JP2005103659A - 吸着装置およびこれを用いた吸着方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】部品に対する吸着力が大きく、かつ、部品に悪影響を及ぼさない吸着装置およびこれを用いた吸着方法を提供する。
【解決手段】真空吸着によって部品をピックアップするコレット2は先端部2bに長手方向に窪んだ凹部5を有している。また、上記凹部5の側面では真空吸着用の孔7が開口している。
【選択図】図1
【解決手段】真空吸着によって部品をピックアップするコレット2は先端部2bに長手方向に窪んだ凹部5を有している。また、上記凹部5の側面では真空吸着用の孔7が開口している。
【選択図】図1
Description
本発明は、例えば発光ダイオード装置や半導体レーザ装置等の電子部品のピックアップに用いる吸着装置およびこれを用いた吸着方法に関する。
従来、吸着装置としては、図5(A)に示すようなコレット502で部品501(半導体素子、誘電体のサブマウント、チップ部品およびマイクロミラー等)をピックアップするものがある。上記コレット502は、従来の吸着装置に用いられる最も単純なコレットである。このようなコレット502は略円筒形状を有している。そして、上記コレット502には軸線を通る吸着孔503が形成されている。上記吸着孔503の一端は真空ポンプ等に接続されており、コレット502先端周辺の空気は吸着孔503を通って吸引される。これにより、上記コレット502の先端502aに部品501を吸着することができる。
上記構成の吸着装置が部品501をピックアップする場合、まず、コレット502を部品501の上面501aまで下降させた後、コレット502の先端部周辺の空気を吸着孔503の先端から吸引して、コレット502の先端面502aを部品501の上面501aに密着させる。次に、上記コレット502を部品501と共に矢印Tに沿って移動させ、部品501を二点鎖線で示す位置Pに持って行く。最後に、上記吸着孔503による空気の吸引を停止させて、コレット501から部品501を外す。
上記コレット502の先端面502aの形状は、図5(B)または図5(C)に示すような場合がある。つまり、図5(B)に示すように、コレット502を円筒形状にし、吸着孔503を円柱形状にする場合や、図5(C)に示すように、コレット50を四角筒形状にし、吸着孔503を円柱形状にする場合がある。上記コレット503の外形は吸着する部品501の形状により決定される。一方、上記吸着孔503は一般的には加工を容易にする観点から円柱形状にする場合が多い。
近年、上面が平坦な部品ばかりではなく、図6(A)に示すように、上面601aの中心部に凸部604が形成された部品601がある。このような部品601をピックアップするコレット603には、軸心を通る吸着孔603を形成している。この吸着孔603は、円柱形状の主部603aと、この主部603aに連なる端部603bとを有している。この吸着孔603の端部603bは、図6(B)に示すように、凸部604を収容可能な大きさの四角柱形状となっている。これにより、上記吸着孔603の端部603bは凸部604を覆うことができる。
上記コレット602の先端面602aは部品601の上面601aの周縁部の全部に接触するが、コレットの先端面は部品の上面の周縁部の一部にしか接触してはいけない場合がある。この場合、コレットの先端面と部品の上面との接触面積を小さくしなければならない。これを実現するコレットとしては、図7(A)に示すような所謂ゲタ型のコレット702がある。このコレット702の先端面702aには、真空吸着用の孔703と連通する溝705が形成されている。これにより、図7(B)に示すように、コレット702の先端面702aの面積が減少して、コレット702の先端面702aと部品701の上面との接触面積が小さくなる。
しかし、上記コレット702で部品701をピックアップした場合、真空吸着用の孔703の先端は部品701のどこに密着しないので、コレット702と部品701との間で真空のリークが発生してしまう。このため、上記真空吸着用の孔703の真空度が上がらなくなって、部品701の吸着状態が不安定になる。つまり、上記部品701を吸着する力が弱くなってしまうという問題がある。この問題は、上記部品701が1mm角以下程度の小さなチップであれば目立たないが、部品701がcmオーダーの部品である場合は顕著になる。
ところで、上記コレット702でピックアップする部品としては、図8(A),図8(B)に示すような半導体素子801がある。この半導体素子801の上面801aは凹凸になっていて、その上面801aの凹部ではベアチップ806が剥き出しになっている。このような半導体素子801をコレット702で吸着した場合、ベアチップ806が形成された凹部内において、真空吸着用の孔703へ向う空気の流れが発生してしまう。その結果、上記ベアチップ806を固定するための接着剤が十分に乾燥していないと、ベアチップ806がその空気の流れによって動いてしまう。ひどい時には、上記ベアチップ806がその空気の流れによって剥がされてコレット702に吸着される結果、吸着装置を停止させてしまうこともある。このように、上記半導体素子801の上面の凹部内はコレット702が触れることはもちろん、真空吸着のリークによる空気の流れがあっても、接着剤未硬化のベアチップ806や、ベアチップ806に接続されたワイヤ等が位置ずれを起こす恐れがある。
上記コレット702のようなコレットは、実開平4−122425号公報(特許文献1)に開示されている。
実開平4−122425号公報
そこで、本発明の課題は、部品の上面においてコレットを接触させる領域が小さくても、部品に対する吸着力が大きく、かつ、部品に対して悪影響を及ぼさない吸着装置およびこれを用いた吸着方法を提供することにある。
上記課題を解決するため、第1の発明の吸着装置は、真空吸着によって部品をコレットにピックアップして移載する吸着装置において、上記コレットは先端部に長手方向に窪んだ凹部を有し、この凹部の側面に開口する真空吸着用の孔を有することを特徴としている。
上記構成の吸着装置によれば、上記部品の少なくとも一部をコレットの凹部に収容し、真空吸着用の孔内の空気を引くと、真空吸着用の孔が部品の側面に真空吸着する。この場合、上記部品の上面に例えば凹凸があっても、部品の側面が略平坦であれば、部品とコレットとの間で真空リークが生じない。したがって、上記部品に対する吸着力を大きくすることができる。
また、上記部品の上面において例えばベアチップが剥き出しになっている場合、部品とコレットとの間で真空リークが起こらないので、真空リークによる気流がベアチップにあたらない。したがって、上記ベアチップを固定する接着剤が硬化していなくても、ベアチップの位置がずれない。つまり、上記部品に悪影響が及ぶのを防止することができる。
また、上記部品とコレットとの間で真空リークが発生しないため、部品の吸着状態が不安定になったり、真空リークにより部品の吸着有無を感知する真空センサがうまく使えなかったり、部品の一部を吸い込んでしまったりという不具合が生じない。その結果、上記部品に対する吸着作業に関する調整が必要なくなり、その吸着作業の信頼性を高めることができる。
一実施形態では、上記コレットは、鉛直方向に延びると共に、鉛直方向に移動可能である。
一実施形態の吸着装置は、上記コレットの中心線が、上記凹部に真空吸着された上記部品の重心を通る。
上記実施形態の吸着装置によれば、上記真空吸着用の孔が部品の側面に真空吸着すると、上記コレットの中心線が上記部品の重心を通るから、部品の吸着状態が安定する。つまり、上記部品の吸着状態が不安定になるのを防止できる。
一実施形態の吸着装置は、上記凹部は上記コレットの中心線に略平行で互いに対向する2つの平坦な側面を有し、上記2つの平坦な側面の一方のみに上記真空吸着用の孔が形成されている。
上記実施形態の吸着装置によれば、上記部品を凹部内に収容し易くするには、部品よりも大きな凹部を形成することが考えられる。このような大きな凹部を形成した場合、上記2つの平坦な側面のそれぞれに真空吸着用の孔を形成すると、真空吸着時、一方の真空吸着用の孔が部品の側面に隙間なく密着しても、他方の真空吸着用の孔と部品の側面との間に隙間が生じてしまう。その結果、上記部品とコレットとの間で真空リークが生じるため、部品の吸着状態が不安定になる。
そこで、上記2つの平坦な側面の一方のみに真空吸着用の孔を形成することによって、凹部を部品より大きくしても、真空吸着時、真空吸着用の孔が形成された側面と部品の側面との間に隙間が生じないので、部品とコレットとの間で真空リークが生じるのを防止することができる。その結果、上記部品の吸着状態が不安定になるのを防止できる。
また、上記凹部を部品より大きくすれば、コレットから部品を容易に外すことができる。
一実施形態の吸着装置では、上記凹部の側面の先端側の部分がテーパ面である。
上記実施形態の吸着装置によれば、上記凹部の側面の先端側の部分がテーパ面であるから、凹部への部品の収容が容易である。
一実施形態の吸着装置では、上記コレットは、コレット本体と、このコレット本体の先端部に取り付けられ、上記凹部を有する吸着ノズルとからなる。
上記実施形態の吸着装置によれば、上記コレットをコレット本体と吸着ノズルとで構成するから、コレットの作製が容易になる。
また、上記コレット本体とは別部材である吸着ノズルには、凹部や真空吸着用の孔等を容易に形成することができる。
一実施形態の吸着装置は、上記コレット本体は鉛直方向に延びている。
一実施形態の吸着装置は、上記吸着ノズルの上記凹部の側面を形成する側部には、上記コレット本体の中心線方向の孔と、この中心線方向の孔に連通すると共に、上記中心線方向に対して垂直な方向に延びる上記真空吸着用の孔としての貫通孔とを有し、上記貫通孔の一端は上記凹部の側面に開口する一方、上記貫通孔の他端は上記コレット本体で塞がれている。
上記実施形態の吸着装置によれば、上記貫通孔は吸着ノズルの側部を貫通するので、貫通孔の形成は容易である。
また、上記貫通孔の他方の端部をコレット本体で塞いでいるので、部品の吸着時に、孔内の真空度を確実に上げることができる。
一実施形態の吸着装置は、上記吸着ノズルは上記コレット本体に圧入または接着により取り付けられている。
上記実施形態の吸着装置によれば、上記吸着ノズルをコレット本体に圧入または接着により取り付けるので、コレットの製造が容易である。
一実施形態の吸着装置は、上記コレットの先端面が同一平面を形成する平坦面である。
上記実施形態の吸着装置によれば、上記部品の一部を凹部内に収容した場合、コレットの先端面が同一平面を形成する平坦面であるから、部品の上記凹部外の基準面にコレットの先端面を密着させることができる。したがって、上記部品の吸着状態が不安定になるのを防ぐことができる。
第2の発明の吸着方法は、上記実施形態の吸着装置を用いた吸着方法であって、上記部品の一部を上記凹部内に収容すると共に、上記部品の上記凹部外の基準面に上記コレットの先端面を密着させて、上記部品の真空吸着を行うことを特徴としている。
上記構成の吸着方法によれば、上記部品の一部を凹部内に収容した状態で部品の真空吸着を行うから、部品の一部を凹部内に収容した状態で部品を移載することができる。したがって、上記部品が移載中に他の装置等と衝突して損傷するのを防ぐことができる。
また、上記部品の凹部外の基準面にコレットの先端面を密着させて部品真空吸着を行うから、部品の吸着状態が不安定になるのを防ぐことができる。
第1の発明の吸着装置は、部品の上面に例えば凹凸があっても、真空吸着用の孔が部品の側面に真空吸着するから、部品の側面が平坦であれば、部品とコレットとの間で真空リークが生じない。その結果、上記部品に対する吸着力を大きくすることができる。
また、上記部品の上面において例えばベアチップが剥き出しになっている場合、ベアチップを固定する接着剤が硬化していなくても、部品とコレットとの間で真空リークが起こらないので、真空リークによる気流がベアチップにあたらず、ベアチップの位置がずれない。したがって、上記吸着装置は部品に悪影響を及ぶのを防止できる。
第2の発明の吸着方法は、上記部品の一部を凹部内に収容した状態で部品の真空吸着を行うから、部品の一部を凹部内に収容した状態で部品を移載することができて、移載中の部品を保護することができる。
また、上記部品の凹部外の基準面にコレットの先端面を密着させて部品真空吸着を行うから、部品の吸着状態が不安定になるのを防ぐことができる。
以下、本発明の吸着装置および吸着方法およびこれを用いた吸着方法を図示の実施の形態により詳細に説明する。
図1(A)に、本発明の実施の一形態の吸着装置の要部の模式正面図を示す。
上記吸着装置は、図1(A)に示すように、鉛直方向に延びて鉛直方向および水平方向に移動可能な所謂ゲタ型のコレット2を備えている。上記コレット2は先端部2bに長手方向に窪んだ凹部5を有している。また、上記コレット2の先端面2aは同一平面を形成する平坦面となっている。
上記凹部5は、コレット2の中心線CLに略平行で互いに対向する2つの平坦な側面を含んでいる。この2つの平坦な側面の先端側の部分はテーパ面となっている。また、上記2つの平坦な側面の一方のみに真空吸着用の孔7を形成している。上記真空吸着用の孔7はコレット2に形成された吸着孔3の一部からなっている。この吸着孔3は、コレット2の末端側からコレット2の先端面2a側に向って延びた後、屈曲して凹部5の側面に到達している。この吸着孔3の末端部(先端面2aとは反対側の端部)は、図示しない真空ポンプに接続されている。
また、上記凹部5内には、図1(B)に示す部品1を収容する。この部品1の上面1aは一部が窪んでいる。つまり、上記部品1は上部に凹部を有している。また、上記部品1の側面1b,1cは略平坦に形成されている。
上記構成の吸着装置が部品1をコレット2にピックアップする場合、上記部品1をコレット2の凹部5内に収容した後、吸着孔3内の空気を真空ポンプで引いて、真空吸着用の孔7を部品1の側面1cに真空吸着させる。このとき、上記コレット2近傍の空気は矢印D方向に流れるので、部品1の凹部内の空気は乱れない。また、上記部品1は図1(A)の二点鎖線で示す真空吸着位置に位置し、部品1の側面1cと凹部5の側面との間に隙間が生じていない。その結果、上記部品1とコレット2との間で真空リークが生じないから、部品に対する吸着力を大きくすることができる。
また、上記部品1が真空吸着位置に位置したとき、コレット2の中心線CLが部品1の重心CGを通るので、部品1が水平方向に対して傾く心配が無い。つまり、上記部品1の吸着状態は安定している。
また、上記2つの平坦な側面の一方のみに真空吸着用の孔7を形成しているから、凹部5を部品1より大きくても、真空吸着時、その2つの平坦な側面の一方と部品1の側面1bとの間に隙間が生じない。その結果、上記部品1とコレット2との間で真空リークが生じないので、部品1の吸着状態が不安定になるのを防止できる。
以下、図2,図3を用いてコレット2の製造方法について説明する。
上記コレット2は、図2に示すように、鉛直方向に延びるコレット本体21の先端部に吸着ノズル22をはめ込んで形成する。このため、上記吸着ノズル22はコレット本体21の先端部に嵌め込み可能なサイズに加工される。また、上記吸着ノズル22の側壁には、貫通孔24と、この貫通孔24に連通する孔25とを設けている。上記貫通孔24は水平方向に延びる一方、孔25は垂直方向に延びている。また、上記コレット本体21は略円筒形状または略四角筒形状に加工されている。上記コレット本体21内には鉛直方向に延びる孔を形成している。
より詳しくは、上記コレット2は、略円筒形状または略四角筒形状のコレット本体21と、このコレット本体21の先端部21bに取り付けられ、凹部5を有する吸着ノズル22とで構成する。上記吸着ノズル22の凹部5の側面を形成する側部には、コレット本体21の中心線(コレット2の中心線CL)方向の孔25が形成されていると共に、この中心線方向の孔25に連通すると共に、中心線方向に対して垂直な方向に延びる真空吸着用の孔7としての貫通孔24が形成されている。
上記吸着ノズル22をコレット本体21の先端部に圧入または接着で固定すると、図3に示すようなコレット2が得られる。このとき、上記貫通孔24の一端は凹部5の側面に開口する一方、貫通孔24の他端はコレット本体21で塞がれている。また、上記孔23,25と貫通孔24とで吸着孔3が構成される。
上記コレット2を1つの部材で形成するのは困難であるが、上述のように、コレット2をコレット本体21と吸着ノズル22とで構成することによって、コレット2を簡単に作製できる。
上記吸着装置で図8の半導体素子801をコレット2にピックアップする場合は次のようにして行う。
図4に示すように、凹部5内に半導体素子801を収容し、半導体素子801の側面に真空吸着用の孔7を真空吸着させる。このとき、図4では図示していないが、吸着ノズル22の先端面(コレット2の先端面2a)を半導体素子801の4つの基準面801cの少なくとも1つに密着させる。これにより、上記半導体素子801がピックアップ時に傾かない。つまり、上記半導体素子801の吸着状態を安定させることができる。
また、上記半導体素子801の上面801aではベアチップ806が剥き出しになっているが、真空吸着用の孔7が半導体素子801の側面に真空吸着することによって、半導体素子801と吸着ノズル22との間で真空リークが起こらないので、真空リークによる気流がベアチップ806にあたらない。したがって、上記ベアチップ806を固定する接着剤が硬化していなくても、ベアチップ806の位置がずれない。また、上記ベアチップ806に接続されたワイヤ(図示せず)も位置ずれしない。つまり、上記半導体素子801に悪影響が及ぶのを防止することができる。
上記実施の形態では、コレット本体21に対する吸着ノズル22の固定を圧入または接着で行ったが、嵌合でおこなってもよい。
また、本発明の吸着装置が備えるコレットの凹部は、部品の全部を収容するように形成してもよいし、部品の一部を収容するように形成してもよい。
また、上記コレットは3つ以上の部材で構成してもよい。
また、本発明の吸着装置がピックアップする部品としては、電子部品等の素子や製品が挙げられる。
1 部品
1b,1c 部品の側面
2 コレット
2a コレットの先端面
2b コレットの先端部
5 凹部
7 吸着孔
21 コレット本体
22 吸着ノズル
24 貫通孔
801 半導体素子
801c 基準面
CL コレットの中心線
CG 部品の重心
1b,1c 部品の側面
2 コレット
2a コレットの先端面
2b コレットの先端部
5 凹部
7 吸着孔
21 コレット本体
22 吸着ノズル
24 貫通孔
801 半導体素子
801c 基準面
CL コレットの中心線
CG 部品の重心
Claims (9)
- 真空吸着によって部品をコレットにピックアップして移載する吸着装置において、
上記コレットは先端部に長手方向に窪んだ凹部を有し、
この凹部の側面に開口する真空吸着用の孔を有することを特徴とする吸着装置。 - 請求項1に記載の吸着装置において、
上記コレットの中心線が、上記凹部に真空吸着された上記部品の重心を通ることを特徴とする吸着装置。 - 請求項1に記載の吸着装置において、
上記凹部は上記コレットの中心線に略平行で互いに対向する2つの平坦な側面を有し、
上記2つの平坦な側面の一方のみに上記真空吸着用の孔が形成されていることを特徴とする吸着装置。 - 請求項1に記載の吸着装置において、
上記凹部の側面の先端側の部分がテーパ面であることを特徴とする吸着装置。 - 請求項1に記載の吸着装置において、
上記コレットは、コレット本体と、このコレット本体の先端部に取り付けられ、上記凹部を有する吸着ノズルとからなることを特徴とする吸着装置。 - 請求項5に記載の吸着装置において、
上記吸着ノズルの上記凹部の側面を形成する側部には、上記コレット本体の中心線方向の孔と、この中心線方向の孔に連通すると共に、上記中心線方向に対して垂直な方向に延びる上記真空吸着用の孔としての貫通孔とを有し、
上記貫通孔の一端は上記凹部の側面に開口する一方、上記貫通孔の他端は上記コレット本体で塞がれていることを特徴とする吸着装置。 - 請求項5に記載の吸着装置において、
上記吸着ノズルは上記コレット本体に圧入または接着により取り付けられていることを特徴とする吸着装置。 - 請求項1に記載の吸着装置において、
上記コレットの先端面が同一平面を形成する平坦面であることを特徴とする吸着装置。 - 請求項8に記載の吸着装置を用いた吸着方法であって、
上記部品の一部を上記凹部内に収容すると共に、上記部品の上記凹部外の基準面に上記コレットの先端面を密着させて、上記部品の真空吸着を行うことを特徴とする吸着方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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---|---|---|---|---|
JP2013102128A (ja) * | 2011-10-19 | 2013-05-23 | Fuji Xerox Co Ltd | 保持具、搭載装置、基板装置の製造方法 |
CN111496833A (zh) * | 2020-04-22 | 2020-08-07 | Oppo(重庆)智能科技有限公司 | 吸嘴和吸附装置 |
US10847405B2 (en) | 2017-08-31 | 2020-11-24 | Nichia Corporation | Method for manufacturing semiconductor device |
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2003
- 2003-09-26 JP JP2003336334A patent/JP2005103659A/ja active Pending
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070710 |