JP7485964B2 - チューブ、チューブの製造方法、および、チューブの保管方法 - Google Patents
チューブ、チューブの製造方法、および、チューブの保管方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7485964B2 JP7485964B2 JP2021540712A JP2021540712A JP7485964B2 JP 7485964 B2 JP7485964 B2 JP 7485964B2 JP 2021540712 A JP2021540712 A JP 2021540712A JP 2021540712 A JP2021540712 A JP 2021540712A JP 7485964 B2 JP7485964 B2 JP 7485964B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- tfe
- copolymer
- vinyl ether
- die
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000003860 storage Methods 0.000 title description 2
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 85
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 81
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 42
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 42
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 42
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 21
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 21
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 19
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 18
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 16
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 15
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 13
- KHXKESCWFMPTFT-UHFFFAOYSA-N 1,1,1,2,2,3,3-heptafluoro-3-(1,2,2-trifluoroethenoxy)propane Chemical group FC(F)=C(F)OC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F KHXKESCWFMPTFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- -1 fluoroalkyl vinyl ether Chemical compound 0.000 claims description 10
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 33
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 30
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 23
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 19
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 19
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 18
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 14
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 14
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 13
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 9
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 8
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 8
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 7
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 7
- 238000003682 fluorination reaction Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 7
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 6
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 6
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 6
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 6
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 5
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 5
- HCDGVLDPFQMKDK-UHFFFAOYSA-N hexafluoropropylene Chemical group FC(F)=C(F)C(F)(F)F HCDGVLDPFQMKDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000001095 inductively coupled plasma mass spectrometry Methods 0.000 description 5
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- 239000012986 chain transfer agent Substances 0.000 description 3
