JP2006114831A - 半導体レーザチップのピックアップ方法および真空コレット - Google Patents
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Abstract
【課題】真空コレットが押し付けられることによりリッジがダメージを受けてしまうことを防止することによって、半導体レーザチップの信頼性を向上させる。
【解決手段】リッジ2aを内部に備えた半導体レーザチップ2を、真空コレット1によって吸着して持ち上げ、所定の位置まで搬送するためのものであり、真空コレットを半導体レーザチップの中央部に配置した場合には、先端部が二股形状に成形されているか、先端部が筒形状に成形されておりかつ端面に2個の凹部を備えている真空コレットを用いることにより、半導体レーザチップ2上面のうちリッジ2aに対向する部分を避けて、真空コレット1を半導体レーザチップ2上面に接触させることができるものであり、また、真空コレットの先端部が単に筒形状に成形されている場合には、リッジに対向している領域を避けて真空コレットを半導体レーザチップ上面に接触させるといったものである。
【選択図】 図1
【解決手段】リッジ2aを内部に備えた半導体レーザチップ2を、真空コレット1によって吸着して持ち上げ、所定の位置まで搬送するためのものであり、真空コレットを半導体レーザチップの中央部に配置した場合には、先端部が二股形状に成形されているか、先端部が筒形状に成形されておりかつ端面に2個の凹部を備えている真空コレットを用いることにより、半導体レーザチップ2上面のうちリッジ2aに対向する部分を避けて、真空コレット1を半導体レーザチップ2上面に接触させることができるものであり、また、真空コレットの先端部が単に筒形状に成形されている場合には、リッジに対向している領域を避けて真空コレットを半導体レーザチップ上面に接触させるといったものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体レーザチップを搬送する際に用いられる半導体レーザチップのピックアップ方法およびこのピックアップ方法において使用される真空コレットに関するものである。
図6は、従来の半導体レーザチップのピックアップ方法および真空コレットの一例を示す説明図である。
従来の半導体レーザチップのピックアップ方法では、図6に示すように、内部に中空部分を備えた真空コレット101を用い、中空部101aを真空に引くことで半導体レーザチップ102を吸着し、半導体レーザチップ102をピックアップする。
しかしながら、この方法では、真空コレット101を半導体レーザチップ102に接触させる際に、真空コレット101を矢印D100で示す方向に半導体レーザチップに押し付けるため、リッジ102aがダメージを受けてしまう。
特に、リッジ型半導体レーザチップでは、このダメージが元で生じた欠陥を起点に通電中に欠陥が増幅し、故障の原因となり、その結果、半導体レーザチップの信頼性が低下するといった問題が発生していた。
図7は、欠陥が生じた状態のリッジ型半導体レーザチップに対してカソードルミネッセンス測定を実施した際のリッジ型半導体レーザチップの一例を示す説明図である。
図示されているように、故障したリッジ型半導体レーザチップ102に対してカソードルミネッセンス測定を実施すると、真空コレット吸着位置にダークスポット105やコレット吸着位置を起点とするダークライン106が観察される。
このような問題点を解決する真空コレットの一例として、特許文献1に開示されている半導体チップの吸着装置がある。この吸着装置は、吸着コレットの先端部に立方体の部材を備えており、吸着面に1つの凹部を備えており、この凹部の底面に吸気孔を備えているといったものである。そして、吸着を行う際には、半導体チップのコレット接触禁止領域に吸着コレットが接触しないように、凹部をコレット接触禁止領域に対向させた状態で、吸着コレットを半導体チップに接触させている。
また、真空コレットの他の例としては、特許文献2に開示されている半導体吸着コレットがある。この半導体吸着コレットは、その先端部にテーパ状の加工が施されており、半導体チップ吸着時にコレットと半導体チップとの相対位置関係を外部から確認するようになっている。
