JP2008038938A - 静圧形ノンコンタクトガスシール - Google Patents
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Abstract
【構成】静止密封環10に、機械加工により、軸線が屈曲部を有しない直線をなして回転密封環8との対向端面13へと貫通する密封環側通路37を形成して、この密封環側通路37から両密封環8,10の対向端面12,13間にシールガスGを供給させる。密封環側通路37の少なくとも中間部分には、内周面が平滑でシールガスGとの接触によりパーティクルを発生しないパイプ41が密に嵌挿固着されている。
【選択図】図2
Description
3 カバー体(回転機器の静止側部材)
4 静圧形ノンコンタクトガスシール
6 支持機枠(回転機器の静止側部材)
8 回転密封環
9 シールケース
10 静止密封環
11 シールガス通路
12 回転密封環の密封端面
13 静止密封環の密封端面
14 開力発生手段
15 閉力発生手段
16 シールケース本体
17 シールフランジ
21 第一Oリング
22 第二Oリング
23 第一密封環側シール面
25 第二密封環側シール面
27 環状突起
34 ケース側通路
35 ケース側通路
36 静圧発生溝
37 密封環側通路
38 シールガス導入面
41 パイプ
42 密封環側通路の上流側開口部
43 密封環側通路の下流側開口部
44 密封環側通路の中間部分
A 処理領域
B ケース内領域
D1 第一密封環側シール面の径
D2 第二密封環側シール面の径
G シールガス
Claims (8)
- 回転機器の回転側部材に回転密封環を設け、当該回転機器の静止側部材に取り付けたシールケースに、静止密封環を回転密封環と対向して軸線方向移動可能に保持し、静止密封環に、機械加工により、外周面から回転密封環との対向端面たる密封端面へと貫通する密封環側通路を形成し、この密封環側通路から両密封環の対向端面である密封端面間にシールガスを供給させることにより、当該密封端面間を非接触状態に保持させるように構成された静圧形ノンコンタクトガスシールにおいて、
密封環側通路を、その軸線が屈曲部を有しない直線をなすものとしたことを特徴とする静圧形ノンコンタクトガスシール。 - 静止密封環がカーボン製のものであることを特徴とする、請求項1に記載する静圧形ノンコンタクトガスシール。
- 密封環側通路の少なくとも中間部分に、内周面が平滑でシールガスとの接触によりパーティクルを発生しないパイプを密に嵌挿固着してあることを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載する静圧形ノンコンタクトガスシール。
- 密封環側通路の内表面を、コーティング層で被覆してあることを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載する静圧形ノンコンタクトガスシール。
- 密封環側通路の下流端が、静止密封環の密封端面に形成した静圧発生溝に開口されていることを特徴とする、請求項1〜請求項4の何れかに記載する静圧形ノンコンタクトガスシール。
- シールケースの内周面と静止密封環の外周面との間に形成された環状空間であって当該内外周面間に装填された第一及び第二Oリングによって閉塞された接続空間に、密封環側通路の上流端及びシールケースに形成したケース側通路の下流端を連通させて、シールガスをケース側通路から接続空間を介して密封環側通路へと供給するようになし、静止密封環の外周面に、第一Oリングが接触する第一密封環側シール面とこれより回転密封環側に位置する第二Oリングが接触する第二密封環側シール面と両密封環側シール面間に位置して密封環側通路の軸線に直交する截頭円錐状のシールガス導入面とを形成して、このシールガス導入面に当該密封環側通路の上流端を開口させてあることを特徴とする、請求項1〜請求項5に記載する静圧形ノンコンタクトガスシール。
- 第一密封環側シール面を第二密封環側シール面より小径として、接続空間に作用するシールガス圧力によって静止密封環を回転密封環へと押圧する推力が発生するように構成したことを特徴とする、請求項6に記載する静圧形ノンコンタクトガスシール。
- 回転側部材が回転テーブルであり、回転密封環が当該回転テーブルの一部で構成されていることを特徴とする、請求項1〜請求項7の何れかに記載する静圧形ノンコンタクトガスシール。
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