JPH0388258U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0388258U JPH0388258U JP14903989U JP14903989U JPH0388258U JP H0388258 U JPH0388258 U JP H0388258U JP 14903989 U JP14903989 U JP 14903989U JP 14903989 U JP14903989 U JP 14903989U JP H0388258 U JPH0388258 U JP H0388258U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion mass
- chamber
- sample surface
- ion
- secondary ion
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 claims description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 14
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例１を示す概略図、第２
図は本考案の実施例２を示す概略図である。 １……二次イオン質量分析用主イオン源、２…
…試料表面クリーニング用イオン源、３……試料
、４……測定用チヤンバー、５……予備排気室、
６……質量分析器、７……二次イオン検出器、８
……クリーニング用チヤンバー。
図は本考案の実施例２を示す概略図である。 １……二次イオン質量分析用主イオン源、２…
…試料表面クリーニング用イオン源、３……試料
、４……測定用チヤンバー、５……予備排気室、
６……質量分析器、７……二次イオン検出器、８
……クリーニング用チヤンバー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 予備排気室に通して測定用チヤンバー内に
搬入された試料に二次イオン質量分析用主イオン
源によるイオン照射を行い、二次イオン質量分析
を行う二次イオン質量分析装置であつて、 試料表面をクリーニングするイオン照射を行う
試料表面クリーニング用イオン源を有し、 該試料表面クリーニング用イオン源を前記測定
用チヤンバー内に装備したことを特徴とする二次
イオン質量分析装置。 (2) 予備排気室に通して測定用チヤンバー内に
搬入された試料に二次イオン質量分析用主イオン
源によるイオン照射を行い、二次イオン質量分析
を行う二次イオン質量分析装置であつて、 前記予備排気室と前記測定用チヤンバー間に設
けられ、予備排気室よりの試料を測定用チヤンバ
ー内に向けて通過させるクリーニング用チヤンバ
ーと、 試料表面をクリーニングするイオン照射を行う
試料表面クリーニング用イオン源とを有し、 前記試料表面クリーニング用イオン源を前記ク
リーニング用チヤンバー内に装備したことを特徴
とする二次イオン質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14903989U JPH0388258U (ja) | 1989-12-25 | 1989-12-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14903989U JPH0388258U (ja) | 1989-12-25 | 1989-12-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0388258U true JPH0388258U (ja) | 1991-09-10 |
Family
ID=31695464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14903989U Pending JPH0388258U (ja) | 1989-12-25 | 1989-12-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0388258U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101496908B1 (ko) * | 2013-10-02 | 2015-03-02 | 주식회사 필룩스 | 다기능 의류 |
-
1989
- 1989-12-25 JP JP14903989U patent/JPH0388258U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101496908B1 (ko) * | 2013-10-02 | 2015-03-02 | 주식회사 필룩스 | 다기능 의류 |
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