JPS634052U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS634052U JPS634052U JP9854886U JP9854886U JPS634052U JP S634052 U JPS634052 U JP S634052U JP 9854886 U JP9854886 U JP 9854886U JP 9854886 U JP9854886 U JP 9854886U JP S634052 U JPS634052 U JP S634052U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ionization chamber
- porous plate
- ion gun
- exit
- travel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は一実施例を示す概略断面図、第２図は
同実施例のイオンビームの電流密度分布を示す図
、第３図は従来のイオン銃を示す概略断面図、第
４図は同従来例のイオンビームの電流密度分布を
示す図である。 ２……イオン化室、４，６……多孔プレート、
２０―１〜２０―３……円錐台状スリツト。
同実施例のイオンビームの電流密度分布を示す図
、第３図は従来のイオン銃を示す概略断面図、第
４図は同従来例のイオンビームの電流密度分布を
示す図である。 ２……イオン化室、４，６……多孔プレート、
２０―１〜２０―３……円錐台状スリツト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) イオン化室の出口にグリツドとなる多孔プ
レートを設け、イオン化室で発生したイオンを前
記多孔プレートの電場で加速してイオン化室から
取り出すカウフマン型イオン銃において、前記イ
オン化室の出口でイオンビームの進行方向に対し
て多孔プレートより外側に、イオンビームの進行
方向に広がつた円錐台状又は角錐台状のスリツト
を設けたことを特徴とするイオン銃。 (2) 前記スリツトは多段に重ねられている実用
新案登録請求の範囲第(1)項に記載のイオン銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9854886U JPS634052U (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9854886U JPS634052U (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS634052U true JPS634052U (ja) | 1988-01-12 |
Family
ID=30966584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9854886U Pending JPS634052U (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS634052U (ja) |
-
1986
- 1986-06-26 JP JP9854886U patent/JPS634052U/ja active Pending
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