KR100637621B1 - 진공환경에서 사용하기에 적합한 로봇 아암 블레이드 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공환경에서 사용하기에 적합한 로봇 아암 블레이드(10)에 관한 것으로서, 블레이드 판(11)과, 블레이드 판(11) 상에 형성되는 유전막(14)과, 블레이드 판(11)과 유전막(14) 사이에 개재되는 도선(12)을 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 유리 기판이 정전기력에 의해 블레이드(10)에 강하게 흡착 고정되기 때문에 진공챔버 내에서 로봇 아암(20)을 빠른 속도로 접었다 폈다하여도 상기 유리 기판이 블레이드(10)에서 움직이거나 이탈되지 않는다.

블레이드, 로봇아암, 진공, 유전막, 정전패드, 정전기력

Description

진공환경에서 사용하기에 적합한 로봇 아암 블레이드{Robot arm blade useful in vacuum}

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 로봇 아암 블레이드를 설명하기 위한 도면;

도 2는 본 발명의 제2실시 예에 따른 로봇 아암 블레이드를 설명하기 위한 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 참조번호의 설명>

10: 블레이드 11: 블레이드 판

12: 도선 13: 정전패드

14: 유전막 20: 로봇 아암

본 발명은 로봇 아암 블레이드에 관한 것으로서, 특히 진공환경에서 사용하 기에 적합한 로봇 아암 블레이드에 관한 것이다.

FPD를 제조할 때에 유리 기판을 저장 카세트로부터 이송챔버(transfer chamber) 및 공정이 진행되는 공정챔버(process chamber)로 이송해야 하는데, 이 때 로봇 아암이 사용된다. 로봇 아암은 접혔다 펴졌다 하면서 유리기판을 수평이동 및 수직이동 시킬 수 있도록 설계되며, 끝단에는 유리기판을 올려놓기 위한 블레이드(blade)가 설치되는 것이 일반적이다.

로봇 아암이 움직일 때 유리 기판이 흔들거려 유리 기판의 위치가 약간 변동되거나 심할 경우에는 유리 기판이 떨어져 깨질 경우가 있다. 이러한 상황을 방지하기 위하여 블레이드의 윗면에는 진공홀들이 형성된다. 진공시스템을 이용하여 진공홀을 통하여 공기를 빨아들이면 기판은 진공흡입력에 의해 블레이드에 강하게 흡착된다. 그러나 이러한 진공흡입방식은 대기압 환경에서 기판을 이송하는 경우에는 적합하지만 진공 환경에서는 부적합하다. 왜냐하면 블레이드의 진공홀을 통한 기판의 흡입력보다 주위의 압력이 더 낮으면 기판이 블레이드에 제대로 흡착되지 않기 때문이다.

이와 같이 진공흡입력을 이용하여 유리기판을 흡착 고정하는 경우에는 주위의 압력 상태에 따라서 그 흡착력이 달라지므로, 진공 환경에서 사용되는 로봇 아암 블레이드에는 대기압 상태에서 사용되는 통상의 것보다 더 블레이드 윗면의 마찰력이 높게 설계하여 유리 기판이 블레이드에서 이탈되지 않도록 하였다. 그러나 이 경우 유리 기판이 블레이드에 완전히 흡착되어 고정되는 형태가 아니므로 기판 이송속도를 빠르게 할 수 없을 뿐만 아니라 이송 후에는 대강이라도 기판 정렬을 다시 해야 하는 문제가 생긴다.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 진공챔버에서 사용하기에 적합한 로봇 아암 블레이드를 제공하는 데 있다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 로봇 아암 블레이드는, 기판을 이송하는 로봇 아암의 끝단에 상기 기판을 올려놓기 위하여 설치되는 로봇 아암 블레이드로서, 블레이드 판과, 상기 블레이드 판 상에 형성되는 유전막과, 상기 블레이드 판과 상기 유전막 사이에 개재되는 도선을 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 블레이드 판은 끝에 포크 날이 형성되어 있는 포크 형태를 하는 것이 바람직하며, 이 경우 상기 기판은 상기 포크 날 상에 올려 놓여지는 것이 바람직하다. 이 때, 상기 도선은 상기 블레이드 판의 포크 날 상에 지그재그 형태로 연장되면서 상기 포크 날의 길이방향으로 설치되는 것이 바람직하다. 상기 도선의 지그재그 부분이 상기 포크 날 상에 국부적으로 복수 군데 존재하도록 설치되어도 좋다.