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000002386 leaching Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N ethenoxyethane Chemical compound CCOC=C FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003709 fluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000003517 fume Substances 0.000 description 2
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000005010 perfluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- KWVVTSALYXIJSS-UHFFFAOYSA-L silver(ii) fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ag+2] KWVVTSALYXIJSS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- BLTXWCKMNMYXEA-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trifluoro-2-(trifluoromethoxy)ethene Chemical compound FC(F)=C(F)OC(F)(F)F BLTXWCKMNMYXEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910020323 ClF3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021583 Cobalt(III) fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 101100441092 Danio rerio crlf3 gene Proteins 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 125000006297 carbonyl amino group Chemical group [H]N([*:2])C([*:1])=O 0.000 description 1
- UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N chlorotrifluoroethylene Chemical group FC(F)=C(F)Cl UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZJQNLGQTOCWDS-UHFFFAOYSA-K cobalt(iii) fluoride Chemical compound F[Co](F)F WZJQNLGQTOCWDS-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- DUQAODNTUBJRGF-UHFFFAOYSA-N difluorodiazene Chemical compound FN=NF DUQAODNTUBJRGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 238000011549 displacement method Methods 0.000 description 1
- 238000007720 emulsion polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011796 hollow space material Substances 0.000 description 1
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 1
- 239000012778 molding material Substances 0.000 description 1
- 125000000896 monocarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 239000002667 nucleating agent Substances 0.000 description 1
- UJMWVICAENGCRF-UHFFFAOYSA-N oxygen difluoride Chemical compound FOF UJMWVICAENGCRF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000010557 suspension polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- JOHWNGGYGAVMGU-UHFFFAOYSA-N trifluorochlorine Chemical compound FCl(F)F JOHWNGGYGAVMGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMBZJSVIKJMSFP-UHFFFAOYSA-N trifluoromethyl hypofluorite Chemical compound FOC(F)(F)F SMBZJSVIKJMSFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SANRKQGLYCLAFE-UHFFFAOYSA-H uranium hexafluoride Chemical compound F[U](F)(F)(F)(F)F SANRKQGLYCLAFE-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
- B29C48/25—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C48/30—Extrusion nozzles or dies
- B29C48/32—Extrusion nozzles or dies with annular openings, e.g. for forming tubular articles
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L11/00—Hoses, i.e. flexible pipes
- F16L11/04—Hoses, i.e. flexible pipes made of rubber or flexible plastics
- F16L11/06—Hoses, i.e. flexible pipes made of rubber or flexible plastics with homogeneous wall
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
- B29C48/022—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor characterised by the choice of material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
- B29C48/03—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor characterised by the shape of the extruded material at extrusion
- B29C48/09—Articles with cross-sections having partially or fully enclosed cavities, e.g. pipes or channels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
- B29C48/25—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C48/27—Cleaning; Purging; Avoiding contamination
- B29C48/274—Cleaning; Purging; Avoiding contamination of the extruded articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
- B29C48/25—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C48/285—Feeding the extrusion material to the extruder
- B29C48/29—Feeding the extrusion material to the extruder in liquid form
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
- B29C48/25—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C48/36—Means for plasticising or homogenising the moulding material or forcing it through the nozzle or die
- B29C48/50—Details of extruders
- B29C48/69—Filters or screens for the moulding material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
- B29C48/25—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C48/78—Thermal treatment of the extrusion moulding material or of preformed parts or layers, e.g. by heating or cooling
- B29C48/86—Thermal treatment of the extrusion moulding material or of preformed parts or layers, e.g. by heating or cooling at the nozzle zone
- B29C48/865—Heating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
- B29C48/25—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C48/92—Measuring, controlling or regulating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D23/00—Producing tubular articles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F214/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen
- C08F214/18—Monomers containing fluorine
- C08F214/26—Tetrafluoroethene
- C08F214/262—Tetrafluoroethene with fluorinated vinyl ethers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J5/00—Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L27/00—Compositions of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Compositions of derivatives of such polymers
- C08L27/02—Compositions of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Compositions of derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment
- C08L27/12—Compositions of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Compositions of derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment containing fluorine atoms
- C08L27/18—Homopolymers or copolymers or tetrafluoroethene
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29K—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
- B29K2027/00—Use of polyvinylhalogenides or derivatives thereof as moulding material
