子ビーム発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0722034Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-10-16 JP JP12117689U patent/JPH0722034Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0722034Y2 (ja) | 1995-05-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |