JPS61149266U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61149266U JPS61149266U JP3361885U JP3361885U JPS61149266U JP S61149266 U JPS61149266 U JP S61149266U JP 3361885 U JP3361885 U JP 3361885U JP 3361885 U JP3361885 U JP 3361885U JP S61149266 U JPS61149266 U JP S61149266U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- electrode
- charged particle
- particle source
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 4
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第1図は、この考案の一実施例に係るイオン源
の引出し電極系の部分拡大図である。第2図は、
この考案のイオン源における引出し電圧とビーム
電流密度の関係を示す図である。第3図は、この
考案の他の実施例に係るイオン源の引出し電極系
の部分拡大図である。第4図は、従来のイオン源
の一例を示す概念図である。第5図及び第6図は
、それぞれ、第4図のイオン源の引出し電極系の
部分拡大図である。第7図は、第4図のイオン源
における引出し電圧とビーム電流密度の関係を示
す図である。 1……プラズマ、10……プラズマ電極、10
1……孔、14……引出し電極、16……イオン
ビーム、26……プラズマ面、28……等電位面
、30……微小孔電極、301……微小孔。
の引出し電極系の部分拡大図である。第2図は、
この考案のイオン源における引出し電圧とビーム
電流密度の関係を示す図である。第3図は、この
考案の他の実施例に係るイオン源の引出し電極系
の部分拡大図である。第4図は、従来のイオン源
の一例を示す概念図である。第5図及び第6図は
、それぞれ、第4図のイオン源の引出し電極系の
部分拡大図である。第7図は、第4図のイオン源
における引出し電圧とビーム電流密度の関係を示
す図である。 1……プラズマ、10……プラズマ電極、10
1……孔、14……引出し電極、16……イオン
ビーム、26……プラズマ面、28……等電位面
、30……微小孔電極、301……微小孔。
Claims (1)
- プラズマ室内に生成されたプラズマから、プラ
ズマ室の出口部にプラズマに接するように設けら
れていて1以上の孔を有するプラズマ電極を通し
て荷電粒子を引き出す荷電粒子源において、プラ
ズマ電極の荷電粒子引出し側の面に、プラズマ電
極の孔よりも小さい複数の微小孔を有する微小孔
電極を取り付けていることを特徴とする荷電粒子
源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3361885U JPS61149266U (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3361885U JPS61149266U (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61149266U true JPS61149266U (ja) | 1986-09-13 |
Family
ID=30536237
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3361885U Pending JPS61149266U (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61149266U (ja) |
-
1985
- 1985-03-08 JP JP3361885U patent/JPS61149266U/ja active Pending