- B29K2027/12—Use of polyvinylhalogenides or derivatives thereof as moulding material containing fluorine
- B29K2027/18—PTFE, i.e. polytetrafluorethene, e.g. ePTFE, i.e. expanded polytetrafluorethene
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29K—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
- B29K2105/00—Condition, form or state of moulded material or of the material to be shaped
- B29K2105/0085—Copolymers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29K—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
- B29K2995/00—Properties of moulding materials, reinforcements, fillers, preformed parts or moulds
- B29K2995/0037—Other properties
- B29K2995/0072—Roughness, e.g. anti-slip
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
- B29L2023/00—Tubular articles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J2327/00—Characterised by the use of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Derivatives of such polymers
- C08J2327/02—Characterised by the use of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment
- C08J2327/12—Characterised by the use of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment containing fluorine atoms
- C08J2327/18—Homopolymers or copolymers of tetrafluoroethylene
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L11/00—Hoses, i.e. flexible pipes
- F16L11/04—Hoses, i.e. flexible pipes made of rubber or flexible plastics
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Extrusion Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Rigid Pipes And Flexible Pipes (AREA)
- Mutual Connection Of Rods And Tubes (AREA)
- Piles And Underground Anchors (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Description
本開示のチューブは、前記チューブ内面の平均球晶径が、15μm超であることが好ましい。
本開示のチューブは、フルオロアルキルビニルエーテルが、パーフルオロ(プロピルビニルエーテル)であることが好ましい。
本開示のチューブは、半導体デバイス製造用高純度薬液を移送するために好適に用いることができる。
本開示のチューブは、押出成形機のダイから押し出されたチューブの中空部に、ろ過精度が5nm以下のフィルターを通過させた気体を流通させながら、前記テトラフルオロエチレン/フルオロアルキルビニルエーテル共重合体を押し出すことにより得られるものであることが好ましい。
本開示のチューブは、前記テトラフルオロエチレン/フルオロアルキルビニルエーテル共重合体におけるフルオロアルキルビニルエーテル単位の含有量が、全単量体単位に対して、1.0~8.0質量%であることが好ましい。
0.1<Ra≦2 評価長さ:4mm
0.02<Ra≦0.1 評価長さ:1.25mm
(0.006)<Ra≦0.02 評価長さ:0.4mm
また、本開示のチューブは、チューブ内面からの溶出Ca量が、0.15ng/cm2以下であり、好ましくは0.09ng/cm2以下であり、より好ましくは0.08ng/cm2以下であり、さらに好ましくは0.07ng/cm2以下である。
上記PTFEは特に限定されない。一例としては、示差走査熱量計(DSC)で測定した結晶化温度が305℃以上であるPTFEが挙げられ、該PTFEは結晶化熱が50J/g以上であってもよい。本開示のチューブがこのようなPTFEを含むことにより、チューブ内面をより平滑にすることができる。上記結晶化温度は、より好ましくは310℃以上、さらに好ましくは312℃以上である。
PTFEは未変性であっても、変性されていてもよい。例えば、テトラフルオロエチレン(TFE)のホモポリマー、又は1重量%未満の微量のヘキサフルオロプロピレン(HFP)、フルオロアルコキシトリフルオロエチレン、フルオロアルキルエチレン、クロロトリフルオロエチレン等の変性剤を含有する変性PTFEが挙げられる。
PTFEの分子量は特に限定されないが、低分子量PTFEを用いることができる。数百万以上の数平均分子量を有する通常のPTFEと比べて、かかる低分子量PTFEは低い分子量を有する。低分子量PTFEは、連鎖移動剤の存在下におけるTFEの重合や、モールディングパウダー若しくはファインパウダー又はこれらの成形物の熱分解又は放射線分解等の公知の方法で得ることができる。
本開示のチューブは、本開示の効果を妨げない範囲の量で上記PTFEを含むことができる。本開示のチューブは、例えば0.01重量%以上10重量%、好ましくは0.01重量%以上4重量%以下の量のPTFEを含むことができる。
上記TFE/FAVE共重合体におけるTFE単位の含有量は、全単量体単位に対して、好ましくは90~99.0質量%であり、より好ましくは92.0質量%以上であり、さらに好ましくは93.0質量%以上であり、特に好ましくは93.5質量%以上であり、最も好ましくは94.0質量%以上であり、より好ましくは98.0質量%以下であり、さらに好ましくは97.0質量%以下であり、特に好ましくは96.5質量%以下である。
TFE/FAVE共重合体における各単量体単位の量は、19F-NMR法により測定する。
CF2=CFO(CF2CFY1O)p-(CF2CF2CF2O)q-Rf (1)
(式中、Y1はFまたはCF3を表し、Rfは炭素数1~5のパーフルオロアルキル基を表す。pは0~5の整数を表し、qは0~5の整数を表す。)で表される単量体、および、一般式(2):
CFX=CXOCF2OR1 (2)
(式中、Xは、同一または異なり、H、FまたはCF3を表し、R1は、直鎖または分岐した、H、Cl、BrおよびIからなる群より選択される少なくとも1種の原子を1~2個含んでいてもよい炭素数が1~6のフルオロアルキル基、若しくは、H、Cl、BrおよびIからなる群より選択される少なくとも1種の原子を1~2個含んでいてもよい炭素数が5または6の環状フルオロアルキル基を表す。)で表される単量体からなる群より選択される少なくとも1種を挙げることができる。
N=I×K/t (A)
I:吸光度
K:補正係数
t:フィルムの厚さ(mm)
従って、たとえば、-COFの官能基数とは、-CF2COFに起因する吸収周波数1883cm-1の吸収ピークから求めた官能基数と、-CH2COFに起因する吸収周波数1840cm-1の吸収ピークから求めた官能基数との合計である。
共重合体中のテトラフルオロエチレン(TFE)単位およびフルオロアルキルビニルエーテル(FAVE)単位の含有量は、19F-NMR法により測定した。
実施例および比較例で用いたペレットのMFRを次の方法により求めた。ASTM D1238に従って、メルトインデクサー(安田精機製作所社製)を用いて、372℃、5kg荷重下で、内径2.1mm、長さ8mmのノズルから10分間あたりに流出する共重合体の質量(g/10分)を求めた。
実施例および比較例で用いたペレットの融点を、示差走査熱量計〔DSC〕を用いて、10℃/分の速度で昇温したときの融解熱曲線における極大値に対応する温度として求めた。
実施例および比較例で用いたペレットの比重を、水中置換法にて測定した。
実施例および比較例で用いたペレットを、ヒートプレスすることにより、1.5mm厚のシートを作製した。ASTM V型ダンベルを用いて、得られたシートを切り抜き、ダンベル状試験片を作製した。ダンベル状試験片を用いて、オートグラフ(島津製作所社製 AGS-J 5kN)を使用して、ASTM D638に準じて、50mm/分の条件下で、25℃で破断強度および引張伸びを測定した。
実施例および比較例で用いたペレットから、幅12.5mm、長さ130mm、厚さ0.25mmの試験片を作製した。作製した試験片のMIT値を、ASTM D2176に準じて測定した。具体的には、試験片を、MIT試験機(型番12176、安田精機製作所社製)に装着し、荷重1.25kg、左右の折り曲げ角度各135度、折り曲げ回数175回/分の条件下で試験片を屈曲させ、試験片が切断するまでの回数(MIT値)を測定した。
押出成形して得られたチューブを約2cmの長さにカットした後、長さ方向に裁断して、長さ約5mm、幅5mmの試験片を作製した。走査型電子顕微鏡(SEM)にて倍率1000倍で、画像を撮影した。画像から球晶の直径を測定した。総計15個の球晶を測定して、算術平均した数値を平均球晶径とした。15個の中で最大の直径を最大球晶径とした。球晶は隣接して成長した球晶との衝突によりいびつな多角形として観察されるので、その長軸径を直径とした。
表面粗度Raは、粗さ曲線からその平均線の方向に基準長さLだけを抜き取り、この抜き取り部分の平均線から測定曲線までの偏差の絶対値を合計し、平均した値(算術平均粗さ)である。抜き取り部分の平均線の方向にx軸を、縦倍率の方向にy軸を取り、粗さ曲線をy=f(x)で表したとき、表面粗度Raの計算式は次のとおりである。
最大高さ(Rp-v)は、粗さ曲線からその平均線の方向に基準長さLだけを抜き取り、この抜き取り部分の平均線から最も高い山頂までの間隔Ypと最も低い谷底までの間隔Yvとの和、つまりRp-v=Yp+Yvを表す。
最大高さ(Rp-v)は、実施例および比較例で得られたチューブの内面のAFMトポグラフィ像について、傾斜自動補正処理を行うことにより算出した。
AFMトポグラフィ像は、原子間力顕微鏡(AFM)として、高精度大型プローブ顕微鏡ユニットAFM5200S(HITACHI High-Tech社製)を使用し、ダイナミックフォースモードで、試料表面を、測定面積3×3μm角、走査速度1Hz、x-y方向256×256分割、カンチレバーSI-DF-20(Si、f=134kHz、C=16N/m)の条件で測定した。
実施例および比較例で得られたチューブを60cmの長さにカットした。60cmの長さのチューブを円弧状に曲げて固定した。円弧状のチューブに、チューブの内容量と同量の超純水を注入し、直ちに超純水を廃棄することにより、チューブ内面を洗浄した。次に、チューブの一端から、洗浄したスポイトを用いて、5質量%HNO3水溶液(関東化学社製「タマピュア」(68質量%HNO3)を超純水で希釈することにより調製)を静かに34ml注入した。室温で4時間放置した後、硝酸水溶液を回収した。誘導結合プラズマ質量分析法(ICP-MS)により、回収した硝酸水溶液中の金属成分の金属含有量を測定した。使用した薬液の金属含有量をブランク値として、検出値から使用した薬液の金属含有量を差し引いた値を、測定値として採用した。測定値(ng/ml)に、封入液量34mlを乗じ、チューブの接液面積160cm2で除して、溶出金属量(ng/cm2)を求めた。超純水および硝酸水溶液は、いずれも、ろ過精度5nmのフィルターを通過させてから測定に用いた。
TFE/PPVE共重合体(PPVE単位の含有量が全単量体単位に対して5.5質量%)を含有するペレットを、押出成形機(シリンダー軸径30mm、L/D=22)を用いて、引き取り速度0.5m/分で押出成形し、外径10.5mm、内径8.5mmのチューブを得た。押出成形機のスクリュー回転数を5~10rpmの範囲で調整することにより、チューブの肉厚を調整した。押出成形機のシリンダー(C1,C2,C3)、アダプター(A)、ダイヘッド(D1)およびダイチップ(D2)の温度は、330~370℃に設定した。ダイの先端部(ダイチップの先端部)での共重合体の樹脂温度は、370℃であった。
TFE/PPVE共重合体(PPVE単位の含有量が全単量体単位に対して3.7質量%)およびPTFE(ダイキン工業社製、商品名「ルブロンL5」)を含有するペレットを用いた以外は、実施例1と同様にして、チューブを作製した。結果を表2に示す。
TFE/PPVE共重合体(PPVE単位の含有量が全単量体単位に対して3.6質量%)を含有するペレットを用いた以外は、実施例1と同様にして、チューブを作製した。結果を表2に示す。
TFE/PEVE共重合体(PEVE単位の含有量が全単量体単位に対して8.3質量%)およびPTFE(ダイキン工業社製、商品名「ルブロンL5」)を含有するペレットを用いた以外は、実施例1と同様にして、チューブを作製した。結果を表2に示す。
TFE/PEVE共重合体(PEVE単位の含有量が全単量体単位に対して6.5質量%)を含有するペレットを用いた以外は、実施例1と同様にして、チューブを作製した。結果を表2に示す。
