WO2022059501A1

WO2022059501A1 - チューブの製造方法、押出成形機、押出成形用金型、巻取装置およびチューブ

Info

Publication number: WO2022059501A1
Application number: PCT/JP2021/032272
Authority: WO
Inventors: 均今村; 博之濱田; 恵吏向井
Original assignee: ダイキン工業株式会社
Priority date: 2020-09-18
Filing date: 2021-09-02
Publication date: 2022-03-24
Also published as: KR20230051686A; JPWO2022059501A1; CN116096548A; US20230202088A1; TW202222536A; TWI819372B; JP7368784B2; EP4215337A1

Abstract

押出成形機に備えられた金型からチューブ状に押し出された溶融加工性フッ素樹脂を、冷却装置に導いて冷却した後、巻取装置を用いて、冷却されたチューブを巻取リールに巻き取るチューブの製造方法であって、前記巻取リールに巻き取られた前記チューブの先端から前記チューブの中空部にガスを供給し、前記金型に設けられたガス導入口から、前記中空部のガスを、金型に設けられたガス排出孔を通して、外部に排出することによって、前記中空部に前記ガスを流通させるとともに、前記中空部の内圧を、大気圧よりも高く、０．５ｋｇｆ／ｃｍ^２よりも低い圧力に保つチューブの製造方法を提供する。

Description

チューブの製造方法、押出成形機、押出成形用金型、巻取装置およびチューブ

　本開示は、チューブの製造方法、押出成形機、押出成形用金型、巻取装置およびチューブに関する。

　特許文献１には、ふっ素樹脂またはふっ素樹脂をベースとする樹脂混和物を溶融押し出してチューブ状に成形するふっ素樹脂チューブの製造方法において、チューブ成形後、または成形中クリーンエアをチューブ中に流し、チューブ内のパーティクルをパージ処理することを特徴とするパーティクル低減ふっ素樹脂チューブの製造方法が記載されている。

特開２０００－２３３４３５号公報

　本開示では、清浄な内面を有しており、寸法安定性に優れたチューブを、高い生産性で製造できるとともに、清浄な内面を容易に保つことができるチューブの製造方法およびその製造方法に用いる装置を提供することを目的とする。
　また、本開示では、清浄な内面を保った状態で取り扱うことができるチューブを提供することを目的とする。

　本開示によれば、押出成形機に備えられた金型からチューブ状に押し出された溶融加工性フッ素樹脂を、冷却装置に導いて冷却した後、巻取装置を用いて、冷却されたチューブを巻取リールに巻き取るチューブの製造方法であって、前記巻取リールに巻き取られた前記チューブの先端から前記チューブの中空部にガスを供給し、前記金型に設けられたガス導入口から、前記中空部のガスを、前記金型に設けられたガス排出孔を通して、外部に排出することによって、前記中空部にガスを流通させるとともに、前記中空部の内圧を、大気圧よりも高く、０．５ｋｇｆ／ｃｍ^２よりも低い圧力に保つ製造方法が提供される。

　本開示の製造方法において、前記中空部に供給するガスが、フィルターを通過させたガスであることが好ましい。
　本開示の製造方法において、前記中空部に供給するガスが、フィルターを通過させた空気であることが好ましい。
　本開示の製造方法において、前記溶融加工性フッ素樹脂の押し出しを停止した後、チューブの任意の二箇所を溶着し、切断することによって、ガスが封入されているチューブを製造することが好ましい。
　本開示の製造方法において、前記押出成形機が、前記金型および逆流防止装置を備えており、前記金型が、前記溶融加工性フッ素樹脂をチューブ状に吐出する樹脂吐出口と、チューブ状の前記溶融加工性フッ素樹脂の中空部のガスを、前記金型に設けられたガス排出孔に導入するガス導入口と、前記ガス導入口から導入した前記ガスを前記金型の外部に排出するガス排出孔と、を備えており、前記金型の前記ガス排出孔の下流側に、前記ガスの逆流を防止する前記逆流防止装置が接続されていることが好ましい。
　本開示の製造方法において、前記金型が、前記溶融加工性フッ素樹脂をチューブ状に吐出する樹脂吐出口と、チューブ状の前記溶融加工性フッ素樹脂の中空部のガスを、前記金型に設けられたガス排出孔に導入するガス導入口と、前記ガス導入口から導入した前記ガスを前記金型の外部に排出するガス排出孔と、を備えており、前記ガス導入口が、前記ガス排出孔から前記ガス導入口に向かって、開口径が大きくなるように形成されていることが好ましい。
　本開示の製造方法において、前記巻取装置が、前記チューブの中空部にガスを供給するガス供給口と、前記ガス供給口よりも下流側に設けられており、前記ガス供給口から供給されるガス中の汚染物質を除去する１個以上のフィルターと、前記フィルターよりも下流側に設けられており、前記チューブを接続するチューブ接続口と、前記チューブを巻き付ける巻取リールと、を備えることが好ましい。
　本開示の製造方法において、前記巻取装置が、前記チューブの中空部にガスを供給するガス供給口と、前記ガス供給口に接続されており、巻き取る前の前記チューブの先端を前記ガス供給口と接続するリードチューブと、前記チューブおよび前記リードチューブを巻き付ける巻取リールと、を備えることが好ましい。
　本開示の製造方法において、前記巻取装置が、リードチューブを備えており、前記リードチューブに前記ガスを供給しながら、前記リードチューブの先端を、前記金型から押し出された前記溶融加工性フッ素樹脂の先端と接続することにより、前記チューブの中空部に前記ガスを供給することが好ましい。
　本開示の製造方法において、前記リードチューブを、前記巻取装置から前記金型まで送り出した状態で、前記リードチューブの先端を、前記金型から押し出された前記溶融加工性フッ素樹脂の先端と接続した後、前記金型からの前記溶融加工性フッ素樹脂の連続的な押し出し、および、前記リードチューブおよび冷却された前記チューブの巻き取りを開始することが好ましい。
　本開示の製造方法において、前記溶融加工性フッ素樹脂が、テトラフルオロエチレン／フルオロアルキルビニルエーテル共重合体であることが好ましい。

　また、本開示によれば、溶融加工性フッ素樹脂をチューブ状に成形する金型および逆流防止装置を備える押出成形機であって、前記金型が、前記溶融加工性フッ素樹脂をチューブ状に吐出する樹脂吐出口と、前記チューブ状の溶融加工性フッ素樹脂の中空部のガスを、前記金型に設けられたガス排出孔に導入するガス導入口と、前記ガス導入口から導入した前記ガスを前記金型の外部に排出するガス排出孔と、を備えており、前記金型の前記ガス排出孔の下流側に、前記ガスの逆流を防止する前記逆流防止装置が接続されている押出成形機が提供される。

　本開示の押出成形機において、前記逆流防止装置が、バブリング装置であることが好ましい。

　また、本開示によれば、溶融加工性フッ素樹脂をチューブ状に成形する押出成形用金型であって、前記金型が、前記溶融加工性フッ素樹脂をチューブ状に吐出する樹脂吐出口と、前記チューブ状の溶融加工性フッ素樹脂の中空部のガスを、前記金型に設けられたガス排出孔に導入するガス導入口と、前記ガス導入口から導入した前記ガスを前記金型の外部に排出するガス排出孔と、を備えており、前記ガス導入口が、前記ガス排出孔から前記ガス導入口に向かって、開口径が大きくなるように形成されている押出成形用金型が提供される。

　本開示の押出成形用金型において、前記ガス導入口が、逆テーパー状であることが好ましい。

　また、本開示によれば、チューブを巻き取る巻取装置であって、前記チューブの中空部にガスを供給するガス供給口と、前記ガス供給口よりも下流側に設けられており、前記ガス供給口から供給されるガス中の汚染物質を除去する１個以上のフィルターと、前記フィルターよりも下流側に設けられており、前記チューブを接続するチューブ接続口と、前記チューブを巻き付ける巻取リールと、を備える巻取装置が提供される。

　本開示の巻取装置において、直列に連結された２個以上の前記フィルターを備え、前記フィルターのろ過精度がお互いに異なることが好ましい。
　本開示の巻取装置は、前記ガス供給口よりも下流側であって、前記フィルターよりも上流側に設けられた回転継手をさらに備えることが好ましい。

　また、本開示によれば、チューブを巻き取る巻取装置であって、前記チューブの中空部にガスを供給するガス供給口と、前記ガス供給口に接続されており、巻き取る前の前記チューブの先端を前記ガス供給口と接続するリードチューブと、前記リードチューブを巻き付ける巻取リールと、を備える巻取装置が提供される。

　本開示の巻取装置において、前記リードチューブの長さが、３ｍ以上であることが好ましい。

　また、本開示によれば、溶融加工性フッ素樹脂を含有するチューブであって、両末端が封止されており、中空部にフィルターを通過させたガスが封入されているチューブが提供される。

　本開示のチューブは、両末端が溶着されていることが好ましい。
　本開示のチューブにおいて、前記チューブの内面が、フィルターを通過させていないガスと接触したことがないことが好ましい。
　本開示のチューブは、２５ｍ以上の長さを有することが好ましい。
　本開示のチューブは、巻取リールに巻かれていることが好ましい。

　本開示によれば、清浄な内面を有しており、寸法安定性に優れたチューブを、高い生産性で製造できるとともに、清浄な内面を容易に保つことができるチューブの製造方法およびその製造方法に用いる装置を提供することができる。
　また、本開示では、清浄な内面を保った状態で取り扱うことができるチューブを提供することができる。

図１は、チューブ製造装置の概略側面図である。図２は、押出成形機の概略断面図である。図３は、従来の金型が有するガス導入口の形状を示す概略断面図である。図４は、押出成形機に設ける逆流防止装置の概略断面図である。図５は、巻取装置の概略正面図である。図６は、リードチューブの先端を、金型から押し出された溶融加工性フッ素樹脂の先端と接続する方法の一例を説明するための図である。図７は、両端が溶着されたチューブの実施形態を示す概略断面図である。

　以下、本開示の具体的な実施形態について詳細に説明するが、本開示は、以下の実施形態に限定されるものではない。

　本開示の製造方法においては、溶融加工性フッ素樹脂を溶融させて押出成形機に備えられた金型からチューブ状に押し出し、押出成形機に備えられた金型からチューブ状に押し出された溶融加工性フッ素樹脂を、冷却装置に導いて冷却した後、巻取装置を用いて、冷却されたチューブを巻取リールに巻き取ることにより、チューブを製造する。

　本開示の製造方法においては、巻取リールに巻き取られたチューブの先端からチューブの中空部にガスを供給し、金型に設けられたガス導入口から、中空部のガスを、金型に設けられたガス排出孔を通して、外部に排出することによって、中空部にガスを流通させるとともに、中空部の内圧を、大気圧よりも高く、０．５ｋｇｆ／ｃｍ^２よりも低い圧力に保つようにしている。

　これによって、冷却固化前のチューブ（金型と冷却装置との間にあるチューブ）の形状を保つことができるとともに、チューブの中空部に含まれる汚染物質を、中空部から排出できる。さらに、冷却されたチューブを巻取リールに巻き取るようにしており、巻取リール側から金型の方向にガスを流通させることにより、巻取リールに巻き取られた状態のチューブの内面をも清浄な状態に保つことができる。金型が腐食した場合でも、金型の腐食により生じる汚染物質は、金型から外部に排出されるので、チューブの内面には付着しない。

　特許文献１には、送り出されたチューブの先端からチューブ内にクリーンエアを供給してパージ処理を施すことが記載されている。このような従来の方法では、チューブの内面に付着してしまった汚染物質（溶融加工性フッ素樹脂から発生する揮発物など）を除去することは困難である。汚染物質は、溶融状態の溶融加工性フッ素樹脂に付着すると、極めて強固に内面に付着するし、ガス流により付着した汚染物質を吹き飛ばそうとすると、高圧のガス流を用いる必要が生じる。溶融状態の溶融加工性フッ素樹脂が冷却されて固化する前のチューブは、非常に柔らかく、形状が変化しやすいことから、チューブの中空部に高圧のガスを流通させると、チューブの厚みの変動やチューブの径の変動が生じ、寸法安定性に優れたチューブを製造できないことがある。さらに、このような従来の方法では、長いチューブを製造するために広大な敷地を必要とする上、送り出されるチューブの先端が刻々と移動しつづけるために、チューブ内にクリーンエアを供給し続けることが困難である。

　本開示の製造方法によれば、中空部の内圧が大気圧よりも高く、０．５ｋｇｆ／ｃｍ^２よりも低い圧力に保たれることから、チューブ状に押し出された溶融状態の溶融加工性フッ素樹脂の形状を保ちながら、清浄な内面を有しており、寸法安定性に優れたチューブを容易に製造することができる。

　さらに、本開示の製造方法によれば、巻取リールが用いられ、冷却後のチューブが巻取リールに巻き取られるとともに、巻き取られたチューブの先端からガスが供給されることから、内面が清浄であって、なおかつ、長いチューブを容易に製造することができる。しかも、製造中にチューブの中空部に大気が流入しないことから、製造中にチューブの内面に大気中の汚染物質が付着することがなく、高圧のガス流でパージしなくても、清浄な内面が保たれる。

　さらに、巻き取られたチューブの先端から供給されたガスは、金型を通って外部に排出される。溶融加工性フッ素樹脂は、溶融状態では金属を腐食させやすい性質を有していることから、溶融加工性フッ素樹脂の押出成形に用いる金型が腐食することがある。腐食した金型からは、金属成分などの汚染物質が生じる。本開示の製造方法によれば、金型が腐食した場合であっても、金型の腐食により生じる汚染物質は、金型から外部に排出され、金型から押し出されたチューブの中空部に流入することがないので、清浄な内面を有するチューブを製造することができる。

　本開示において、汚染物質には、溶融加工性フッ素樹脂から発生する揮発物、金属物質、パーティクル、大気中に存在する可塑剤等の有機物などが含まれる。

　以下、本開示の製造方法の実施形態およびその製造方法に用いる装置の実施形態について、図面を参照して説明する。

　図１はチューブ製造装置の概略側面図であり、図２は押出成形機の概略断面図であり、図４は押出成形機に設ける逆流防止装置の概略断面図であり、図５は巻取装置の概略正面図である。

　図１に示すチューブ製造装置１００は、溶融加工性フッ素樹脂を溶融させてチューブ状に押し出す押出成形機１０と、押し出された溶融状態のチューブの外径を規定するサイジングダイ４０と、溶融状態のチューブを冷却して固化させる冷却水槽５０と、冷却された溶融加工性フッ素樹脂のチューブを引き取る引取機６０と、引取機から送り出されたチューブを巻き取る巻取装置７０と、巻取装置７０にガスを供給するガス供給装置８０と、を備えている。

　チューブ製造装置１００においては、押出成形機１０のホッパー１１から投入された溶融加工性フッ素樹脂が、押出成形機１０のシリンダー１２内で溶融され、スクリュ１３が回転することにより、溶融された溶融加工性フッ素樹脂が、金型２０からチューブ状に押し出される。チューブ状に押し出された溶融状態の溶融加工性フッ素樹脂は、サイジングダイ４０を通過して、その外形が規定される。サイジングダイ４０を通過した溶融加工性フッ素樹脂は、冷却水槽５０において冷却された後、冷却された溶融加工性フッ素樹脂のチューブを引き取る引取機６０を通過して、巻取装置７０により、巻取装置が備える巻取リール７５に巻き取られる。この際の引取速度（ラインスピード）は、一般的に３０～１５０ｃｍ／分であり、３０～１２０ｃｍ／分であってもよい。

　金型２０とサイジングダイ４０との間を搬送される溶融状態のチューブ状の溶融加工性フッ素樹脂は、特に柔らかく、形状が容易に変化する。したがって、チューブの変形を抑制しながら、チューブの内面への汚染物質の付着を抑制できる圧力で、チューブの中空部にガスを供給する必要がある。中空部の内圧（ゲージ圧）としては、大気圧よりも高く、０．５ｋｇｆ／ｃｍ^２よりも低い圧力であればよいが、好ましくは０．４ｋｇｆ／ｃｍ^２以下であり、より好ましくは０．３ｋｇｆ／ｃｍ^２以下であり、好ましくは０．１ｋｇｆ／ｃｍ^２以上であり、より好ましくは０．２ｋｇｆ／ｃｍ^２以上である。中空部の内圧を上記範囲内に調整することにより、チューブ内面の汚染を抑制しながら、所望の形状を有するチューブを安定して製造できることが、発明者らの検討により実験的に確認された。中空部の内圧が低すぎても高すぎても、チューブの変形を十分に抑制することができない。

　図１および図２に示すように、押出成形機１０は、溶融加工性フッ素樹脂をシリンダー内に投入するホッパー１１と、溶融加工性フッ素樹脂を溶融させるシリンダー１２と、シリンダー内に収容されており、溶融加工性フッ素樹脂を押し出すスクリュ１３と、シリンダーと金型とを連結するアダプタ１４と、押し出された溶融状態の溶融加工性フッ素樹脂をチューブ状に成形する金型２０と、を備えている。

　図２に示すように、金型２０は、溶融加工性フッ素樹脂をチューブ状に吐出する樹脂吐出口２１と、チューブ状の溶融加工性フッ素樹脂１の中空部２のガスを、金型に設けられたガス排出孔に導入するガス導入口２２と、ガス導入口から導入したガスを金型の外部に排出するガス排出孔２３と、を備えている。

　押出成形機１０は、逆流防止装置３０をさらに備えており、逆流防止装置３０は金型２０のガス排出孔２３に接続され、押出成形機１０の外部にガスを排出するとともに、ガスの逆流を防止する。

　逆流防止装置３０として、逆止弁、バブリング装置などを用いることができる。図４は、逆流防止装置３０の実施形態を示す図である。図４に示す逆流防止装置３０は、バブリング装置であり、金型２０のガス排出孔２３に接続されるガス導入管３１と、ガス導入管から導入されるガス中の汚染物質を捕集する第１の容器３２と、第１の容器と第２の容器とを連結する配管３３と、配管３３から導入されるガスをバブリングする第２の容器３４と、第２の容器に収容される液体３５と、第２の容器中でバブリングされたガスを排出する配管３６と、を備えている。配管３３の一端は、第２の容器３４内に収容された液体３５の水面よりも低い位置に配置されており、配管３６の一端は、第２の容器３４内に収容された液体３５の水面よりも高い位置に配置されている。液体３５の水面の高さは適宜調整することができ、液体３５の種類も特に限定されず、たとえば、水であってよい。

　図４に示す逆流防止装置３０では、第２の容器３４内に収容された液体３５により、配管３３中に存在するガスと第２の容器３４内に存在するガスとが自由に流通することが防止されている。チューブを押出成形する際に、チューブ内の内圧が大気圧よりも高い圧力に保たれている状態では、第２の容器３４内に収容された液体３５により高い圧力が保たれて、配管３３中に存在するガスの圧力も大気圧以上となるので、配管３３からガスが第２の容器３４内に収容された液体３５中に吹き込まれて気泡が生じる。気泡として液体３５を通過したガスは、配管３６を通って、押出成形機の外部に排出される。チューブの押出成形を停止し、巻取リールに巻き取られたチューブの先端からのガスの供給を停止すると、チューブ内の内圧が次第に大気圧に戻るが、第２の容器３４内に収容された液体３５により、第２の容器３４内のガスが第１の容器３２に逆流することが防止される。これによって、押出成形機１０から押し出されて得られるチューブ１の中空部２内に、大気が流入してしまうことがないので、チューブの先端からのガスの供給を停止した後でも、チューブの内面に大気中の汚染物質が付着することがなく、清浄な内面が保たれる。

　逆流防止装置３０には、第１の容器３２がさらに設けられており、押出成形機から排出される汚染物質（特に溶融加工性フッ素樹脂から生じる揮発物）がトラップされて、汚染物質による配管３３の閉塞が防止される。ガス導入管３１も、汚染物質により閉塞する可能性があるが、ガス導入管３１にヒータを設置して加熱することにより、汚染物質の付着を防止することができる。

　金型２０においては、ガス導入口２２が逆テーパー状に形成されている。このように、ガス導入口２２を、ガス排出孔２３からガス導入口２２に向かって、開口径が大きくなるように形成することによって、ガス導入口２２の周辺への汚染物質の付着が低減される。ガス導入口２２の形状は、逆テーパー状に限られず、階段状であってもよい。

　図３は、従来の金型が有するガス導入口の形状を示す概略断面図である。従来の金型２００では、均一の径を有するガス排出孔２０３が設けられており、ガス導入口２０２の開口径もガス排出孔の径と同じであることから、ガス導入口２０２の周辺には、樹脂吐出口２０１に囲まれた露出面２０４が形成される。露出面２０４には、露出面２０４に対して垂直な方向からガスが衝突する上、その周辺にガスが滞留しやすいことから、チューブの中空部に含まれる汚染物質（溶融加工性フッ素樹脂から発生する揮発物など）が露出面２０４に付着しやすい問題がある。露出面２０４に汚染物質が堆積すると、樹脂吐出口２０１から吐出される溶融状態の溶融加工性フッ素樹脂に付着し、最終的に得られるチューブに異物として混入し、成形不良を生じさせる。

　金型２０においては、図２に示すように、ガス排出孔２３からガス導入口２２に向かって、開口径が大きくなるように形成されていることから、巻取リールに巻き取られたチューブの先端から供給されたガスが金型２０に到達した際に、金型２０のガス導入口２２の周辺で滞留することなく円滑にガス排出孔２３に導入される。したがって、チューブに供給されたガスが汚染物質を含んだ状態で円滑に外部に排気されるので、汚染物質のガス導入口２２の周辺への付着を有効に防止し、成形不良の発生を抑制することができる。

　ガス導入口の開口径は、特に限定されないが、図２に示すように、ガス導入口２２の開口径を樹脂吐出口２１の内径と略同じにすると、露出面がほとんどなくなり、汚染物質のガス導入口２２の周辺への付着を一層防止できる。

　チューブ製造装置１００は、巻取装置７０を備えている。図５は、巻取装置７０の実施形態を示す図である。図５に示す巻取装置７０は、チューブ１を巻き取る巻取装置であって、チューブ１の中空部にガスを供給するガス供給口７２と、ガス供給口７２よりも下流側に設けられており、ガス供給口７２から供給されるガス中の汚染物質を除去するフィルター７３と、フィルター７３よりも下流側に設けられており、チューブ１を接続するチューブ接続口７４と、チューブを巻き付ける巻取リール７５と、を備えている。

　巻取リール７５は、支持架台の支柱７６に設けられた回転軸７７に回転可能に支持（軸支）されており、駆動装置７８が駆動されて、回転軸７７とともに回転し、チューブ１が巻き取られる。チューブ１の一端は、リードチューブ７１を介して、チューブ接続口７４に接続されている。チューブ接続口７４からは、チューブ１の中空部にガスが供給される。チューブ１は、中空部にガスを流通させながら、巻取リール７５に巻き取られる。

　ガス供給口７２は、ガス供給装置８０に接続される。ガス供給装置８０は、図１に示すように、高圧のガスが充填されたガスボンベであってもよいし、コンプレッサー、ブロアなどであってもよい。ガス供給装置８０にニードルバルブ（図示せず）を設けて、ガスの供給圧力を調整してもよい。簡易的に、逆流防止装置３０において発生する気泡の量を確認しながら、ニードルバルブを開閉することにより、適切な圧力に調整してもよい。

　チューブ接続口７４は、フィルター７３を介して、ガス供給口７２に接続されている。フィルター７３を通過させたガスを、チューブ１の中空部に供給することにより、清浄な内面を有するチューブを製造することができる。

　チューブ１の中空部に供給するガスの種類は、特に限定されず、窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガスなどの不活性ガス、空気、酸素ガス、ハロゲンガスなどであってよい。コストを低減する観点からは、空気が好適である。中空部に供給するガスとして、フィルターを通過させたガスを用いる場合には、ガスの種類が空気であっても、清浄な内面を有するチューブを製造することができる。

　フィルターのろ過精度は特に限定されないが、好ましくは３０ｎｍ以下、より好ましくは１０ｎｍ以下、さらに好ましくは５ｎｍ以下、特に好ましく３ｎｍ以下である。フィルターのろ過精度が低すぎると、ガス抵抗が上昇しすぎたり、ガス中の汚染物質によってフィルターの目詰まりが起きやすくなったりなる欠点があるので、フィルターのろ過精度は、好ましくは１ｎｍ以上である。

　フィルターの捕集効率は特に限定されないが、フィルターとしては、３０ｎｍ以上の粒子を９９．９９％以上捕集するフィルターが好ましく、１０ｎｍ以上の粒子を９９．９９％以上捕集するフィルターがより好ましく、５ｎｍ以上の粒子を９９．９９％以上捕集するフィルターがさらに好ましく、３ｎｍ以上の粒子を９９．９９％以上捕集するフィルターが特に好ましい。

　図５では、第１のフィルター７３ａ、第２のフィルター７３ｂおよび第３のフィルター７３ｃが直列に連結されて設けられている。フィルターの数は特に限定されず、１個以上のフィルターを設けることができる。直列に連結された２個以上のフィルターを設けることにより、清浄度が一層高いガスをチューブ１の中空部に容易に供給することができる。２個以上のフィルターを設ける場合には、フィルターのろ過精度または捕集効率がお互いに異なるフィルターを設けることができ、これによって、清浄度がより一層高いガスをチューブ１の中空部に容易に供給することができる。

　たとえば、低いろ過精度を有するフィルターを上流に設けて、その下流に高いろ過精度を有するフィルターを設けることができる。図５では、第１のフィルター７３ａ、第２のフィルター７３ｂおよび第３のフィルター７３ｃが設けれているが、第１のフィルター７３ａとして、ろ過精度が１０ｎｍ超３０ｎｍ以下のフィルターを用い、第２のフィルター７３ｂとして、ろ過精度が５ｎｍ超１０ｎｍ以下のフィルターを用い、第３のフィルター７３ｃとして、ろ過精度が５ｎｍ以下のフィルターを用いることができる。

　また、化学吸着などの機構により、ガスから不純物を除去するフィルターを設けてもよい。このようなフィルターは、ケミカルフィルターと呼ばれることがある。たとえば、ケミカルフィルターを、上記したような物理的にガスから不純物を除去するフィルターの上流に設置することができる。

　巻取装置７０は、ガス供給口７２よりも下流側であって、フィルターよりも上流側に設けられた回転継手７９をさらに備える。ガス供給口７２から導入されたガスは、回転継手７９の中空部を通って、チューブ接続口７４に到達し、チューブ１の中空部にガスが供給される。回転継手７９を通過したガスには、回転継手７９の回転による摩擦によって生じる微粒子などの汚染物質が含まれるおそれがある。回転継手７９よりも下流側にフィルター７３を設けることによって、回転継手７９から生じる汚染物質をろ過することができるので、清浄度が一層高いガスをチューブ１の中空部に供給しながら、チューブ１を巻取リール７５に巻き取ることができる。

　巻取装置７０は、チューブ接続口７４にその一端が接続されており、その他端がチューブ１に接続されているリードチューブ７１をさらに備えている。リードチューブ７１の中空部には、チューブ接続口７４からガスが供給され、リードチューブ７１に接続されたチューブ１の中空部にもガスが供給される。

　図５に示す巻取装置７０では、リードチューブ７１の一端がチューブ１に接続されているが、溶融加工性フッ素樹脂の押出成形を開始する前には、リードチューブ７１の一端はチューブ１に接続されていない。リードチューブ７１の先端が露出した状態でリードチューブ７１にガスを供給しながら、巻取リール７５からリードチューブ７１を送り出して、リードチューブ７１を引取機６０、冷却水槽５０およびサイジングダイ４０を挿通させて、金型２０の手前まで到達させる。このようにして、リードチューブ７１を、巻取装置７０から金型２０まで送り出した状態で、リードチューブ７１の先端を、金型２０から押し出された溶融加工性フッ素樹脂の先端と接続する。この際、リードチューブ７１にガスを供給し、リードチューブ７１の先端からガスを流出させながら、リードチューブ７１の先端を、金型２０から押し出された溶融加工性フッ素樹脂の先端と接続して、溶融状態のチューブ１の中空部にガスを供給する。リードチューブ７１の先端と接続された溶融状態のチューブ１の中空部には、リードチューブ７１の先端と接続した時点から、清浄なガスが継続して供給されるので、ガスの供給圧力によってチューブの中空部の形状を保ちながら、チューブの内面の大気との接触を最小限に抑制することができる。

　図６は、リードチューブ７１の先端を、金型２０から押し出された溶融加工性フッ素樹脂の先端と接続する方法の一例を説明するための図である。図６に示すように、巻取装置７０から送り出されたリードチューブ７１の先端７１ａを、金型２０から押し出された溶融状態の溶融加工性フッ素樹脂６１の先端６１ａに挿入する。リードチューブ７１の先端７１ａを、溶融加工性フッ素樹脂６１の先端６１ａに挿入した状態で、ピンセットなどを用いて、先端６１ａを挟んで先端７１ａに溶着させる。このような方法によって、リードチューブ７１の先端７１ａからガスを流出させながら、リードチューブ７１の先端と、溶融加工性フッ素樹脂の先端とを接続することができる。

　リードチューブ７１の先端を、金型２０から押し出された溶融加工性フッ素樹脂の先端と接続した後、金型２０からの溶融加工性フッ素樹脂の連続的な押し出し、および、リードチューブ７１および冷却されたチューブ１の巻き取りを開始する。このようにして、清浄な内面を保った状態で、長いチューブを高い生産性で製造することができる。

　リードチューブ７１の長さは、巻取装置７０から金型２０までの距離と同じ又はそれを超える長さであればよく、特に限定されない。リードチューブ７１の長さは、３ｍ以上であってよく、５ｍ以上であってよく、１００ｍ以下であってよい。

　リードチューブ７１を形成する材料は、特に限定されず、巻取リールに円滑に巻き取れる柔軟性を有する材料であればよいが、溶融加工性フッ素樹脂を含有するリードチューブを用いると、溶融状態の溶融加工性フッ素樹脂と溶着させやすいことから好ましい。

