JPH02129660U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02129660U JPH02129660U JP3811089U JP3811089U JPH02129660U JP H02129660 U JPH02129660 U JP H02129660U JP 3811089 U JP3811089 U JP 3811089U JP 3811089 U JP3811089 U JP 3811089U JP H02129660 U JPH02129660 U JP H02129660U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- ion implantation
- semiconductor wafer
- separator
- ion beam
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 9
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 5
Description
第１図は本考案に係るイオン注入装置の概略斜
視図である。第２図は従来のイオン注入装置の概
略斜視図、第３図は従来のイオン打込室内に装備
されるウエーハホルダの概略斜視図、第４図は従
来の別のイオン打込室の概略縦断面図、第５図は
従来の別のイオン打込室の概略斜視図である。 １……イオン源、２……イオンビーム、３……
イオン分離器、４……加速部、５……収束系、６
……半導体ウエーハ、８……イオン打込室、９…
…ウエーハホルダ。
視図である。第２図は従来のイオン注入装置の概
略斜視図、第３図は従来のイオン打込室内に装備
されるウエーハホルダの概略斜視図、第４図は従
来の別のイオン打込室の概略縦断面図、第５図は
従来の別のイオン打込室の概略斜視図である。 １……イオン源、２……イオンビーム、３……
イオン分離器、４……加速部、５……収束系、６
……半導体ウエーハ、８……イオン打込室、９…
…ウエーハホルダ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 イオン源に連続するイオン分離器と、 イオン分離器によつて、取出された目的イオン
のイオンビームを加速する加速部と、 加速されたイオンビームを半導体ウエーハ上に
収束させる収束系と、 イオン注入時に半導体ウエーハを水平姿勢で保
持するウエーハホルダを収納したイオン打込室と
を鉛直方向に連続したことを特徴とするイオン注
入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3811089U JPH02129660U (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3811089U JPH02129660U (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02129660U true JPH02129660U (ja) | 1990-10-25 |
Family
ID=31545825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3811089U Pending JPH02129660U (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02129660U (ja) |
-
1989
- 1989-03-31 JP JP3811089U patent/JPH02129660U/ja active Pending