이하에서, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시 예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 권리범위가 이러한 실시 예에 한정되는 것으로 해석돼서는 안 된다.

[실시예 1]

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 로봇 아암 블레이드를 설명하기 위한 도면이다.

로봇 아암(20)은 유리기판(미도시)을 수평 이송시키기 위하여 접혔다 펴졌다하게 설계된다. 로봇 아암(20)의 끝단에는 블레이드(10)가 설치된다. 상기 유리기판은 블레이드(10) 상에 올려 놓여진다. 블레이드(10)는 블레이드 판(11) 및 정전패드(13)로 구성된다. 정전패드(13)는 블레이드 판(11) 상에 설치되는 도선(12)과 유전막(14)으로 구성된다. 도선(14)은 블레이드 판(11)과 유전막(14) 사이에 개재된다.

블레이드 판(10)은 끝에 포크 날이 형성되어 있는 포크 형태를 하며 상기 유리기판은 상기 포크 날 상에 올려 놓여진다. 이렇게 포크형태를 하는 이유는 리프트 핀(lift pin)의 설치없이 상기 유리기판을 기판지지대 상에 올려놓을 수 있도록 하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 기판지지대의 윗면에 블레이드 판(10)의 포크 날이 들어갈 수 있도록 골을 형성하면 리프트 핀 없이도 상기 기판지지대의 윗면에 유리기판을 안착시킬 수 있게 된다.

도선(14)은 블레이드 판(11)의 포크 날 상에 지그재그 형태로 연장되면서 상 기 포크 날의 길이방향으로 설치된다. 그러면 블레이드 판(11)의 포크 날 전면이 정전패드(13) 역할을 하게 된다. 도선(14)을 지그재그 형태로 하는 이유는 정전기력을 더욱 세게 형성시키기 위해서이다.

블레이드(10)에 올려 놓여진 상기 유리기판은 정전패드(13)의 정전기력에 의하여 블레이드(10)의 윗면에 강하게 흡착되어 고정된다. 이러한 흡착력은 주위가 진공 환경인지 대기압 환경인지에 영향을 받지 않는다. 따라서 진공챔버 내에서 로봇 아암(20)을 빠른 속도로 접었다 폈다하여 상기 유리기판을 빠른 속도로 이송하더라도 상기 유리 기판이 블레이드(10)에서 움직이거나 이탈되지 않는다.

[실시예 2]

도 2는 본 발명의 제2실시 예에 따른 로봇 아암 블레이드를 설명하기 위한 도면이다. 이 경우는 도 1과 달리 도선(12)의 지그재그 부분(A)이 블레이드 판(11)의 포크 날 상에 국부적으로 복수 군데 존재하도록 설치된다. 그러면 여러개의 정전패드가 복수 군데 설치되는 결과가 된다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 유리 기판이 정전기력에 의해 블레이드(10)에 강하게 흡착 고정되기 때문에 진공챔버 내에서 로봇 아암(20)을 빠른 속도로 접었다 폈다하여도 상기 유리 기판이 블레이드(10)에서 움직이거나 이탈되지 않는다.

Claims (5)

1. 기판을 이송하는 로봇 아암의 끝단에 상기 기판을 올려놓기 위하여 설치되는 로봇 아암 블레이드에 있어서,

   블레이드 판;

   상기 블레이드 판 상에 형성되는 유전막; 및

   상기 블레이드 판과 상기 유전막 사이에 개재되는 도선을 구비하는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 블레이드.
2. 제1항에 있어서, 상기 블레이드 판은 끝에 포크 날이 형성되어 있는 포크 형태를 하며 상기 기판은 상기 포크 날 상에 올려 놓여지는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 블레이드.
3. 제2항에 있어서, 상기 도선은 상기 블레이드 판의 포크 날 상에 지그재그 형태로 연장되면서 상기 포크 날의 길이방향으로 설치되는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 블레이드.
4. 제3항에 있어서, 상기 도선은 상기 지그재그 부분이 상기 포크 날 상에 국부적으로 복수 군데 존재하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 블레이드.
5. 제1항에 있어서, 상기 로봇 아암이 진공챔버에서 수평 이동하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 블레이드.

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