　所望の長さのチューブを製造した時点で、溶融加工性フッ素樹脂の押し出しおよびチューブの巻き取りを停止する。溶融加工性フッ素樹脂の押し出しを停止した後、チューブの任意の二箇所を溶着し、切断することによって、ガスが封入されているチューブを製造することができる。このような製造方法により得られるチューブの内面は、一度も大気と接触したことがなく、極めて清浄である。

　チューブの中空部にガスを流通させることにより、チューブ内面への汚染物質の付着を抑制し、清浄な内面を有するチューブを製造しても、チューブの梱包、出荷、輸送、使用などの際に、チューブの中空部に流入する大気中の汚染物質がチューブ内面に付着してしまい、清浄な内面を保つことができないおそれがある。チューブを製造してから実際に使用されるまでには、相当の期間を要することが通常であるにも関わらず、従来の製造方法により得られるチューブでは、清浄な内面を保つことが困難である。

　成形完了後にチューブの任意の二箇所を溶着し、切断することによって、清浄な内面を有するチューブを容易に製造することができる。さらには、フィルターを通過させたガスを供給しながら溶融加工性フッ素樹脂を成形する場合には、チューブの内面を一度もフィルターを通過させていないガスと接触させることなく、清浄なガスをチューブ内に封入することができる。さらに、成形時の内圧を保った状態で任意の二箇所を溶着させてもよく、これによって、チューブの内面をより一層清浄な状態に保つことができる。清浄な内面は、使用時に所望の長さにチューブが切断され、切断口から大気が中空部に流入するまで保たれる。

　図７は、両端が溶着されたチューブ１の実施形態を示す概略断面図である。図７に示すチューブ１では、両末端に露出する切断面３の周辺に溶着部４が設けられており、チューブ１の中空部が封止されている。

　チューブの溶着箇所は特に限定されないが、たとえば、金型２０からサイジングダイ４０の間でチューブの一か所を溶着し、リードチューブ７１に接続されている付近でチューブの一か所を溶着すると、無駄なくチューブを製造することができる。溶着しようとする箇所のチューブの溶融加工性フッ素樹脂が溶融状態にある場合には、ピンセットなどで挟むことにより、溶着させることができる。溶着しようとする箇所のチューブが冷却固化している場合は、ヒートガンなどで加熱して、溶着箇所を部分的に溶融状態にし、ピンセットなどで挟むことにより、溶着させることができる。

　溶着箇所間の距離は、特に限定されず、所望の長さのチューブが得られるように溶着箇所を選択することができる。すなわち、本開示の製造方法によれば、好ましくは２５ｍ以上、より好ましくは３０ｍ以上、さらに好ましくは４０ｍ以上のチューブを容易に製造することができる。長さの上限は特に限定されないが、５００ｍであってよい。

　チューブの任意の二箇所を溶着した後、チューブを巻取リール７５に全て巻き取り、巻取リール７５を支持架台から取り外すことにより、巻取リールに巻かれているチューブを得ることができる。

　このようにして、溶融加工性フッ素樹脂を含有するチューブであって、両末端が封止されており、中空部にフィルターを通過させたガスが封入されているチューブを製造することができる。

　フィルターを通過させたガスとしては、ろ過精度が３０ｎｍ以下のフィルターを通過させたガスが好ましい。フィルターのろ過精度は特に限定されないが、好ましくは１０ｎｍ以下、より好ましくは５ｎｍ以下、さらに好ましくは３ｎｍ以下である。

　ろ過精度が５ｎｍ以下のフィルターを通過させたガスを封入したチューブには、捕集効率が９９％以上で粒子が捕集されたガスが封入されていると推認できる。具体的には、大気中のナノ粒子の研究として、測定装置の性能の限界から、５～５００ｎｍのナノ粒子に関する研究が多くある。粒子数の分布は数十ｎｍサイズにピークがあり、大気中の数十ｎｍサイズの粒子の数は数万～数千万個／ｃｃ程度とされている。フィルターの捕集効率が９９％であれば、ろ過後のガス中の数十ｎｍサイズの粒子の数は数百～数万個／ｃｃであり、捕集効率が９９．９９％であれば、ろ過後のガス中の数十ｎｍサイズの粒子の数は１～１０００個／ｃｃとなる。また、捕集効率が９９％のフィルターを２個直列に設置すれば、ろ過後のガス中の数十ｎｍサイズの粒子の数は１～１０００個／ｃｃとなる。つまり、５ｎｍサイズのフィルターで空気をろ過することにより、５ｎｍ以上の粒子数を１０００個／ｃｃ以下、好ましくは５００個／ｃｃ以下、更に好ましくは１００個／ｃｃ以下とすることが可能である。

　一般に市販フィルターの捕集効率は、汚染された大容量のガスを通過させて、濃縮されたガス中の微粒子数を測定する事で決定されており、原理的にはガスが封入されているチューブから、封入されたガスを回収し、ガス中のパーティクル数を測定することにより、封入されているガス中の粒子数を把握することができる。しかし、チューブでは内部空間容量が少ない為に、チューブ内のガス中のパーティクル数を測定するには、測定できる濃度まで濃縮できるに足るガス量を捕集する事が難しい。発明者らは、チューブ内部に存在する微粒子数を液中で測定する方法を提案する。具体的には微粒子がフィルターにより除去された超純水、又はアルコールなどの溶剤をチューブに封入した後、リオン社製、光散乱式液中粒子検出器ＫＳ－１９Ｆなどを用いて測定する方法である。液中パーティクルカウンターの測定粒子サイズは３０ｎｍ以上であり、本開示の製造方法および本開示のチューブにおいては、このサイズのパーティクルはフィルターで除去されており、原理的には測定されない程度に、極めて低濃度である事が推測される。パーティクル測定作業での、二次汚染を十分に注意する必要があるが、現状のチューブ製造方法を用いる場合に比べて、本開示の製造方法を用いることにより、極めて清浄な内面を有するチューブが製造できる事を確認する事ができる。

　上記した実施形態では、両末端が溶着されているチューブの製造方法を説明したが、チューブの封止方法は融着に限定されず、キャップなどを両末端に設置することにより、中空部にフィルターを通過させたガスを封入することもできる。しかしながら、チューブの内面が、フィルターを通過させていないガスと接触したことがないチューブを得るためには、上述した製造方法によりチューブを製造する必要があることから、一層清浄な内面を有するチューブを要する場合には、両末端が溶着されているチューブが好適である。

　チューブを形成する溶融加工性フッ素樹脂は、溶融加工性を有するフッ素樹脂である。本開示において、溶融加工性とは、押出機および射出成形機などの従来の加工機器を用いて、ポリマーを溶融して加工することが可能であることを意味する。従って、溶融加工性のフッ素樹脂は、後述する測定方法により測定されるメルトフローレートが０．０１～５００ｇ／１０分であることが通常である。

　フッ素樹脂のメルトフローレート（ＭＦＲ）は、好ましくは０．５～１００ｇ／１０分であり、より好ましくは１～５０ｇ／１０分であり、さらに好ましくは２～４０ｇ／１０分である。

　ＭＦＲは、ＡＳＴＭ　Ｄ－１２３８に準拠して、直径２．１ｍｍで長さが８ｍｍのダイにて、荷重５ｋｇ、フッ素樹脂の一般的な成形温度である約２３０～４００℃の範囲の任意の温度（たとえば、３７２℃）で測定する。

　フッ素樹脂の融点は、特に限定されないが、好ましくは１００～３２４℃であり、より好ましくは２２０～３１５℃である。上記融点は、示差走査熱量計〔ＤＳＣ〕を用いて１０℃／分の速度で昇温したときの融解熱曲線における極大値に対応する温度である。

　溶融加工性フッ素樹脂としては、たとえば、テトラフルオロエチレン／フルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）／ヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）共重合体、ＴＦＥ／エチレン共重合体〔ＥＴＦＥ〕、ＴＦＥ／エチレン／ＨＦＰ共重合体、エチレン／クロロトリフルオロエチレン（ＣＴＦＥ）共重合体〔ＥＣＴＦＥ〕、ポリクロロトリフルオロエチレン〔ＰＣＴＦＥ〕、ＣＴＦＥ／ＴＦＥ共重合体、ポリビニリデンフルオライド〔ＰＶｄＦ〕、ＴＦＥ／ビニリデンフルオライド（ＶｄＦ）共重合体〔ＶＴ〕、ポリビニルフルオライド〔ＰＶＦ〕、ＴＦＥ／ＶｄＦ／ＣＴＦＥ共重合体〔ＶＴＣ〕、ＴＦＥ／ＨＦＰ／ＶｄＦ共重合体などが挙げられる。

　溶融加工性フッ素樹脂としては、なかでも、耐薬品性、耐熱性、耐クラック性に優れていることから、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）／フルオロアルキルビニルエーテル（ＦＡＶＥ）共重合体が好ましい。

　ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体は、成形温度が高いこともあって、清浄な内面を有するチューブを製造することが難しい問題がある。本開示の製造方法を用いることにより、ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体を含有するチューブであって、清浄な内面を有するチューブを高い生産性で製造することができる。

　上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体としては、特に限定されないが、ＴＦＥ単位とＦＡＶＥ単位とのモル比（ＴＦＥ単位／ＦＡＶＥ単位）が７０／３０以上９９／１未満である共重合体が好ましい。より好ましいモル比は、７０／３０以上９８．９／１．１以下であり、さらに好ましいモル比は、８０／２０以上９８．９／１．１以下である。ＴＦＥ単位が少なすぎると機械物性が低下する傾向があり、多すぎると融点が高くなりすぎ成形性が低下する傾向がある。

　上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体は、ＴＦＥおよびＦＡＶＥと共重合可能な単量体に由来する単量体単位が０．１～１０モル％であり、ＴＦＥ単位およびＦＡＶＥ単位が合計で９０～９９．９モル％である共重合体であることも好ましい。

　ＴＦＥおよびＦＡＶＥと共重合可能な単量体としては、ＨＦＰ、ＣＺ^３Ｚ^４＝ＣＺ^５（ＣＦ_２）_ｎＺ^６（式中、Ｚ^３、Ｚ^４およびＺ^５は、同一または異なって、ＨまたはＦを表し、Ｚ^６は、Ｈ、ＦまたはＣｌを表し、ｎは２～１０の整数を表す。）で表されるビニル単量体、および、ＣＦ_２＝ＣＦ－ＯＣＨ_２－Ｒｆ^７（式中、Ｒｆ^７は炭素数１～５のパーフルオロアルキル基を表す。）で表されるアルキルパーフルオロビニルエーテル誘導体等が挙げられる。なかでも、ＨＦＰが好ましい。

　上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体としては、ＴＦＥ単位およびＦＡＶＥ単位のみからなる共重合体、および、上記ＴＦＥ／ＨＦＰ／ＦＡＶＥ共重合体からなる群より選択される少なくとも１種が好ましく、ＴＦＥ単位およびＦＡＶＥ単位のみからなる共重合体がより好ましい。

　上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体の融点は、好ましくは２８０～３２２℃であり、より好ましくは２９０℃以上であり、さらに好ましくは２９５℃以上であり、特に好ましくは３００℃以上であり、より好ましくは３１５℃以下である。上記融点は、示差走査熱量計〔ＤＳＣ〕を用いて測定できる。

　上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）は、好ましくは７０～１１０℃であり、より好ましくは８０℃以上であり、より好ましくは１００℃以下である。上記ガラス転移温度は、動的粘弾性測定により測定できる。

　上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体の３７２℃におけるメルトフローレート（ＭＦＲ）は、好ましくは０．１～１００ｇ／１０分であり、より好ましくは０．５ｇ／１０分以上であり、さらに好ましくは１ｇ／１０分以上であり、より好ましくは８０ｇ／１０分以下であり、さらに好ましくは４０ｇ／１０分以下であり、特に好ましくは３０ｇ／１０分以下である。

　上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体としては、一層清浄なチューブが得られること、および成形性に優れることから、少ない官能基数を有する共重合体が好ましく、官能基数は、合計で、炭素原子１０^６個あたり４００個以下であることが好ましい。炭素原子１０^６個あたりの官能基の個数は、より好ましくは２００個以下であり、さらに好ましくは２００個以下であり、特に好ましくは５０個以下であり、より好ましくは１５個以下である。

　上記官能基は、上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体の主鎖末端または側鎖末端に存在する官能基、および、主鎖中または側鎖中に存在する官能基である。上記官能基としては、－ＣＦ＝ＣＦ_２、－ＣＦ_２Ｈ、－ＣＯＦ、－ＣＯＯＨ、－ＣＯＯＣＨ_３、－ＣＯＮＨ_２および－ＣＨ_２ＯＨからなる群より選択される少なくとも１種が好ましい。

　上記官能基の種類の同定および官能基数の測定には、赤外分光分析法を用いることができる。

　官能基数については、具体的には、以下の方法で測定する。まず、上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体を３４０～３５０℃にて３０分間溶融し、圧縮成形して、厚さ０．０５～０．２５ｍｍのフィルムを作製する。このフィルムをフーリエ変換赤外分光分析により分析して、上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体の赤外吸収スペクトルを得、完全にフッ素化されて官能基が存在しないベーススペクトルとの差スペクトルを得る。この差スペクトルに現れる特定の官能基の吸収ピークから、下記式（Ａ）に従って、上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体における炭素原子１×１０^６個あたりの官能基数Ｎを算出する。
　　　Ｎ＝Ｉ×Ｋ／ｔ　　（Ａ）
　　　　Ｉ：吸光度
　　　　Ｋ：補正係数
　　　　ｔ：フィルムの厚さ（ｍｍ）

　参考までに、本開示における官能基について、吸収周波数、モル吸光係数および補正係数を表１に示す。また、モル吸光係数は低分子モデル化合物のＦＴ－ＩＲ測定データから決定したものである。

　－ＣＨ_２ＣＦ_２Ｈ、－ＣＨ_２ＣＯＦ、－ＣＨ_２ＣＯＯＨ、－ＣＨ_２ＣＯＯＣＨ_３、－ＣＨ_２ＣＯＮＨ_２の吸収周波数は、それぞれ表中に示す、－ＣＦ_２Ｈ、－ＣＯＦ、－ＣＯＯＨ　ｆｒｅｅと－ＣＯＯＨ　ｂｏｎｄｅｄ、－ＣＯＯＣＨ_３、－ＣＯＮＨ_２の吸収周波数から数十カイザー（ｃｍ^－１）低くなる。
　従って、たとえば、－ＣＯＦの官能基数とは、－ＣＦ_２ＣＯＦに起因する吸収周波数１８８３ｃｍ^－１の吸収ピークから求めた官能基数と、－ＣＨ_２ＣＯＦに起因する吸収周波数１８４０ｃｍ^－１の吸収ピークから求めた官能基数との合計である。

　上記官能基数は、－ＣＦ＝ＣＦ_２、－ＣＦ_２Ｈ、－ＣＯＦ、－ＣＯＯＨ、－ＣＯＯＣＨ_３、－ＣＯＮＨ_２および－ＣＨ_２ＯＨの合計数であってよい。

　上記官能基は、たとえば、上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体を製造する際に用いた連鎖移動剤や重合開始剤によって、上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体に導入される。たとえば、連鎖移動剤としてアルコールを使用したり、重合開始剤として－ＣＨ_２ＯＨの構造を有する過酸化物を使用したりした場合、上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体の主鎖末端に－ＣＨ_２ＯＨが導入される。また、官能基を有する単量体を重合することによって、上記官能基が上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体の側鎖末端に導入される。

　このような官能基を有する上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体を、フッ素化処理することによって、上記範囲内の官能基数を有する上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体を得ることができる。すなわち、上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体は、フッ素化処理されたものであることが好ましい。また、上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体は、－ＣＦ_３末端基を有することも好ましい。

　上記フッ素化処理は、フッ素化処理されていないＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体とフッ素含有化合物とを接触させることにより行うことができる。

　上記フッ素含有化合物としては特に限定されないが、フッ素化処理条件下にてフッ素ラジカルを発生するフッ素ラジカル源が挙げられる。上記フッ素ラジカル源としては、Ｆ_２ガス、ＣｏＦ_３、ＡｇＦ_２、ＵＦ_６、ＯＦ_２、Ｎ_２Ｆ_２、ＣＦ_３ＯＦ、フッ化ハロゲン（例えばＩＦ_５、ＣｌＦ_３）等が挙げられる。

　上記Ｆ_２ガス等のフッ素ラジカル源は、１００％濃度のものであってもよいが、安全性の面から不活性ガスと混合し５～５０質量％に希釈して使用することが好ましく、１５～３０質量％に希釈して使用することがより好ましい。上記不活性ガスとしては、窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガス等が挙げられるが、経済的な面より窒素ガスが好ましい。

　上記フッ素化処理の条件は、特に限定されず、溶融させた状態のＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体とフッ素含有化合物とを接触させてもよいが、通常、ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体の融点以下、好ましくは２０～２２０℃、より好ましくは１００～２００℃の温度下で行うことができる。上記フッ素化処理は、一般に１～３０時間、好ましくは５～２５時間行う。上記フッ素化処理は、フッ素化処理されていないＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体をフッ素ガス（Ｆ_２ガス）と接触させるものが好ましい。

　上記ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体は、例えば、その構成単位となるモノマーや、重合開始剤等の添加剤を適宜混合して、乳化重合、懸濁重合を行う等の従来公知の方法により製造することができる。

　チューブの外径は、特に限定されないが、２～１００ｍｍであってよく、３～１００ｍｍであってよく、５～５０ｍｍであってよい。上記チューブの厚みは、０．１～１０ｍｍであってよく、０．３～５ｍｍであってよい。

　本開示のチューブは、薬液を流通させるための薬液配管用チューブとして好適に用いることができ、半導体デバイス製造用高純度薬液を移送するために用いる薬液配管用チューブとして特に好適に用いることができる。

　半導体工場においては、半導体デバイスを製造するために用いる超純水や高純度薬液を流通させるためのチューブが多く使用されている。チューブの内面は、空気中に存在する微粒子、ＴＦＥ／ＦＡＶＥ共重合体を溶融成形する際に生じるポリマーヒュームなどの汚染物質により汚染される可能性がある。特に、ナノサイズの汚染物質は、ファンデルワールス力、静電気力などにより、ポリマー内面に付着するので、純水などの洗浄水による除去が困難である。したがって、半導体工場において新しいチューブを用いる場合には、チューブ内を洗浄（フラッシング）するために、多量の超純水や薬液が必要になったり、長時間の洗浄が必要になったりするなどの問題がある。

　本開示のチューブは、上記構成を有することから、汚染物質が内面にほとんど付着しておらず、半導体デバイスを製造するために用いる超純水や高純度薬液を汚染させにくい。本開示のチューブは、このような効果を奏することから、薬液を流通させるための薬液配管用チューブであることが好ましい。上記薬液としては、半導体製造に用いる薬液が挙げられ、たとえば、アンモニア水、オゾン水、過酸化水素水、塩酸、硫酸、レジスト液、シンナー液、現像液などの薬液が挙げられる。

　本開示のチューブは、たとえば、半導体製造用薬液供給ライン、半導体製造用薬液供給設備、半導体洗浄装置、コーターディベロッパーなどの半導体製造設備または半導体製造装置に用いるチューブとして利用することができる。本開示のチューブを半導体製造設備または半導体製造装置に用いることにより、高純度の薬液を確実にユースポイントに供給することができる。本開示のチューブを用いることにより、線幅が５ｎｍ以下の半導体デバイスを製造する場合であっても、半導体デバイスのパーティクルや金属汚染物質による欠陥不良を低減して、半導体デバイスの製造における歩留まりの向上が期待できる。

　以上、実施形態を説明したが、特許請求の範囲の趣旨および範囲から逸脱することなく、形態や詳細の多様な変更が可能なことが理解されるであろう。

　つぎに本開示の実施形態について実施例をあげて説明するが、本開示はかかる実施例のみに限定されるものではない。

　各実験例において、溶融加工性フッ素樹脂として、以下の樹脂を用いた。
　　　ＰＦＡ（１）：ダイキン工業製　ネオフロン（登録商標）　ＰＦＡ　ＡＰ－２３０ＳＨ
　　　　　　テトラフルオロエチレン／パーフルオロ（プロピルビニルエーテル）共重合体
　　　　　　メルトフローレート（ＭＦＲ）２．０ｇ／１０ｍｉｎ
　　　　　　融点３０７℃

　ＭＦＲは、ＡＳＴＭ　Ｄ１２３８に従って、メルトインデクサー（安田精機製作所社製）を用いて、３７２℃、５ｋｇ荷重下で、内径２．１ｍｍ、長さ８ｍｍのノズルから１０分間あたりに流出する共重合体の質量（ｇ／１０分）を測定することにより、求めた。

　融点は、示差走査熱量計〔ＤＳＣ〕を用いて、１０℃／分の速度で昇温したときの融解熱曲線における極大値に対応する温度として求めた。

実験例１～５
（フッ素樹脂チューブの成形）
　ＰＦＡ（１）を用い、図１に示すチューブ製造装置を用いて、表２に示す成形条件にて外径６．３５ｍｍ、内径４．３５ｍｍの無延伸チューブを製造した。押出成形機１０として、スクリュ径φ３０ｍｍの溶融押出成形機（田辺プラスチックス社製）を使用した。評価方法を以下に示す。また、評価結果を表２に示す。

（１）ガス供給可否
　巻取リール７５に巻き取られたチューブの先端からチューブの中空部にガスを供給し、バブリング装置（逆流防止装置３０）中で発生する気泡の有無を確認した。気泡の発生は、供給したガスが、金型２０に設けられたガス排出孔を通して、金型２０の外部に排出されていることを意味する。
評価基準
　　　〇：気泡が確認できた
　　　×：気泡が確認できなかった

（２）チューブ成形可否
　無延伸チューブの長さを測定し、以下の基準で評価した。２０ｍ以上のチューブが得られた実験例においては、チューブの連続成形が可能であり、高い生産性で無延伸チューブを製造できた。２０ｍ未満のチューブしか得られなかった実験例においては、金型２０とサイジングダイ４０との間で、金型２０から押し出されたチューブが破れ、連続成形が不可能であった。
評価基準
　　　〇：チューブ長が２０ｍ以上であった
　　　×：チューブ長が２０ｍ未満であった

