JPS6251735U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6251735U JPS6251735U JP14137285U JP14137285U JPS6251735U JP S6251735 U JPS6251735 U JP S6251735U JP 14137285 U JP14137285 U JP 14137285U JP 14137285 U JP14137285 U JP 14137285U JP S6251735 U JPS6251735 U JP S6251735U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- thin film
- ionization section
- forming apparatus
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例による薄膜形成装
置における蒸着物質を溶解するるつぼの加熱手段
およびクラスタのイオン化手段等を示す断面図、
第２図は従来の薄膜形成装置の全体構成を示す断
面図である。 図において、４は蒸着物質、５はるつぼ、１１
はイオン化フイラメント、１２は電子引出グリツ
ド、１５はイオン化電子、１６は加速電極、１９
はイオン化クラスタ、２０はクラスタビーム、２
４は基板、２７は小孔、２８は隔壁筒。なお、各
図中同一符号は同一または相当部分を示す。
置における蒸着物質を溶解するるつぼの加熱手段
およびクラスタのイオン化手段等を示す断面図、
第２図は従来の薄膜形成装置の全体構成を示す断
面図である。 図において、４は蒸着物質、５はるつぼ、１１
はイオン化フイラメント、１２は電子引出グリツ
ド、１５はイオン化電子、１６は加速電極、１９
はイオン化クラスタ、２０はクラスタビーム、２
４は基板、２７は小孔、２８は隔壁筒。なお、各
図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 高真空領域内にるつぼとイオン化部と加速電極
と薄膜を蒸着する基板とを配設し、上記るつぼお
よびイオン化部と上記加速電極との間に、前者が
正、後者が負となるような加速電圧が印化され、
上記るつぼ内の蒸着物質が加熱によつて蒸発し、
上記るつぼに設けられた小孔より高真空中に噴射
して断熱膨張による過冷却状態になつたクラスタ
に対して上記イオン化部においてクラスタイオン
を発生させ、このクラスタイオンを加速して上記
基板に薄膜を蒸着させる薄膜形成装置において、
上記るつぼと上記イオン化部のグリツドとが隔壁
筒によつて結合された一体構造に形成されている
ことを特徴とする薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14137285U JPS6251735U (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14137285U JPS6251735U (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6251735U true JPS6251735U (ja) | 1987-03-31 |
Family
ID=31049089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14137285U Pending JPS6251735U (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6251735U (ja) |
-
1985
- 1985-09-18 JP JP14137285U patent/JPS6251735U/ja active Pending
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