JPS6169266U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6169266U JPS6169266U JP15298284U JP15298284U JPS6169266U JP S6169266 U JPS6169266 U JP S6169266U JP 15298284 U JP15298284 U JP 15298284U JP 15298284 U JP15298284 U JP 15298284U JP S6169266 U JPS6169266 U JP S6169266U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- metal
- electromagnet
- evaporation device
- heating evaporation
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第1図は本考案の金属の加熱蒸発装置の実施例
を示す斜視図、第2図は本考案の金属の加熱蒸発
装置の正面図、第3図は第2図の側面図、第4図
は従来の金属の加熱蒸発装置の一例を示す図であ
る。 1は真空容器、2はるつぼ、3は金属、4は電
子銃、5は電子ビーム、6は電磁石、8は電磁コ
イル、9は磁極、10は磁界領域を示す。
を示す斜視図、第2図は本考案の金属の加熱蒸発
装置の正面図、第3図は第2図の側面図、第4図
は従来の金属の加熱蒸発装置の一例を示す図であ
る。 1は真空容器、2はるつぼ、3は金属、4は電
子銃、5は電子ビーム、6は電磁石、8は電磁コ
イル、9は磁極、10は磁界領域を示す。
Claims (1)
- 真空容器内に設置したるつぼ内の金属を電子ビ
ームで加熱蒸発させる金属の加熱蒸発装置におい
て、磁極を相対向させ且つ該磁極間に飛来する電
子ビームを垂直下方へ偏向させるための磁界領域
を作る電磁石を設け、該電磁石の内側にるつぼを
設置し、且つ上記磁界領域に電子ビームを通すよ
うに電子銃を設置したことを特徴とする金属の加
熱蒸発装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15298284U JPS6169266U (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15298284U JPS6169266U (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6169266U true JPS6169266U (ja) | 1986-05-12 |
Family
ID=30711019
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15298284U Pending JPS6169266U (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6169266U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6437458U (ja) * | 1987-09-01 | 1989-03-07 |
-
1984
- 1984-10-09 JP JP15298284U patent/JPS6169266U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6437458U (ja) * | 1987-09-01 | 1989-03-07 |