一方、半導体レーザチップのピックアップ方法の一例としては、特許文献3に開示されている半導体装置の製造方法がある。この製造方法では、先端部に立方体の部材を備えた真空コレットが使用されており、この立方体の部材の吸着面には1つの凹部が形成されており、さらに、この凹部の側面はテーパ状になっている。また、半導レーザチップの表面には有機絶縁膜が形成されており、この有機絶縁膜のトップエッジ部には面取りが施されている。そして、真空コレットで半導体レーザチップを吸着する際には、凹部と面取りが施されている部分とを接触させた状態で、真空吸着を行っている。
特開平7−66268号公報
特開2001−168114号公報
特開2002−93832号公報
しかしながら、上記特許文献1に開示されている半導体チップの吸着装置には、吸着時に半導体チップがX−Y面内で回転しないように、半導体チップ側に、凹部と嵌合し合う凸部を予め設けておく必要があるといった問題があった。また、上記特許文献2に開示されている半導体吸着コレットには、半導体チップ中央部分に吸着コレットの先端が接触してしまい、半導体チップにダメージを与えてしまうといった問題や、テーパ状に加工された部分が半導体チップのエッジ部分に接触するため、チップ欠けが生じるといった問題があった。さらに、上記特許文献3に開示されている半導体装置の製造方法は、半導体レーザチップの表面に有機絶縁膜を予め形成しておく必要があり、有機絶縁膜のない通常の半導体レーザチップに対してこの真空コレットを用いた場合には、半導体レーザチップのエッジが欠けるといった問題があった。
本発明は係る実情に鑑みてなされたもので、その目的は、真空コレットが押し付けられることによりリッジがダメージを受けてしまうことを防止することによって、半導体レーザチップの信頼性を向上させることができる半導体レーザチップのピックアップ方法および真空コレットを提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明の半導体レーザチップのピックアップ方法は、半導体レーザチップ上面のうちリッジに対向する部分を避けて、真空コレットを接触させることを特徴とするものである。その結果、真空コレットが押し付けられることによってリッジがダメージを受けることを防止できる。
また、上記構成において、図3に示すように、真空コレット11の先端部が、上下方向に貫通した1つの中空部11aを備えた筒形状に成形されていてもよい。このような構成を有している場合には、例えば、リッジ12aが半導体レーザチップ12の中央部よりも左側に形成されている場合(いわゆる、コンビ対応半導体レーザチップの場合)には、半導体レーザチップ12上面のうち中央部よりも右側に真空コレット11を接触させることによって、半導体レーザチップ12上面のうちリッジ12aに対向する領域を避けて、真空コレット11を半導体レーザチップ12に接触させることができる。
本発明に係る半導体レーザチップのピックアップ方法は、半導体レーザチップ上面の中央部分を避けて、真空コレットを接触させることを特徴とするものがある。その結果、真空コレットが押し付けられることによってリッジがダメージを受けることを防止できる。
また、上記構成において、図1に示すように、前記真空コレット1の先端部が、上下方向に貫通した2つの中空部1a,1bを備えた二股形状に成形されていてもよい。このような構成を有している場合には、半導体レーザチップ2上面のうちリッジ2aに対向する領域の右側および左側に真空コレット1の2つの先端部をそれぞれ接触させることができる。従って、半導体レーザチップ2上面のうちリッジ2aに対向する部分を避けて、真空コレット1を半導体レーザチップ2に接触させることができる。
また、上記構成において、図2に示すように、真空コレット11の先端部が、上下方向に貫通した1つの中空部11aを備えた筒形状に成形されていてもよい。このような構成を有している場合には、例えば、リッジ2aが半導体レーザチップ2の中央部に形成されている場合、半導体レーザチップ2上面のうちリッジ2aに対向する領域の右側または左側に真空コレット11を接触させることによって、半導体レーザチップ2上面のうちリッジ2aに対向する領域を避けて、真空コレット11を半導体レーザチップ2に接触させることができる。
