JPH01109729A - 全面切断チップ剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 全面切断チップを粘着テープから剥離する装置の改良に
関し、 全面切断チップを粘着テープから確実に剥離し、安定し
た全面切断チップの突き上げが可能な、摩耗し難い全面
切断チップ剥離装置の提供を目的とし、 粘着テープ・上に搭載された全面切断チップを、吸着し
て突き上げる突き上げピンと、前記突き上げピンを保持
するピンホルダと、前記ピンホルダを上下にガイドする
ピンホルダガイドと、前記粘着テープを吸着する吸着ス
テージとを具備するよう構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、グイボンディング装置に係り、特に全面切断
チップを粘着テープから剥離する装置の改良に関するも
のである。

半導体装置のアセンブリ工程においては全面切断した半
導体チップの粘着テープよりの剥離の良否が、グイボン
ディング装置の稼動と、半導体チップの品質に重大な影
響を与えている。

以上のような状況から全面切断チップを粘着テ−プから
安定して確実にＭＩＪ離することが可能な全面切断チッ
プ剥離装置が要望されている。

〔従来の技術〕

従来の全面切断チップ剥離装置の突き上げピン２１は、
第５図に示すように超硬合金或いは工具鋼からなる針状
のピンであり、本体部２１ａの直径は０．６９鰭、先端
部２１ｂは先端角度が２０＠の半径０．０２１１の球面
で全面切断チップ６を保持するようになっている。

第４図に示すように、突き上げピン２１はピンホルダ２
２に圧入されている。

ピンホルダ２２はピンホルダガイド２３に沿って上下に
摺動可能であり、図示のように突き上げピン２１の先端
部は吸着ステージ２４の中央の孔の中にある。

この吸着ステージ２４は上記のピンホルダガイド２３と
同じ内径を有し、上記のピンホルダ２２がその内径にそ
って摺動するようになっている。

ピンホルダ２２は両端の摺動部以外の中央部は直径が細
くなっており、ピンホルダガイド２３の内径との間に隙
間が設けられている。

ピンホルダガイド２３に設けられている真空配管接続孔
２３ａは、二方口電磁弁２５を介して図示しない真空ポ
ンプと接続されている。

二方口電磁弁２５が通電されて作動すると、ピンホルダ
ガイド２３とピンホルダ２２との隙間が真空となり、ピ
ンホルダ２２に設けた真空通気溝２２ｃを経て吸着ステ
ージ２４とピンホルダ２２との間が真空となり、吸着ス
テージ２４の通気孔２４ｂを経て吸着溝２４ａの中が真
空になり、吸着ステージ２４の上の粘着テープ７が吸着
ステージ２４の表面に吸着される。

この状態で図示しない突き上げ駆動装置によりピンホル
ダ２２が上方に押しあげられると、突き上げピン２１は
粘着テープ７にその外径の孔をあけて全面切断チップ６
を上方に押しあげる。

この時粘着テープ７を吸着ステージ２４の表面に吸着し
て、全面切断チップ６を粘着テープ７から剥離するよう
になっている。

チップコレット８のチップ収納部８ａのサイズと全面切
断チップ６の外形サイズとの差は１１１１１となってお
り、突き上げピン２１で突き上げられた全面切断チンプ
ロの真上にはチップコレット８があり、そのチップ収納
部８ａの中に全面切断チップ６が収納され、全面切断チ
ップ６は真空によりチップコレット８に吸着され、保持
されて所定の位置まで搬送される。

全面切断チップ６が粘着テープ７から剥離され、チップ
コレット８で搬送されると、突き上げピン１１は下方に
下がり、吸着ステージ２４の中央の孔の中に入る。

二方口電磁弁２５の通電を停止すると、これまで真空で
あった部分が大気圧になり、粘着テープ７は吸着ステー
ジ２４に吸着されなくなり、粘着テープ７は全面切断チ
ップ６の一個分だけ移動し、次の全面切断チンプロが突
き上げピン１１の真上に来て停止する。