フィルターを用いることなく、チューブの中空部に空気(外気)をそのまま導入した以外は、実施例1と同様にして、チューブを作製した。結果を表2に示す。
11 シリンダー
12 アダプター
13 ダイヘッド
14 ダイチップ
15 スクリュー
16 TFE/FAVE共重合体
17 サイジングダイ
18 チューブ内面
19 中空部
21 気体(外気)
22 フィルター
23 気体導入口
24 ダイ先端部
Claims (10)
- テトラフルオロエチレン/フルオロアルキルビニルエーテル共重合体を含有するチューブであって、
評価長さを3μmに設定して、原子間力顕微鏡(AFM)により測定される、前記チューブ内面の表面粗度Raが、5nm以下であり、
前記チューブ内面からの溶出金属量が、0.30ng/cm2以下である
チューブ。 - 前記チューブ内面の平均球晶径が、1~150μmである請求項1に記載のチューブ。
- 前記チューブ内面の平均球晶径が、15μm超である請求項1または2に記載のチューブ。
- フルオロアルキルビニルエーテルが、パーフルオロ(プロピルビニルエーテル)である請求項1~3のいずれかに記載のチューブ。
- 半導体デバイス製造用高純度薬液を移送するために用いる請求項1~4のいずれかに記載のチューブ。
- 押出成形機のダイから押し出されたチューブの中空部に、ろ過精度が5nm以下のフィルターを通過させた気体を流通させながら、前記テトラフルオロエチレン/フルオロアルキルビニルエーテル共重合体を押し出すことにより得られる請求項1~5のいずれかに記載のチューブ。
- 前記テトラフルオロエチレン/フルオロアルキルビニルエーテル共重合体におけるフルオロアルキルビニルエーテル単位の含有量が、全単量体単位に対して、1.0~8.0質量%である、請求項1~6のいずれかに記載のチューブ。
- 請求項1~7のいずれかに記載のチューブの製造方法であって、
ダイを備える押出成形機を用いて、前記ダイの先端部から押し出されたチューブの中空部に、ろ過精度が5nm以下のフィルターを通過させた気体を流通させながら、前記テトラフルオロエチレン/フルオロアルキルビニルエーテル共重合体を、前記ダイから押し出すことにより、前記チューブを得る製造方法。 - 前記テトラフルオロエチレン/フルオロアルキルビニルエーテル共重合体の、前記ダイの先端部での樹脂温度が、350~370℃である請求項8に記載の製造方法。
- 請求項1~7のいずれかに記載のチューブの保管方法であって、前記チューブ中に高純度液体を封入した状態で、前記チューブを保管する保管方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019150911 | 2019-08-21 | ||
JP2019150911 | 2019-08-21 | ||
PCT/JP2020/029884 WO2021033539A1 (ja) | 2019-08-21 | 2020-08-04 | チューブ、チューブの製造方法、および、チューブの保管方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2021033539A1 JPWO2021033539A1 (ja) | 2021-02-25 |
JP7485964B2 true JP7485964B2 (ja) | 2024-05-17 |
Family
ID=74660947
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021540712A Active JP7485964B2 (ja) | 2019-08-21 | 2020-08-04 | チューブ、チューブの製造方法、および、チューブの保管方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220170573A1 (ja) |
EP (1) | EP4019820A4 (ja) |
JP (1) | JP7485964B2 (ja) |
KR (1) | KR20220041140A (ja) |
CN (1) | CN114206583A (ja) |
TW (1) | TWI809296B (ja) |
WO (1) | WO2021033539A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7401927B2 (ja) * | 2021-12-17 | 2023-12-20 | 株式会社トヨックス | 可撓管 |
WO2024053707A1 (ja) * | 2022-09-09 | 2024-03-14 | ダイキン工業株式会社 | チューブおよびチューブの製造方法 |
WO2024100607A1 (en) * | 2022-11-11 | 2024-05-16 | Zerojet Limited | Jet unit assembly |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000233435A (ja) | 1999-02-16 | 2000-08-29 | Nichias Corp | パーティクル低減ふっ素樹脂チューブの製造方法 |
JP2001247627A (ja) | 1999-12-27 | 2001-09-11 | Toshiba Corp | ふっ素樹脂成形体、ふっ素樹脂及びふっ素樹脂の製造方法 |
JP2001356627A (ja) | 2000-06-12 | 2001-12-26 | Gunze Ltd | 表面平滑性フッ素系樹脂チューブ及び加圧ローラ |
JP2004249606A (ja) | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Sekisui Chem Co Ltd | 熱可塑性樹脂パイプ、光ファイバー用クラッドパイプ及びその製造方法 |
JP2008105401A (ja) | 2006-09-29 | 2008-05-08 | Nichias Corp | 多層チューブ |
JP2010125634A (ja) | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Suzuka Fuji Xerox Co Ltd | 熱収縮性フッ素樹脂チューブの製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58160135A (ja) * | 1982-03-17 | 1983-09-22 | Kurashiki Kako Kk | 低圧用ゴムホ−スの連続加硫製造方法 |
JPS61159589A (ja) * | 1985-01-07 | 1986-07-19 | Hitachi Cable Ltd | 銅管内面変色防止法 |
JP3559062B2 (ja) | 1993-06-30 | 2004-08-25 | 三井・デュポンフロロケミカル株式会社 | テトラフルオロエチレン/フルオロアルコキシトリフルオロエチレン共重合体組成物 |