（３）チューブ寸法安定性
　図１に示す冷却装置（冷却水槽）５０と引取機６０との間に外径測定器（ＫＥＹＥＮＣＥ製、商品名ＬＳ－９０３０）を設置し、得られたチューブのうち、任意の２０ｍ分の範囲の外径を測定し、以下の基準で評価した。
評価基準
　　　〇：測定した範囲のチューブの全部の外径が６．３５±０．１０ｍｍの範囲内であった
　　　×：測定した範囲のチューブの一部の外径が６．３５±０．１０ｍｍの範囲外であった

１　　　　チューブ
２　　　　中空部
１００　　チューブ製造装置
１０　　　押出成形機
２０　　　金型
３０　　　逆流防止装置
４０　　　サイジングダイ
５０　　　冷却装置（冷却水槽）
６０　　　引取機
７０　　　巻取装置
７１　　　リードチューブ
８０　　　ガス供給装置

Claims

　押出成形機に備えられた金型からチューブ状に押し出された溶融加工性フッ素樹脂を、冷却装置に導いて冷却した後、巻取装置を用いて、冷却されたチューブを巻取リールに巻き取るチューブの製造方法であって、
　前記巻取リールに巻き取られた前記チューブの先端から前記チューブの中空部にガスを供給し、前記金型に設けられたガス導入口から、前記中空部のガスを、前記金型に設けられたガス排出孔を通して、外部に排出することによって、前記中空部にガスを流通させるとともに、前記中空部の内圧を、大気圧よりも高く、０．５ｋｇｆ／ｃｍ^２よりも低い圧力に保つ製造方法。
　前記中空部に供給するガスが、フィルターを通過させたガスである請求項１に記載の製造方法。
　前記中空部に供給するガスが、フィルターを通過させた空気である請求項１または２に記載の製造方法。
　前記溶融加工性フッ素樹脂の押し出しを停止した後、チューブの任意の二箇所を溶着し、切断することによって、ガスが封入されているチューブを製造する請求項１～３のいずれかに記載の製造方法。
　前記押出成形機が、前記金型および逆流防止装置を備えており、
　前記金型が、前記溶融加工性フッ素樹脂をチューブ状に吐出する樹脂吐出口と、チューブ状の前記溶融加工性フッ素樹脂の中空部のガスを、前記金型に設けられたガス排出孔に導入するガス導入口と、前記ガス導入口から導入した前記ガスを前記金型の外部に排出するガス排出孔と、を備えており、
　前記金型の前記ガス排出孔の下流側に、前記ガスの逆流を防止する前記逆流防止装置が接続されている
請求項１～４のいずれかに記載の製造方法。
　前記金型が、前記溶融加工性フッ素樹脂をチューブ状に吐出する樹脂吐出口と、チューブ状の前記溶融加工性フッ素樹脂の中空部のガスを、前記金型に設けられたガス排出孔に導入するガス導入口と、前記ガス導入口から導入した前記ガスを前記金型の外部に排出するガス排出孔と、を備えており、
　前記ガス導入口が、前記ガス排出孔から前記ガス導入口に向かって、開口径が大きくなるように形成されている
請求項１～５のいずれかに記載の製造方法。
　前記巻取装置が、
　前記チューブの中空部にガスを供給するガス供給口と、
　前記ガス供給口よりも下流側に設けられており、前記ガス供給口から供給されるガス中の汚染物質を除去する１個以上のフィルターと、
　前記フィルターよりも下流側に設けられており、前記チューブを接続するチューブ接続口と、
　前記チューブを巻き付ける巻取リールと、
を備える請求項１～６のいずれかに記載の製造方法。
　前記巻取装置が、
　前記チューブの中空部にガスを供給するガス供給口と、
　前記ガス供給口に接続されており、巻き取る前の前記チューブの先端を前記ガス供給口と接続するリードチューブと、
　前記チューブおよび前記リードチューブを巻き付ける巻取リールと、
を備える請求項１～７のいずれかに記載の製造方法。
　前記巻取装置が、リードチューブを備えており、前記リードチューブに前記ガスを供給しながら、前記リードチューブの先端を、前記金型から押し出された前記溶融加工性フッ素樹脂の先端と接続することにより、前記チューブの中空部に前記ガスを供給する請求項１～８のいずれかに記載の製造方法。
　前記リードチューブを、前記巻取装置から前記金型まで送り出した状態で、前記リードチューブの先端を、前記金型から押し出された前記溶融加工性フッ素樹脂の先端と接続した後、前記金型からの前記溶融加工性フッ素樹脂の連続的な押し出し、および、前記リードチューブおよび冷却された前記チューブの巻き取りを開始する、請求項９に記載の製造方法。
　前記溶融加工性フッ素樹脂が、テトラフルオロエチレン／フルオロアルキルビニルエーテル共重合体である請求項１～１０のいずれかに記載の製造方法。
　溶融加工性フッ素樹脂をチューブ状に成形する金型および逆流防止装置を備える押出成形機であって、
　前記金型が、前記溶融加工性フッ素樹脂をチューブ状に吐出する樹脂吐出口と、前記チューブ状の溶融加工性フッ素樹脂の中空部のガスを、前記金型に設けられたガス排出孔に導入するガス導入口と、前記ガス導入口から導入した前記ガスを前記金型の外部に排出するガス排出孔と、を備えており、
　前記金型の前記ガス排出孔の下流側に、前記ガスの逆流を防止する前記逆流防止装置が接続されている
押出成形機。
　前記逆流防止装置が、バブリング装置である請求項１２に記載の押出成形機。
　溶融加工性フッ素樹脂をチューブ状に成形する押出成形用金型であって、
　前記金型が、前記溶融加工性フッ素樹脂をチューブ状に吐出する樹脂吐出口と、前記チューブ状の溶融加工性フッ素樹脂の中空部のガスを、前記金型に設けられたガス排出孔に導入するガス導入口と、前記ガス導入口から導入した前記ガスを前記金型の外部に排出するガス排出孔と、を備えており、
　前記ガス導入口が、前記ガス排出孔から前記ガス導入口に向かって、開口径が大きくなるように形成されている
押出成形用金型。
　前記ガス導入口が、逆テーパー状である請求項１４に記載の押出成形用金型。
　チューブを巻き取る巻取装置であって、
　前記チューブの中空部にガスを供給するガス供給口と、
　前記ガス供給口よりも下流側に設けられており、前記ガス供給口から供給されるガス中の汚染物質を除去する１個以上のフィルターと、
　前記フィルターよりも下流側に設けられており、前記チューブを接続するチューブ接続口と、
　前記チューブを巻き付ける巻取リールと、
を備える巻取装置。
　直列に連結された２個以上の前記フィルターを備え、前記フィルターのろ過精度がお互いに異なる請求項１６に記載の巻取装置。
　前記ガス供給口よりも下流側であって、前記フィルターよりも上流側に設けられた回転継手をさらに備える請求項１６または１７に記載の巻取装置。
　チューブを巻き取る巻取装置であって、
　前記チューブの中空部にガスを供給するガス供給口と、
　前記ガス供給口に接続されており、巻き取る前の前記チューブの先端を前記ガス供給口と接続するリードチューブと、
　前記リードチューブを巻き付ける巻取リールと、
を備える巻取装置。
　前記リードチューブの長さが、３ｍ以上である請求項１９に記載の巻取装置。
　溶融加工性フッ素樹脂を含有するチューブであって、両末端が封止されており、中空部にフィルターを通過させたガスが封入されているチューブ。
　両末端が溶着されている請求項２１に記載のチューブ。
　前記チューブの内面が、フィルターを通過させていないガスと接触したことがない請求項２１または２２に記載のチューブ。
　２５ｍ以上の長さを有する請求項２１～２３のいずれかに記載のチューブ。
　巻取リールに巻かれている請求項２１～２４のいずれかに記載のチューブ。