〔発明が解決しようとする問題点３ 以上説明の従来の全面切断チップ剥離装置で問題となる
のは、突き上げピンで突き上げた時に全面切断チップが
水平位置から傾くと、全面切断チップがチップコレット
内でそのまま保持され、真空がチップコレットと全面切
断チップの隙間からリークし、全面切断チップのピック
アップ状態が不安定になることと、チップコレットと全
面切断チップの位置ずれが余裕よりも大きい場合には、
全面切断チップの素子形成面がチップコレットに当たり
ダメージを与えることである。

更に、突き上げピンの先端が鋭利なため、使用頻度が多
くなると摩耗が激しくなることである。

以上のような状況から全面切断チップを粘着テープから
確実に剥離し、安定した全面切断チップの突き上げが可
能な、摩耗し難い全面切断チップ剥離装置の提供を目的
としたものである。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点は、粘着テープ上に搭載された全面切断チッ
プを、吸着して突き上げる突き上げピンと、前記突き上
げピンを保持するピンボルダと、前記ピンホルダを上下
にガイドするるピンホルダガイドと、前記粘着テープを
吸着する吸着ステージとを具備する本発明による全面切
断チップ剥離装置によって解決される。

〔作用〕

即ち本発明においては、粘着テープ上に搭載された全面
切断チップを、突き上げピンで吸着して突き上げるので
、この突き上げピンで保持される全面切断チップが水平
位置から傾くことがなくなり、確実に安定してチップコ
レットによちて全面切断チップを搬送するこことが可能
となる。

また、突き上げピンの先端形状がリング状のため耐摩耗
性が向上する。

〔実施例〕

以下第１図〜第３図について本発明の一実施例を説明す
る。

第２図に示すように、突き上げピン１は、超硬合金或い
は工具鋼からなる中空のパイプである。

外径りは０．７〜１．０鰭、内径ｄは０．１〜０．９ｆ
ｉであり、すり林状に加工した先端のチップ吸着部１ｂ
で、真空通気孔１ａを通り４人される真空によりチップ
を吸着して保持するようになっている。

第１図に示すように、突き上げピン１はピンホルダ２の
真空通気孔２ｂに圧入されている。

ピンホルダ２はピンホルダガイド３に沿って上下に摺動
可能であり、図示のように突き上げピン１の先端部は吸
着ステージ４の中央の孔の中にある。

この吸着ステージ４は上記のピンホルダガイド３と同じ
内径を有し、上記のピンホルダ２がその内径にそって摺
動するようになっている。

ピンホルダ２は両端の摺動部以外の中央部は直径が細く
なっており、ピンホルダガイド３の内径との間に隙間が
設けられている。

ピンホルダガイド３に設けられている真空配管接続孔３
ａは、二方口電磁弁５を介し真空ポンプ９と接続されて
いる。

二方口電磁弁５が通電されて作動すると、ピンホルダガ
イド３とピンホルダ２との隙間が真空となり、真空吸引
口２ａを経て真空通気孔２ｂの中及び突き上げピン１の
孔の中が真空になる。

一方、第１図（ａｌ及び（Ｃ）に示すようなピンホルダ
２に設けた真空通気溝２ｃを経て吸着ステージ４とピン
ホルダ２との間が真空となり、第１図（ａ）及び第１図
（ｂ）に示すように吸着ステージ４の通気孔４ｂを経て
吸着溝４ａの中が真空になり、吸着ステージ４の上の粘
着テープ７が吸着ステージ４０表面に吸着される。

この状態でピンホルダ２を突き上げる駆動装置１０によ
りピンホルダ２が上方に押しあげられると、突き上げピ
ン１は粘着テープ７を介して全面切断チップ６を上方に
押しあげる。