さらに、上記構成において、図4に示すように、筒形状に成形された真空コレット21の先端部の端面に、凹部21b,21cが2箇所形成されていてもよい。このような構成を有している場合には、凹部21b,21cをリッジ2aの上方に配置することにより、半導体レーザチップ2上面のうちリッジ2aに対向する部分を避けて、真空コレット21を半導体レーザチップ2に接触させることができる。
またさらに、上記構成において、図5に示すように、真空コレット31が、凹部に樹脂を埋め込むことにより形成された緩衝部31b,31cを備えていてもよい。このような構成を有している場合には、緩衝部31b,31cは弾力性があるため、緩衝部31b,31cをリッジ2aの上方に配置することにより、半導体レーザチップ2にダメージを与えることを防止できる。さらに、凹部からの吸着漏れを防止できる。
本発明の半導体レーザチップのピックアップ方法は、リッジを内部に備えた半導体レーザチップを、真空コレットによって吸着して持ち上げ、所定の位置まで搬送する際に使用されるものであり、半導体レーザチップ上面のうちリッジに対向する部分を避けて、真空コレットを接触させるようにしたので、リッジにダメージを与えることがなく、半導体レーザチップの信頼性が低下することを防止できる。また、真空コレットの先端部が、上下方向に貫通した1つの中空部を備えた筒形状に成形されている場合には、リッジが形成されている位置に関わらず、半導体レーザチップ上面のうちリッジに対向する領域を避けて、真空コレットを半導体レーザチップに接触させてピックアップを実施することができ、リッジにダメージを与えることがない。
また、本発明の半導体レーザチップのピックアップ方法は、半導体レーザチップを真空コレットによって吸着して持ち上げ、所定の位置まで搬送する際に使用されるものであり、半導体レーザチップ上面の中央部分を避けて、真空コレットを接触させるようにしたので、リッジにダメージを与えることがなく、半導体レーザチップの信頼性が低下することを防止できる。
本発明の真空コレットは、中空部分を備えており、この中空部分を真空に引くことにより半導体レーザチップを吸着して持ち上げるものであり、真空コレットの先端部が、上下方向に貫通した2つの中空部を備えた二股形状に成形されているものであるため、半導体レーザチップ上面のうちリッジに対向する領域を避けて、真空コレットを半導体レーザチップに接触させてピックアップを実施することができ、リッジにダメージを与えることがない。
また、本発明の真空コレットは、中空部分を備えており、この中空部分を真空に引くことにより半導体レーザチップを吸着して持ち上げるものであり、真空コレットの先端部が、上下方向に貫通した1つの中空部を備えた筒形状に成形されており、この先端部の端面に凹部が2箇所形成されているものであるため、真空コレットを半導体レーザチップ上面の中央部に配置しても、真空コレットの先端部が中央部に接触しないので、リッジにダメージを与えることがない。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の真空コレットの実施例1を示す説明図である。
本実施例の真空コレット1は、その先端部が、上下方向に貫通した2つの中空部1a,1bを備えた二股形状に成形されている。この2つの中空部1a,1bは上端部が1つの中空部につながっており、真空コレット1の上端部からこの1つの中空部を真空に引くことにより、2つの中空部1a,1bを同時に真空に引くことができる。
次に、このような構造を備えた真空コレットを用いて実施される、本発明の半導体レーザチップのピックアック方法の実施例1について、図1を参照しつつ説明する。
なお、ここでは、ピックアップされる半導体レーザチップ2として、リッジ構造の光導波路を備えているリッジ型半導体レーザチップを用いて説明を行っている。
まず始めに、半導体レーザチップ2上面のうちリッジ2aに対向する部分を避けて、真空コレット1を半導体レーザチップ2上面に接触させる。即ち、二股に分かれた真空コレット1の一方の先端部を、矢印D1で示すように、リッジ2aに対向する部分の左側の領域に接触させ、他方の先端部を、矢印D2で示すように、リッジ2aに対向する部分の右側の領域に接触させる。
次いで、真空コレット1内の中空部1a,1bを真空に引いて半導体レーザチップ2を吸着し、所定の場所まで半導体レーザチップ2を搬送する。
本実施例によれば、真空コレット1の先端部を2股形状に成形しているので、半導体レーザチップ2の中央部分にダメージを与えないように、半導体レーザチップ2を真空コレット1で吸着することができる。
図2は、本発明の真空コレットの実施例2を示す説明図である。
本実施例の真空コレット11は、その先端部が、上下方向に貫通した1つの中空部11aを備えた筒形状に成形されている。
次に、このような構造を備えた真空コレットを用いて実施される、本発明の半導体レーザチップのピックアック方法の実施例2について、図2を参照しつつ説明する。
まず始めに、半導体レーザチップ2上面のうちリッジ2aに対向する部分を避けて、真空コレット1を半導体レーザチップ2上面に接触させる。例えば、真空コレット11の先端部を、矢印D3で示すように、リッジ2aに対向する部分の左側の領域に接触させる。
次いで、真空コレット11内の中空部11aを真空に引いて半導体レーザチップ2を吸着し、所定の場所まで半導体レーザチップ2を搬送する。
本実施例によれば、リッジ2aに対抗する部分を避けて真空コレット11の先端部を半導体レーザチップ2の上面に接触させるので、リッジ2aにダメージを与えることなく、半導体レーザチップ2を真空コレット11で吸着することができる。
なお、リッジは、半導体レーザチップの中央部のみならず、中央部よりも左側または右側に形成されている場合がある。
図3は、中央部よりも左側にリッジが形成されている半導体レーザチップを、図2に示す真空コレットを用いてピックアップする方法の実施例を示す説明図である。
図示されているように、もし、リッジ12aが、半導体レーザチップ12の中央部よりも左側に形成されている場合には、矢印D4で示すように、半導体レーザチップ12上面のうちリッジ12aに対向する部分の右側の領域に真空コレット11の先端部を接触させて、半導体レーザチップ12をピックアップする。
この実施例によれば、リッジ12aに対抗する部分を避けて真空コレット11の先端部を半導体レーザチップ12の上面に接触させるので、リッジ12aにダメージを与えないように、半導体レーザチップ12を真空コレット11で吸着することができる。
図4は、本発明の真空コレットの実施例3を示す説明図である。
本実施例の真空コレット21は、その先端部が、上下方向に貫通した1つの中空部21aを備えた筒形状に成形されており、この先端部の端面に凹部21b,21cが2箇所形成されている。これら2箇所の凹部21a,21bは互いに対向配置されている。
次に、このような構造を備えた真空コレットを用いて実施される、本発明の半導体レーザチップのピックアック方法の実施例3について、図4を参照しつつ説明する。
まず始めに、半導体レーザチップ2上面のうちリッジ2aに対向する部分に真空コレット21を配置する。このとき、半導体レーザチップ2上面のうちリッジ2aに対向する部分に2個の凹部21b,21cが配置されるように位置決めを行う。その後、矢印D5で示すように、真空コレット21を半導体レーザチップ2上面に接触させる。
次いで、真空コレット21内の中空部21aを真空に引いて半導体レーザチップ2を吸着し、所定の場所まで半導体レーザチップ2を搬送する。
本実施例によれば、真空コレット21の先端部の端面に2個の凹部21b,21cが設けられているため、真空コレット21を半導体レーザチップ2上面の中央部に配置しても、真空コレット21の先端部が中央部に接触しない。従って、リッジ2aにダメージを与えることなく、半導体レーザチップ2を真空コレット11で吸着することができる。
図5は、本発明の真空コレットの実施例4を示す説明図である。
本実施例の真空コレット31は、実施例3に示した真空コレットと同様に、その先端部が、上下方向に貫通した1つの中空部31aを備えた筒形状に成形されており、この先端部の端面に凹部が2箇所形成されており、さらに、これら凹部に緩衝部31b,31cが設けられている。
これら緩衝部31b,31cは、凹部に樹脂を埋め込むことにより形成されている。
次に、このような構造を備えた真空コレットを用いて実施される、本発明の半導体レーザチップのピックアック方法の実施例4について、図5を参照しつつ説明する。
まず始めに、半導体レーザチップ2上面のうちリッジ2aに対向する部分に真空コレット31を配置する。このとき、半導体レーザチップ2上面のうちリッジ2aに対向する部分に緩衝部31b,31cが配置されるように位置決めを行う。その後、矢印D6で示すように、真空コレット31を半導体レーザチップ2上面に接触させる。
次いで、真空コレット31内の中空部31aを真空に引いて半導体レーザチップ2を吸着し、所定の場所まで半導体レーザチップ2を搬送する。
本実施例によれば、真空コレット31の先端部の端面に2個の緩衝部31b,31cが設けられているため、真空コレット31を半導体レーザチップ2上面の中央部に配置しても、真空コレット31の先端部が中央部に接触しない(厳密には、緩衝部31b,31cが接触しているが、緩衝部31b,31cは充分な弾力性をもった部材であるため、接触による影響は無視できる。)。従って、半導体レーザチップ2にダメージを与えることはない。
さらに、前述の実施例3に示した真空コレットにおいては、先端部に設けられた凹部より多少の吸着漏れが発生してしまい、半導体レーザチップの重さや上面の仕上げ状態によっては、半導体レーザチップを充分に固定(吸着)することができない場合があり、吸着時に半導体レーザチップがX−Y平面内で回転してしまうことがあった。
しかしながら、本実施例の真空コレットによれば、凹部に樹脂を注入することで緩衝部を形成して凹部を塞ぐことができるため、吸着漏れを低減することができる。その結果、真空コレットに半導体レーザチップをより確実に固定することができる。
本発明の半導体レーザチップのピックアップ方法および真空コレットは、CD−RやCD−RW等に使用する半導体レーザのチップを製造する過程において、この半導体レーザチップを搬送する際に活用できる。
1,11,21,31 真空コレット
1a,1b,11a,21a,31a 中空部
21b,21c 凹部
31b,31c 緩衝部
2,12 半導体レーザチップ
2a,12a リッジ
1a,1b,11a,21a,31a 中空部
21b,21c 凹部
31b,31c 緩衝部
2,12 半導体レーザチップ
2a,12a リッジ
Claims (10)
- リッジを内部に備えた半導体レーザチップを、真空コレットによって吸着して持ち上げ、所定の位置まで搬送する半導体レーザチップのピックアップ方法において、
半導体レーザチップ上面のうちリッジに対向する部分を避けて、真空コレットを接触させることを特徴とする半導体レーザチップのピックアップ方法。 - 前記真空コレットの先端部が、上下方向に貫通した1つの中空部を備えた筒形状に成形されている請求項1記載の半導体レーザチップのピックアップ方法。
- 半導体レーザチップを真空コレットによって吸着して持ち上げ、所定の位置まで搬送する半導体レーザチップのピックアップ方法において、
半導体レーザチップ上面の中央部分を避けて、真空コレットを接触させることを特徴とする半導体レーザチップのピックアップ方法。 - 前記真空コレットの先端部が、上下方向に貫通した2つの中空部を備えた二股形状に成形されている請求項3記載の半導体レーザチップのピックアップ方法。
- 前記真空コレットの先端部が、上下方向に貫通した1つの中空部を備えた筒形状に成形されている請求項3記載の半導体レーザチップのピックアップ方法。
- 前記真空コレットの先端部の端面に凹部が複数箇所形成されている請求項3記載の半導体レーザチップのピックアップ方法。
- 前記真空コレットが、前記凹部に樹脂を埋め込むことにより形成された緩衝部を備えている請求項6記載の半導体レーザチップのピックアップ方法。
- 中空部分を備えており、この中空部分を真空に引くことにより半導体レーザチップを吸着して持ち上げる真空コレットにおいて、
真空コレットの先端部が、上下方向に貫通した2つの中空部を備えた二股形状に成形されていることを特徴とする真空コレット。 - 中空部分を備えており、この中空部分を真空に引くことにより半導体レーザチップを吸着して持ち上げる真空コレットにおいて、
前記真空コレットの先端部が、上下方向に貫通した1つの中空部を備えた筒形状に成形されており、この先端部の端面に凹部が2箇所形成されていることを特徴とする真空コレット。 - 前記凹部に樹脂を埋め込むことにより形成された緩衝部を備えている請求項9記載の真空コレット。
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2004
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