JP2000233435A - パーティクル低減ふっ素樹脂チューブの製造方法 - Google Patents
パーティクル低減ふっ素樹脂チューブの製造方法Info
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- JP2000233435A JP2000233435A JP11037028A JP3702899A JP2000233435A JP 2000233435 A JP2000233435 A JP 2000233435A JP 11037028 A JP11037028 A JP 11037028A JP 3702899 A JP3702899 A JP 3702899A JP 2000233435 A JP2000233435 A JP 2000233435A
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- tube
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- fluororesin
- molding
- clean air
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
- B29C48/25—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C48/27—Cleaning; Purging; Avoiding contamination
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Extrusion Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 パーティクル低減ふっ素樹脂チューブの製
造方法を提供する。 【解決手段】 定法によりＰＦＡ樹脂を溶融押し出し
成形後、チューブ中にクリーンエアを流し、チューブ内
のパーティクルをパージ処理する。 【効果】 製造後のＰＦＡ樹脂チューブ内に発生する
パーティクルをパージ処理により低減させることができ
る。
造方法を提供する。 【解決手段】 定法によりＰＦＡ樹脂を溶融押し出し
成形後、チューブ中にクリーンエアを流し、チューブ内
のパーティクルをパージ処理する。 【効果】 製造後のＰＦＡ樹脂チューブ内に発生する
パーティクルをパージ処理により低減させることができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ふっ素樹脂チュー
ブの製造方法に係るもので、特にパーティクル低減ふっ
素樹脂チューブの製造方法に関する。
ブの製造方法に係るもので、特にパーティクル低減ふっ
素樹脂チューブの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造分野では、洗浄装置や
薬液供給装置を構成する部材に、優れた耐熱性、耐薬品
性、電気絶縁性等を有するふっ素樹脂が使用されてい
る。
薬液供給装置を構成する部材に、優れた耐熱性、耐薬品
性、電気絶縁性等を有するふっ素樹脂が使用されてい
る。
【０００３】ふっ素樹脂チューブもその１つである。こ
のふっ素樹脂チューブには、テトラフルオロエチレンと
パーフルオロアルキルビニールエーテル共重合体（ＰＦ
Ａ）やテトラフルオロエチレンと六ふっ化プロピレン共
重合体（ＦＥＰ）が多用され、一般に溶融押し出し法で
製造されている。
のふっ素樹脂チューブには、テトラフルオロエチレンと
パーフルオロアルキルビニールエーテル共重合体（ＰＦ
Ａ）やテトラフルオロエチレンと六ふっ化プロピレン共
重合体（ＦＥＰ）が多用され、一般に溶融押し出し法で
製造されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】近時、半導体における
高集積化が進むにつれて、使用部材に要求されるクリー
ン度も高くなっている。
高集積化が進むにつれて、使用部材に要求されるクリー
ン度も高くなっている。
【０００５】そこで、上記溶融押し出し法で製造される
ふっ素樹脂チューブについては、パーティクルの低減化
が強く要望されている。
ふっ素樹脂チューブについては、パーティクルの低減化
が強く要望されている。
【０００６】ここで、前記パーティクルとは、溶融押し
出し法で成形されたチューブ内面に付着した微粒子、ふ
っ素樹脂から溶出する重合触媒残渣、低分子量物（オリ
ゴマー）等を含むものである。
出し法で成形されたチューブ内面に付着した微粒子、ふ
っ素樹脂から溶出する重合触媒残渣、低分子量物（オリ
ゴマー）等を含むものである。
【０００７】前記低分子量物（オリゴマー）は、樹脂中
に存在していて、成形時の熱により気化し、それが周囲
の雰囲気中で冷やされ固化してチューブ内面に付着した
ものと推定されている。
に存在していて、成形時の熱により気化し、それが周囲
の雰囲気中で冷やされ固化してチューブ内面に付着した
ものと推定されている。
【０００８】本発明は、ふっ素樹脂またはふっ素樹脂を
ベースとする樹脂混和物を溶融押し出し法でチューブ状
に成形するふっ素樹脂チューブ製造方法に改良を加え、
パーティクルの低減化を可能としたふっ素樹脂チューブ
の製造方法を提供することを主たる目的としている。
ベースとする樹脂混和物を溶融押し出し法でチューブ状
に成形するふっ素樹脂チューブ製造方法に改良を加え、
パーティクルの低減化を可能としたふっ素樹脂チューブ
の製造方法を提供することを主たる目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、ふっ素樹脂またはふっ素樹脂をベースとす
る樹脂混和物を溶融押し出してチューブ状に成形するふ
っ素樹脂チューブの製造方法において、チューブ成形
後、または成形中クリーンエアをチューブ中に流し、チ
ューブ内のパーティクルをパージ処理することを要旨と
している。
成するため、ふっ素樹脂またはふっ素樹脂をベースとす
る樹脂混和物を溶融押し出してチューブ状に成形するふ
っ素樹脂チューブの製造方法において、チューブ成形
後、または成形中クリーンエアをチューブ中に流し、チ
ューブ内のパーティクルをパージ処理することを要旨と
している。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の形態とし
ては、定法によりＰＦＡ樹脂を溶融押し出し成形後、チ
ューブ中にクリーンエアを流し、チューブ内のパーティ
クルをパージ処理した。
ては、定法によりＰＦＡ樹脂を溶融押し出し成形後、チ
ューブ中にクリーンエアを流し、チューブ内のパーティ
クルをパージ処理した。
【００１１】上記方法によれば、成形後のチューブ中に
流したクリーンエアにより、チューブ内面に付着した微
粒子、ふっ素樹脂から溶出する重合触媒残渣、低分子量
物等のパーティクルはパージされるので、パーティクル
を低減したふっ素樹脂チューブが得られた。
流したクリーンエアにより、チューブ内面に付着した微
粒子、ふっ素樹脂から溶出する重合触媒残渣、低分子量
物等のパーティクルはパージされるので、パーティクル
を低減したふっ素樹脂チューブが得られた。
【００１２】
【実施例】実施例１ 定法によりＰＦＡ樹脂を溶融押し出して内径８ｍｍ、外
径１０ｍｍのチューブを成形した後、チューブ中にクリ
ーンエアを２〜３ｌ／min（圧力０．５kgf／cm 2）で２
０min間通してパージ処理を施し、パーティクル低減Ｐ
ＦＡチューブを製造した。
径１０ｍｍのチューブを成形した後、チューブ中にクリ
ーンエアを２〜３ｌ／min（圧力０．５kgf／cm 2）で２
０min間通してパージ処理を施し、パーティクル低減Ｐ
ＦＡチューブを製造した。
【００１３】実施例２ 定法によりＰＦＡ樹脂を溶融押し出して内径８ｍｍ、外
径１０ｍｍのチューブを成形中、成形チューブの先端か
らチューブ中にクリーンエアを２〜３ｌ／min（圧力
０．５kgf／cm2）を２０min間通してパージ処理を施
し、パーティクル低減ＰＦＡチューブを製造した。
径１０ｍｍのチューブを成形中、成形チューブの先端か
らチューブ中にクリーンエアを２〜３ｌ／min（圧力
０．５kgf／cm2）を２０min間通してパージ処理を施
し、パーティクル低減ＰＦＡチューブを製造した。
【００１４】図１〜図２に、チューブの押し出し成形中
にクリーンエアを通してパージ処理する手段を示す。同
図中、１は押し出し成形装置の押出しダイ、１ａはエア
出口、２はサイジングダイ、３は水槽、４は引取り機、
Ａは溶融樹脂、ａは成形チューブである。
にクリーンエアを通してパージ処理する手段を示す。同
図中、１は押し出し成形装置の押出しダイ、１ａはエア
出口、２はサイジングダイ、３は水槽、４は引取り機、
Ａは溶融樹脂、ａは成形チューブである。
【００１５】溶融樹脂原料は押出しダイ１から押し出さ
れたあと、サイジングダイ２で所要の径のチューブに成
形され、水槽３で冷却硬化され、引取り機４により前方
に向けて送り出される。この送り出されたチューブａの
先端からチューブ内にクリーンエアを供給してパージ処
理を施すことにより、パーティクル低減ＰＦＡチューブ
が得られる。チューブ内に供給されたエアは押出しダイ
１に設けられている出口１ａを通って外に排気される。
れたあと、サイジングダイ２で所要の径のチューブに成
形され、水槽３で冷却硬化され、引取り機４により前方
に向けて送り出される。この送り出されたチューブａの
先端からチューブ内にクリーンエアを供給してパージ処
理を施すことにより、パーティクル低減ＰＦＡチューブ
が得られる。チューブ内に供給されたエアは押出しダイ
１に設けられている出口１ａを通って外に排気される。
【００１６】上記方法によれば、チューブ成形中に発生
する分解ガス（オリゴマー揮発成分など）が固化してチ
ューブ内表面に付着する前にパージ処理することができ
る。
する分解ガス（オリゴマー揮発成分など）が固化してチ
ューブ内表面に付着する前にパージ処理することができ
る。
【００１７】比較例１ 定法によりＰＦＡ樹脂を溶融押し出し成形し、内径８ｍ
ｍ、外径１０ｍｍのＰＦＡチューブを製造した。
ｍ、外径１０ｍｍのＰＦＡチューブを製造した。
【００１８】上記実施例および比較例でそれぞれ製造し
たＰＦＡチューブ（長さ３０ｍ）を供試体とし、図３に
示す試験機によりＰＦＡチューブ内のパーティクルを測
定した結果を、下記表１に示す。
たＰＦＡチューブ（長さ３０ｍ）を供試体とし、図３に
示す試験機によりＰＦＡチューブ内のパーティクルを測
定した結果を、下記表１に示す。
【００１９】図３で、Ｐは供試体チューブ、５は超純水
発生装置、６はフィルター（０．１μｍ）、７はパーテ
ィクル用カウンター（０．２μｍ）であり、超純水発生
装置５より超純水を流量３．８ｌ／minで供試体チュー
ブＰ内に循環させ、その超純水を連続的にパーティクル
用カウンター７により測定した。
発生装置、６はフィルター（０．１μｍ）、７はパーテ
ィクル用カウンター（０．２μｍ）であり、超純水発生
装置５より超純水を流量３．８ｌ／minで供試体チュー
ブＰ内に循環させ、その超純水を連続的にパーティクル
用カウンター７により測定した。
【００２０】
【表１】 上記値は、測定開始から２０分間に測定された０．２μ
ｍ以上の大きさのパーティクルの総数である。
ｍ以上の大きさのパーティクルの総数である。
【００２１】上記表１に示す如く、本発明によれば、ふ
っ素樹脂チューブの成形時の製造方法を改良することに
より、チューブ内で発生するパーティクル量が約１／２
に低減できたことが確認された。
っ素樹脂チューブの成形時の製造方法を改良することに
より、チューブ内で発生するパーティクル量が約１／２
に低減できたことが確認された。
【００２２】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
ふっ素樹脂チューブ成形時の製造方法を改良することに
より、チューブ内に発生するパーティクル量を低減させ
たふっ素樹脂チューブを容易に得ることができる。
ふっ素樹脂チューブ成形時の製造方法を改良することに
より、チューブ内に発生するパーティクル量を低減させ
たふっ素樹脂チューブを容易に得ることができる。
【図１】樹脂チューブの押し出し成形装置の概略図であ
る。
る。
【図２】前記装置の一部の拡大断面図である。
【図３】パーティクル測定器の概略図である。
１ 押出しダイ ２ サイジングダイ ３ 水槽 ４ 引取り機 Ａ 溶融樹脂 ａ 成形チューブ ５ 超純水発生装置 ６ フィルター ７ パーティクル用カウンター Ｐ ふっ素樹脂チューブ（供試体）
Claims (1)
- 【請求項１】 ふっ素樹脂またはふっ素樹脂をベースと
する樹脂混和物を溶融押し出してチューブ状に成形する
ふっ素樹脂チューブの製造方法において、チューブ成形
後、または成形中クリーンエアをチューブ中に流し、チ
ューブ内のパーティクルをパージ処理することを特徴と
するパーティクル低減ふっ素樹脂チューブの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11037028A JP2000233435A (ja) | 1999-02-16 | 1999-02-16 | パーティクル低減ふっ素樹脂チューブの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11037028A JP2000233435A (ja) | 1999-02-16 | 1999-02-16 | パーティクル低減ふっ素樹脂チューブの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000233435A true JP2000233435A (ja) | 2000-08-29 |
Family
ID=12486198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11037028A Pending JP2000233435A (ja) | 1999-02-16 | 1999-02-16 | パーティクル低減ふっ素樹脂チューブの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000233435A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008038938A (ja) * | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 静圧形ノンコンタクトガスシール |
| JP2020015906A (ja) * | 2018-07-12 | 2020-01-30 | ダイキン工業株式会社 | 成形品の製造方法および成形品 |
| WO2020248434A1 (zh) * | 2019-06-11 | 2020-12-17 | 浙江伟星新型建材股份有限公司 | 塑料疏水管道、生产装置和生产塑料疏水管道的方法 |
| WO2021033539A1 (ja) * | 2019-08-21 | 2021-02-25 | ダイキン工業株式会社 | チューブ、チューブの製造方法、および、チューブの保管方法 |
| WO2022059501A1 (ja) | 2020-09-18 | 2022-03-24 | ダイキン工業株式会社 | チューブの製造方法、押出成形機、押出成形用金型、巻取装置およびチューブ |
| WO2024053707A1 (ja) * | 2022-09-09 | 2024-03-14 | ダイキン工業株式会社 | チューブおよびチューブの製造方法 |
-
1999
- 1999-02-16 JP JP11037028A patent/JP2000233435A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008038938A (ja) * | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 静圧形ノンコンタクトガスシール |
| JP4673807B2 (ja) * | 2006-08-02 | 2011-04-20 | 日本ピラー工業株式会社 | 静圧形ノンコンタクトガスシール |
| JP2020015906A (ja) * | 2018-07-12 | 2020-01-30 | ダイキン工業株式会社 | 成形品の製造方法および成形品 |
| JP7348483B2 (ja) | 2018-07-12 | 2023-09-21 | ダイキン工業株式会社 | 成形品の製造方法および成形品 |
| WO2020248434A1 (zh) * | 2019-06-11 | 2020-12-17 | 浙江伟星新型建材股份有限公司 | 塑料疏水管道、生产装置和生产塑料疏水管道的方法 |
| WO2021033539A1 (ja) * | 2019-08-21 | 2021-02-25 | ダイキン工業株式会社 | チューブ、チューブの製造方法、および、チューブの保管方法 |
| JPWO2021033539A1 (ja) * | 2019-08-21 | 2021-02-25 | ||
| EP4019820A4 (en) * | 2019-08-21 | 2024-01-03 | Daikin Ind Ltd | TUBE, METHOD FOR PRODUCING A TUBE AND METHOD FOR STORING A TUBE |
| JP7485964B2 (ja) | 2019-08-21 | 2024-05-17 | ダイキン工業株式会社 | チューブ、チューブの製造方法、および、チューブの保管方法 |
| WO2022059501A1 (ja) | 2020-09-18 | 2022-03-24 | ダイキン工業株式会社 | チューブの製造方法、押出成形機、押出成形用金型、巻取装置およびチューブ |
| KR20230051686A (ko) | 2020-09-18 | 2023-04-18 | 다이킨 고교 가부시키가이샤 | 튜브의 제조 방법, 압출 성형기, 압출 성형용 금형, 권취 장치 및 튜브 |
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