この時粘着テープ７が吸着ステージ４の表面に吸着され
ているので、突き上げピン１の先端の最も突出した部分
により粘着テープ５が破られ、その孔を通って突き上げ
ピン１が直接全面切断チップ６に接触し、突き上げピン
１の孔の中の真空により全面切断千ツブ６が突き上げピ
ン１に吸着された状態で上昇するので、全面切断チップ
６と粘着テープ７は完全に剥離される。

チップコレット８のチップ収納部８ａのサイズと全面切
断チップ６の外形サイズとの差は１１１となっており、
チップ収納部８ａに全面切断チンプロを真空で吸着する
ようになっている。

突き上げピン１で突き上げられた全面切断チップ６の真
上にチップコレット８があるので、そのチップ収納部８
ａの中に全面切断チップ６が真空で吸着される。

この時二方口電磁弁５の通電が停止されるのでこれまで
真空であった部分が大気圧になり、突き上げピンｌは全
面切断チップ６を吸着しなくなり、全面切断チップ６は
真空によりチップコレット８に吸着され、保持されて所
定の位置まで搬送される。

全面切断チップ６が粘着テープ７から剥離され、チップ
コレット８で搬送されると、突き上げピン１は下方に下
がり、吸着ステージ４の中央の孔の中に入る。

これまで真空であった部分が大気圧になり、粘着テープ
７は吸着ステージ４に吸着されなくなり、粘着テープ７
は全面切断チップ６の一個分だけ移動し、次の全面切断
チップ６が突き上げピンｌの真上に来て停止する。

このように、二方口電磁弁５の作動と、ピンホルダガイ
ド３の上下動作と、粘着テープ７の吸着ステージ４への
吸着と、粘着テープ７の送り動作の組み合わせにより、
全面切断チップ６を突き上げピン１で吸着し、安定して
チップコレット８のチップ収納部８ａに収納して搬送す
ることが可能となる。

上記の実施例は、突き上げピンｌが一本の場合について
説明したが、突き上げピン１の数は一本に限定されるも
のでなく、第３図に示すように三本或いは四本等の複数
の突き上げピン１１をピンホルダ１２に設け、真空通気
孔１２ｂに接続することが可能であり、より安定した全
面切断チップ６の突き上げが可能となる。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明によれば極めて
簡単な構造の突き上げピンを用いることにより、全面切
断チップを粘着テープから確実に剥離し、安定した全面
切断チップの突き上げが可能となり、全面切断チップと
の接触面積が増加するので、突き上げピンが摩耗し難く
なる等の利点があり、著しい経済的及び、信頌性向上の
効果が期待でき工業的には極めて有用なものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による一実施例を示す図、第２図は本発
明の突き上げピンの断面図、第３図は本発明による他の
実施例を示す図、第４図は従来の全面切断チップ剥離装
置を示す側断面図、 第５図は従来の突き上げピンの断面図、である。 図において、 ｌは突き上げピン、 １ａは真空通気孔、 ｉｂはチップ吸着部、 ２はピンホルダ、 ２ａは真空吸引口、 ２ｂは真空通気孔、 ２ｃは真空通気溝、 ３はピンホルダガイド、 ３ａは真空配管接続孔、 ４は吸着ステージ、 ４ａは吸着溝、 ４ｂは通気孔、 ５は二方口電磁弁、 ６は全面切断チップ、 ７は粘着テープ、 ８はチップコレット、 ８ａはチップ収納部、 ９は真空ポンプ、 ｌＯは駆動装置、　　を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　粘着テープ（７）上に搭載された全面切断チップ（６
   ）を、吸着して突き上げる突き上げピン（１）と、前記
   突き上げピン（１）を保持するピンホルダ（２）と、 前記ピンホルダ（２）を上下にガイドするピンホルダガ
   イド（３）と、 前記粘着テープ（７）を吸着する吸着ステージ（４）と
   、 を具備することを特徴とする全面切断チップ剥離装置。