JP3521643B2 (ja) * | 1996-09-11 | 2004-04-19 | 旭硝子株式会社 | チューブの成形体 |
JP3627497B2 (ja) * | 1998-01-30 | 2005-03-09 | 旭硝子株式会社 | 含フッ素重合体組成物およびその成形体 |
JP4719975B2 (ja) * | 1998-05-29 | 2011-07-06 | ダイキン工業株式会社 | 結晶性含フッ素樹脂の球晶微小化剤、該微小化剤を含んでなる結晶性含フッ素樹脂組成物 |
JP2001150435A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-05 | Asahi Glass Co Ltd | 含フッ素共重合体成形材料の製造方法 |
JP5660186B2 (ja) * | 2012-10-03 | 2015-01-28 | ダイキン工業株式会社 | 水生生物付着防止成形品 |
JP7202082B2 (ja) * | 2017-06-23 | 2023-01-11 | 三井・ケマーズ フロロプロダクツ株式会社 | 熱溶融性フッ素樹脂成形品 |
-
2020
- 2020-08-04 WO PCT/JP2020/029884 patent/WO2021033539A1/ja unknown
- 2020-08-04 KR KR1020227006038A patent/KR20220041140A/ko unknown
- 2020-08-04 CN CN202080056470.3A patent/CN114206583A/zh active Pending
- 2020-08-04 JP JP2021540712A patent/JP7485964B2/ja active Active
- 2020-08-04 EP EP20854340.5A patent/EP4019820A4/en active Pending
- 2020-08-11 TW TW109127196A patent/TWI809296B/zh active
-
2022
- 2022-02-16 US US17/673,374 patent/US20220170573A1/en active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000233435A (ja) | 1999-02-16 | 2000-08-29 | Nichias Corp | パーティクル低減ふっ素樹脂チューブの製造方法 |
JP2001247627A (ja) | 1999-12-27 | 2001-09-11 | Toshiba Corp | ふっ素樹脂成形体、ふっ素樹脂及びふっ素樹脂の製造方法 |
JP2001356627A (ja) | 2000-06-12 | 2001-12-26 | Gunze Ltd | 表面平滑性フッ素系樹脂チューブ及び加圧ローラ |
JP2004249606A (ja) | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Sekisui Chem Co Ltd | 熱可塑性樹脂パイプ、光ファイバー用クラッドパイプ及びその製造方法 |
JP2008105401A (ja) | 2006-09-29 | 2008-05-08 | Nichias Corp | 多層チューブ |
JP2010125634A (ja) | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Suzuka Fuji Xerox Co Ltd | 熱収縮性フッ素樹脂チューブの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2021033539A1 (ja) | 2021-02-25 |
KR20220041140A (ko) | 2022-03-31 |
EP4019820A4 (en) | 2024-01-03 |
WO2021033539A1 (ja) | 2021-02-25 |
EP4019820A1 (en) | 2022-06-29 |
CN114206583A (zh) | 2022-03-18 |
TWI809296B (zh) | 2023-07-21 |
US20220170573A1 (en) | 2022-06-02 |
TW202115134A (zh) | 2021-04-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7485964B2 (ja) | チューブ、チューブの製造方法、および、チューブの保管方法 | |
JP7348483B2 (ja) | 成形品の製造方法および成形品 | |
KR102389549B1 (ko) | 성형 재료 및 튜브 | |
KR20200020701A (ko) | 용융 가공성 플루오로수지 성형품 | |
JP2015040279A (ja) | 半導体製造装置に用いられるフッ素樹脂成形品の洗浄方法 | |
US20230202088A1 (en) | Tube manufacturing method, extrusion molding machine, mold for extrusion molding, winding device, and tube | |
TW202206509A (zh) | 樹脂丸粒及其模製產品 | |
WO2024053707A1 (ja) | チューブおよびチューブの製造方法 | |
US20040232584A1 (en) | Testing of fabricated fluoropolymer articles for metal contamination | |
JP2017052854A (ja) | 耐ブリスター性に優れたフッ素樹脂組成物 | |
JP7137112B2 (ja) | 射出成形体およびその製造方法 | |
JP7174307B2 (ja) | 射出成形体およびその製造方法 | |
JP7137111B2 (ja) | 射出成形体およびその製造方法 | |
JPWO2018139262A1 (ja) | フッ化ビニリデン系樹脂フィルム | |
TW202302312A (zh) | 管接頭及管接頭之製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230314 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231205 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240402 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240415 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7485964 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |