JP7432101B2 - 気体処理装置及び気体処理方法 - Google Patents

Description

本発明は、気体処理装置及び気体処理方法に関し、特にＶＯＣ（Ｖｏｌａｔｉｌｅ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ：揮発性有機化合物）を含むガスを処理するための気体処理装置及び気体処理方法に関する。

従来、地球環境や人体に影響を及ぼす可能性があるガスが問題視されており、自動車や工場等における排ガスに対しては、一定の規制が設けられている。また、屋内においても、実験設備や医療現場等、特定の薬剤を利用する可能性がある場所においては、ＶＯＣの排出規制が設けられているところが多い。

近年では、ＶＯＣの排出規制を遵守すべく、ＶＯＣを分解処理する装置の開発が行われており、その構成の一つとして、特に紫外線を用いた処理装置が開発されている。例えば、下記特許文献１には、処理対象ガスに含まれる酸素に所定の波長帯の紫外線を照射することでオゾンを発生させ、ＶＯＣをオゾンと反応させることによって処理を行う気体処理装置が記載されている。

特開２００６－２９６９８０号公報

オゾンは、ＶＯＣ等の処理に重要な役割を果たすが、有臭であり、人体に悪影響を及ぼすことが知られている。そのため、オゾンを用いてＶＯＣの処理を行う気体処理装置の多くは、上記特許文献１に記載の気体処理装置のように、処理したガスを排出する排気口からオゾンを排出しないように、オゾンを吸着又は分解するためのオゾンフィルタを備えている。

ところが、オゾンフィルタは、オゾンのみを選択的に吸着させることが難しく、処理できなかったＶＯＣをも吸着させてしまう。これは、オゾンフィルタの特性ではなく、ＶＯＣが物質の表面に触れると、付着し、堆積していってしまう特性による。

ＶＯＣがオゾンフィルタの表面に付着し、堆積していくと、オゾンを吸着することができる面が縮小し、吸着力の低下を招いてしまう。また、オゾンフィルタの表面に付着したＶＯＣの一部は、ガス流路内に発生している気流によってオゾンフィルタの表面から引き離され、処理されたガスと共に排気口から排出されてしまう。

つまり、上記特許文献１に記載されているような気体処理装置では、何らの制御をすることもなく使用していると、処理されていないＶＯＣがオゾンフィルタの表面に堆積する。そして、オゾンフィルタの表面に堆積したＶＯＣは、ガス流路内に発生している気流によって少しずつオゾンフィルタから引き離され、徐々に排気口から排出される。つまり、一部のＶＯＣを気体処理装置の外部に排出してしまうことになる。

本発明は、上記課題に鑑み、オゾンを吸着させるフィルタに付着するＶＯＣの量を抑制し、長期にわたって排出されるＶＯＣを低濃度に維持させることができる気体処理装置及び気体処理方法を提供することを目的とする。

本発明の気体処理装置は、
吸気口から吸気された、酸素を含む処理対象ガスに対して処理を行った後、前記吸気口とは異なる位置に設けられた排気口から排気する気体処理装置であって、
前記吸気口と前記排気口とを連絡するように構成されたガス流路と、
前記処理対象ガスを前記吸気口側から前記排気口側に向かって通流させる送風装置と、
前記ガス流路内に配置され、波長が２３０ｎｍ以下の紫外線を放射する紫外線光源と、
前記ガス流路内において、前記紫外線光源よりも前記排気口側に配置され、少なくともオゾンを吸着するフィルタと、
前記送風装置の動作制御を行う制御部とを備え、
前記制御部は、前記紫外線光源から前記紫外線の放射が開始した後に、前記送風装置の送風動作を開始させることを特徴とする。

本発明の気体処理装置は、例えば、ホルマリン等の薬液を用いて作業を行うドラフトチャンバの一部や、実験室の排気ダクト等に用いられ、処理対象ガスを吸気口から取り込み、排気口に向かって通流させながら、紫外線光源から放射された紫外線により発生したオゾンやラジカルに、処理対象ガスを接触させることよって処理を行う。

オゾンは、上述のように、処理対象ガスに含まれる酸素に、紫外線光源から放射された紫外線が照射されることで発生する。なお、酸素に紫外線を照射してオゾンを発生させるため、紫外線光源は、フォトンエネルギーによって酸素からオゾンを生成可能な２３０ｎｍ以下の波長の紫外線を放射できるものであることが好ましい。

処理対象ガスは、酸素と共に送風装置によって吸気口からガス流路内に取り込まれて、紫外線光源の周辺を通流する。この時、紫外線光源から放射される波長が２３０ｎｍ以下の紫外線が処理対象ガスに含まれる酸素に照射されることでオゾンが発生する。処理対象ガスは、当該オゾンとの反応によって分解処理が行われる。その後、処理対象ガスは、フィルタを通流して排気口から排出ガスとして排出される。ここで、処理に寄与しなかったオゾンは、フィルタによって吸着、分解されるため、排気口から高濃度のまま排出されることはない。

つまり、吸気口からガス流路内に取り込まれた処理対象ガスを処理するためには、処理対象ガスが紫外線光源の周辺に到達した時に、紫外線光源から紫外線が放射されていなければならない。処理対象ガスが紫外線光源に到達した時に紫外線光源が紫外線を放射していなければ、オゾンが発生しないため処理対象ガスは処理されず、そのままフィルタに向かって通流されてしまう。そうすると、処理対象ガスに含まれるＶＯＣが、フィルタに付着する、もしくは、排気口からそのまま排出されてしまう。

上記の構成とすることで、送風装置の送風動作が開始した時点で、紫外線光源から紫外線が放射されているため、吸気口から取り込まれた処理対象ガスが、紫外線の放射を開始していない状態の紫外線光源の周囲を通過して、フィルタまで通流されることがなくなる。

また、制御部は、紫外線光源から紫外線の放射が開始した後で、送風装置の送風動作を開始させるように制御するため、作業者が操作を誤って、先に送風装置の送風動作を開始させるおそれがなくなる。さらに、紫外線光源が消灯し、送風装置が送風動作を行っている状態から起動させる場合においても、送風装置の送風動作が停止するまで待機した後で、上述のように、紫外線光源から紫外線の放射が開始した後に、送風装置の送風動作を開始させることもできる。

なお、自然対流による通流、又は、送風装置の送風動作が、誤って紫外線光源の紫外線の放射よりも先に開始されてしまった場合等、紫外線光源が紫外線を放射する前に処理対象ガスがフィルタまで通流してしまうことに対応するため、紫外線光源から紫外線が放射されるまで、ガス流路の通流を遮断するための機構（例えば、遮風板やシャッター等）が設けられていても構わない。これにより、処理されずにフィルタに向かって通流され、フィルタに付着してしまうＶＯＣの量を、さらに抑制することができる。

上記気体処理装置の前記制御部は、前記紫外線光源から前記紫外線の放射が停止した後に、前記送風装置の送風動作を停止させるものであっても構わない。

気体処理装置を停止する場合、紫外線光源から紫外線の放射が停止する前に送風装置の送風動作を停止させると、ガス流路内の処理対象ガスの通流は停止するが、紫外線光源から放射される紫外線によってオゾンは生成され続ける。この時、紫外線光源から放射される紫外線によって生成されたオゾンは、紫外線光源周辺に留まっているＶＯＣが存在すれば、それらと反応して消滅する。

しかし、送風装置の送風動作は停止しており、吸気口から新たな処理対象ガスがほとんど取り込まれず、ガス流路内の気流も停止しているため、ガス流路内で発生したオゾンは、ＶＯＣと反応することなく、フィルタに向かって送風されることもない。つまり、次々にガス流路内で生成されるオゾンは、次第にガス流路内を拡散していき、最終的には一部が吸気口から外部に漏れ出すおそれがある。

上述の通り、オゾンは、有臭であり、人体に悪影響を及ぼすため、気体処理装置の外部に排出されることは好ましくなく、ガス流路内で発生したオゾンは、できる限りオゾンフィルタによって吸着、分解されることが好ましい。

そこで、上記の構成とすることで、紫外線光源が紫外線の放射し、ガス流路内でオゾンが生成されている間は、送風装置が送風動作を継続している状態となる。したがって、ガス流路内で発生したオゾンは、オゾンフィルタに向かって送風されることとなり、吸気口側に向かって拡散し、吸気口からオゾンが漏れ出すおそれがなくなる。

仮に、制御部によって上記の制御が行われないとすると、作業者によって、紫外線光源の点灯を停止させる指示と、送風装置の送風動作を停止させる指示とを、個別に行う必要が生じる場合がある。このとき、作業者が誤って、紫外線光源の点灯を停止させるよりも前に、送風装置の送風動作を停止させてしまう可能性が考えられる。しかし、上記構成によれば、紫外線光源から紫外線の放射が停止した後、制御部によって自動的に送風装置に送風動作が停止される制御が行われるため、このような事態の招来を防止できる。さらに、紫外線光源が点灯し、送風装置が送風動作を行っていない状態から停止させる場合においても、送風装置の送風動作が停止するまで待機した後で、上述のように、紫外線光源から紫外線の放射が停止した後に、送風装置の送風動作を停止させることもできる。

上記気体処理装置の前記制御部は、前記紫外線光源の点灯制御を行うものであっても構わない。

上記の構成とすることで、紫外線光源を点灯させてから送風装置の送風動作を開始させるまでの制御のシーケンス、及び紫外線光源を消灯させてから送風装置の送風動作を停止させるまでの制御のシーケンスを設定することができる。

例えば、紫外線光源を点灯させてから、数百ミリ秒～数秒後に送風装置の送風動作を開始させるように制御することで、紫外線光源の発光が開始し、紫外線光源から紫外線が放射され始めるまで十分な時間を確保することができる。また、紫外線光源を消灯させてから、数秒～数分後に送風装置の送風動作を停止させるように制御することで、オゾンの発生が停止した後に流路内に残存しているオゾンをフィルタ側に送風させて、オゾンを吸着、分解処理するための十分な時間を確保することができる。

上記気体処理装置は、
作業者によって操作可能に構成された動作指示部を有し、
作業者が前記動作指示部によって動作開始の操作を行うと、
前記動作指示部は、前記制御部に対して処理開始信号を送信し、
前記制御部は、前記動作指示部から送信される前記処理開始信号を受信すると、前記紫外線光源を点灯させる第一制御と、前記第一制御の実行後に前記送風装置の送風動作を開始させる第二制御を行うものであっても構わない。

さらに、上記気体処理装置は、
前記紫外線光源が点灯している時に、作業者が前記動作指示部によって動作停止の操作を行うと、
前記動作指示部は、前記制御部に対して処理停止信号を送信し、
前記制御部は、前記動作指示部から送信される前記処理停止信号を受信すると、前記紫外線光源を消灯させる第三制御と、前記第三制御の実行後に前記送風装置の送風動作を停止させる第四制御を行うものであっても構わない。

上記の構成とすることで、動作指示部を操作するだけで、気体処理装置を適切なシーケンスで起動させることができ、さらには、気体処理装置を適切なシーケンスで停止させることもできる。したがって、作業者による操作ミス等を防ぐことができる。

また、気体処理装置を停止させる場合に、作業者が動作指示部を操作した後、紫外線光源を消灯させるまでに、所定の時間だけ紫外線光源からの紫外線の放射と、送風装置の送風動作を継続するように構成されていても構わない。このような構成とすることで、作業スペースやドラフトチャンバ内に残存している処理対象ガスを十分に処理することができる。

上記気体処理装置の前記紫外線光源は、主たる発光波長が１７２ｎｍの紫外線を放射するエキシマランプであっても構わない。

処理対象ガスに含まれる物質には、オゾンによって分解処理しにくい物質も存在する。例えば、ホルムアルデヒド等はオゾンでは分解処理されにくく、主に処理対象ガスに含まれている水分に紫外線が照射されることによって発生するヒドロキシラジカルで分解処理が行われる。

紫外線光源が合成石英ガラスで形成された管体内にＸｅを含む放電用ガスが充填されて構成されたエキシマランプとすることで、電極間に電圧を印加すると主たる発光波長が１７２ｎｍの紫外線を放射することができる。紫外線光源が放射する紫外線の主たる発光波長が１７２ｎｍであれば、オゾンとヒドロキシラジカルのいずれも生成することができる。

本発明の気体処理方法は、
吸気口から吸気されてガス流路を通流する、酸素を含む処理対象ガスに対して、処理を行った後、少なくともオゾンを吸着するフィルタを通流させて前記吸気口とは異なる位置に設けられた排気口から排気する気体処理方法であって、
前記紫外線光源から前記紫外線の放射を開始させる工程（Ａ）と、
前記工程（Ａ）の実行後、前記ガス流路内を前記吸気口から前記排気口に向かって前記処理対象ガスを通流させるための送風装置の送風動作を開始させる工程（Ｂ）とを含むことを特徴とする。

上記の方法とすることで、上述の記載のように、送風装置の送風動作が開始し、吸気口から取り込まれた処理対象ガスが、紫外線の放射を開始していない状態の紫外線光源の周囲を通過して、フィルタまで通流されることがなくなる。

上記気体処理方法は、
前記紫外線光源から前記紫外線の放射を停止させる工程（Ｃ）と、
前記工程（Ｃ）の実行後、前記ガス流路内を前記吸気口から前記排気口に向かって前記処理対象ガスを通流させるための前記送風装置の送風動作を停止させる工程（Ｄ）とを含んでいても構わない。

上記の方法とすることで、上述の記載のように、紫外線光源が紫外線の放射し、ガス流路内でオゾンが生成されている間は、送風装置が送風動作を継続している状態となる。したがって、ガス流路内で発生したオゾンは、フィルタ側に向かって通流されるため、吸気口からオゾンが漏れ出すおそれがなくなる。

本発明によれば、オゾンを吸着させるフィルタに付着するＶＯＣの量を抑制し、長期にわたって排出されるＶＯＣを低濃度に維持させることができる気体処理装置及び気体処理方法が実現される。

気体処理装置の一実施形態を模式的に示す側面断面図である。 図１の気体処理装置を紫外線光源の中央部においてＹＺ平面で切断した時の断面図である。 制御部の制御順序を示すフローチャートである。 制御部の制御を時系列に示すタイミングチャートである。 実施例１の検証結果を示すグラフである。 比較例１の検証結果を示すグラフである。 気体処理装置の別実施形態を紫外線光源の中央部においてＹＺ平面で切断した時の断面図である。 気体処理装置の別実施形態を紫外線光源の中央部においてＹＺ平面で切断した時の断面図である。

以下、本発明の気体処理装置及び気体処理方法について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図面は、いずれも模式的に図示されたものであり、図面上の寸法比や個数は、実際の寸法比や個数と必ずしも一致していない。

図１は、気体処理装置１の一実施形態を模式的に示す側面断面図である。この気体処理装置１は、ＶＯＣ及び酸素を含む処理対象ガスＧ１（すなわち、ＶＯＣを含む空気）に対して処理を行って、ＶＯＣの濃度を低下させる用途に利用されることが想定されている。図１に示すように、気体処理装置１は、外部から処理対象ガスＧ１を取込む吸気口１０と、排出ガスＧ２を外部へ排出する排気口１１と、吸気口１０と排気口１１とを連絡するように構成されたガス流路１２と、作業者が気体処理装置１の処理開始の操作と処理停止の操作を行うための動作指示部１３を備える。動作指示部１３は、例えば作業者によって操作可能なスイッチ、ボタンなどの物理的要素で構成されていても構わないし、タッチパネルなどで構成されていても構わない。

また、ガス流路１２内には、処理対象ガスＧ１を吸気口１０側から排気口１１側に向かって通流させるための送風装置１４と、オゾンを発生させるために、処理対象ガスＧ１に含まれる酸素に対して紫外線Ｌ１を照射する紫外線光源１５と、ガス流路１２内の紫外線光源１５よりも排気口１１側に、紫外線光源１５によって生成されたオゾンを吸着するためのフィルタ１６が配置されている。さらに、気体処理装置１は、動作指示部１３から処理開始信号を受信して、紫外線光源１５の点灯制御と送風装置１４の動作制御を行う制御部１７を備えている。

ここで、以下の説明においては、図１に示すように、吸気口１０から排気口１１に向かう方向をＸ方向とし、これに直交する面をＹＺ平面として説明する。

ガス流路１２は、図１に示すようなＸ方向に延伸する形状でなくてもよく、湾曲した形状や、流路の途中で通流する方向が変わるように構成されていても構わない。また、送風装置１４は、例えば、送風用ファンである。送風装置１４は、処理対象ガスＧ１を吸気口１０側から排気口１１側に通流させる機能を有している限りにおいて、ガス流路１２内に配置されていなくても構わない。

図２は、図１の気体処理装置１を紫外線光源１５の中央部においてＹＺ平面で切断した時の断面図である。図１及び図２に示すように、本実施形態における紫外線光源１５は、合成石英ガラスで形成された円筒状の管体２０内にＸｅを含む放電用ガスが充填されたエキシマランプであり、管軸がＸ方向に沿うように配置されている。

図１及び図２に示すように、エキシマランプである紫外線光源１５は、管体２０のＸ方向に向かって見た時の形状が矩形状を呈し、対向する側面に電極（２１ａ，２１ｂ）が形成されている、扁平管形状と称される形状のエキシマランプであって、電極（２１ａ，２１ｂ）間に電圧を印加すると主たる発光波長が１７２ｎｍの紫外線Ｌ１が放射される。なお、紫外線光源１５は、ガス流路１２内に複数本配置されていてもよい。

フィルタ１６は、オゾンを吸着させるフィルタ１６として、例えば、触媒フィルタ等が用いられ、格子構造、ハニカム構造、又はチップ状の吸着剤が敷き詰められたもの等であってもよい。

図３は、制御部１７の制御順序を示すフローチャートである。図４は、制御部１７の制御を時系列に示すタイミングチャートである。図３及び図４に示すように、作業者が、動作指示部１３によって動作開始の操作を行うと、動作指示部１３から制御部１７に対して処理開始信号が送信される（Ｓ１）。

制御部１７は、動作指示部１３から送信された処理開始信号を受信すると、紫外線光源１５を点灯させる制御（第一制御）を行い（Ｓ２）、その後、紫外線光源１５が紫外線Ｌ１を放射するために必要な時間ｔ１が経過したところで、送風装置１４の送風動作を開始させる制御（第二制御）を行う（Ｓ３）。

紫外線光源１５が点灯し、送風装置１４の送風動作が開始した後は、作業者は、薬剤等を用いて実験等を行うことができる。気体処理装置１は、薬剤等から発生したＶＯＣ等を含む処理対象ガスＧ１を吸気口１０から取り込み、排気口１１に向かって通流させながら、紫外線光源１５から放射された紫外線Ｌ１により発生したオゾンやラジカルに、処理対象ガスＧ１を接触させることよって処理を行う。処理に用いられなかったオゾンは、フィルタ１６によって吸着、分解される。これにより、排出ガスＧ２は、清浄な空気として排気口１１を通じて気体処理装置１の外部へと排出される。

作業者が作業を終えて、動作指示部１３によって動作停止の操作を行うと、動作指示部１３から制御部１７に対して処理停止信号が送信される（Ｓ４）。制御部１７は、動作指示部１３から送信される処理停止信号を受信すると、所定の時間ｔ２だけ紫外線光源１５の点灯と送風装置１４の送風動作を継続させた（Ｓ５）後、紫外線光源１５を消灯させる制御（第三制御）を行う（Ｓ６）。その後、制御部１７は、ガス流路１２内のオゾンが、十分にフィルタ１６に吸着、分解されるために必要な時間ｔ３が経過したところで、送風装置１４の送風動作を停止させる制御（第四制御）を行い（Ｓ７）、動作が終了する。

それぞれの時間は、例えば、タイマ、又はシーケンサ等によって制御される。本実施形態の気体処理装置１は、紫外線光源１５を点灯させる制御を行ってから、送風装置１４の送風動作を開始させるまでの時間ｔ１を１秒とした。また、本実施形態では、制御部１７が処理停止信号を受信した後、処理動作を継続させる時間ｔ２を１時間とし、紫外線光源１５を消灯させる制御を行ってから、送風装置１４の送風動作を停止させるまでの時間ｔ３を１分とした。

上記の構成とすることで、処理対象ガスＧ１が、点灯していない紫外線光源１５の周囲を通過してフィルタ１６へと通流されることも、吸気口１０からオゾンが漏れ出すおそれもなくなる。さらに、作業者は、動作指示部１３を操作するだけで、気体処理装置１を適切なシーケンスで起動と停止をさせることができ、操作ミス等を防ぐことができる。

本発明の気体処理装置１は、処理対象ガスＧ１が、点灯していない紫外線光源１５の周囲を通過してフィルタ１６へと通流されることがないため、フィルタ１６に付着してしまう処理対象ガスＧ１に含まれるＶＯＣの量を最小限に抑えることができ、排気口１１から排出される処理対象ガスＧ１に含まれるＶＯＣの量も抑制することができる。さらに、フィルタ１６に付着してしまう処理対象ガスＧ１に含まれるＶＯＣの量を最小限に抑えることができるため、フィルタ１６を長期にわたって使用することができる。

［検証］
上記の実施形態の効果を示すために、上述の実施形態の制御順序と、上述の実施形態の制御順序とは逆の制御手順とで、気体処理装置１を起動してから、排気口１１から排出されるＶＯＣの量の比較検証を行った結果を示す。なお、本検証は、処理対象ガスＧ１に含まれる処理対象物質としてのＶＯＣをホルムアルデヒドとして行った。

（検証方法）
ガス流路１２内に紫外線光源１５と、紫外線光源１５よりも排気口側にフィルタ１６を配置し、１４～２２ｐｐｍのホルムアルデヒドを含む空気を処理対象ガスＧ１として、吸気口１０からガス流路１２内に１０００Ｌ／分の流量で通流させ、紫外線光源１５を点灯させた時から、排気口１１より排出される排出ガスＧ２に含まれるホルムアルデヒドの濃度の時間変化を計測した。

ガス流路１２は、吸気口１０から排気口１１までの長さを５．０ｍとし、吸気口１０から４．５ｍの位置に送風装置１４、吸気口１０から１．０ｍの位置に１本の紫外線光源１５、吸気口１０から２．０ｍの位置にフィルタ１６を配置した。

紫外線光源１５は、図２にしめすような扁平管形状のエキシマランプとし、フィルタ１６は、アルミニウムからなる金属製のハニカム構造体の基材に触媒として二酸化マンガンを担持させてなる触媒フィルタとした。

（実施例１）
紫外線光源１５を点灯させ、その後、１分が経過したところで、送風装置１４の送風動作を開始させた。

（比較例１）
送風装置１４の送風動作を開始させ、その後、１分が経過したところで、紫外線光源１５を点灯させた。

（結果）
図５は、比較例１の検証結果を示すグラフである。図５のグラフが示すように、比較例１では、検証開始直後は、排気口１１でのホルムアルデヒド濃度は１５．３ｐｐｍであり、吸気口１０でのホルムアルデヒド濃度からは僅かに減少しただけである。これは、検証開始直後は、紫外線光源１５が点灯していないため、吸気口１０からガス流路１２内に取り込まれた処理対象ガスＧ１が、ほぼそのまま排気口１１から排出されてしまうことによる。

そのまま、排気口１１でのホルムアルデヒド濃度を計測した結果は、５分後で１．５４ｐｐｍ、１５分後で０．３１ｐｐｍ、２５分後で０．２１ｐｐｍであった。気体処理装置１を２５分動作させ続けたとしても排気口１１から排出される排出ガスＧ２のホルムアルデヒド濃度は０．１ｐｐｍ以下まで低下できていない。

図６は、実施例１の検証結果を示すグラフである。図６のグラフが示すように、実施例１では、検証開始直後は、排気口１１でのホルムアルデヒド濃度は０．０２８ｐｐｍであり、排気口１１から排出される排出ガスＧ２に含まれるホルムアルデヒドの濃度が、検証開始直後から０．１ｐｐｍ以下となっている。

そのまま、排気口１１でのホルムアルデヒド濃度を計測した結果は、２０分後で０．０２ｐｐｍ、４０分後で０．０１８ｐｐｍ、６０分後で０．０１６ｐｐｍであった。気体処理装置１を６０分動作させ続けたとしても排気口１１から排出される排出ガスＧ２のホルムアルデヒド濃度は増加していない。つまり、吸気口１０からガス流路１２内に取り込まれた処理対象ガスＧ１は順次分解処理されており、フィルタ１６に蓄積され、送風動作によって徐々に排気口１１から排出されてしまうホルムアルデヒド等がほぼないことがわかる。

［別実施形態］
以下、別実施形態につき説明する。

〈１〉 制御部１７は、紫外線光源１５の点灯制御の後、紫外線Ｌ１を検出するセンサによって紫外線光源１５から紫外線Ｌ１が放射されていることを検知して送風装置１４の送風動作を開始させる制御を行うものとしても構わない。また、制御部１７は、紫外線光源１５の消灯制御の後、ガス流路１２内のオゾン濃度を計測し、所定の濃度以下となったことを検出して送風装置１４の送風動作を停止させる制御を行うものであっても構わない。

上記構成とすることで、動作開始時は、紫外線光源１５が確実に紫外線Ｌ１を放射している状態で送風装置１４の送風動作を開始させるように制御することができ、動作停止時は、ガス流路１２内のオゾン濃度が十分低下していることを確認した上で送風装置１４を停止させるように制御することができる。

〈２〉 図７は、気体処理装置１の別実施形態を紫外線光源１５の中央部においてＹＺ平面で切断した時の断面図である。図７に示すように、紫外線光源１５に用いるエキシマランプの形状が、管体２０が延伸する方向に向かって見た時の形状が円筒形状を呈し、内壁面に電極２１ａ、外壁面上に電極２１ｂが形成されている、二重管形状と称される形状のエキシマランプであっても構わない。

〈３〉 図８は、気体処理装置１の別実施形態を紫外線光源１５の中央部においてＹＺ平面で切断した時の断面図である。図８に示すように、紫外線光源１５に用いるエキシマランプの形状が、管体２０が延伸する方向に向かって見た時の形状が円筒形状を呈し、管体２０の内側に電極２１ａ、外壁面上に電極２１ｂが形成されている、管形状と称される形状のエキシマランプであっても構わない。

〈４〉 紫外線光源１５は、エキシマランプ以外の光源を用いても構わない。波長が２３０ｎｍ以下の紫外線Ｌ１を放射できる光源であればよく、低圧水銀ランプやＬＥＤ等であっても構わない。

〈５〉 処理対象ガスＧ１に含まれるＶＯＣは、ホルムアルデヒドには限定されない。例えば、メタノール、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）、アセトン、エチレンオキサイド、トルエン、キシレン、酢酸エチル等が挙げられる。

〈６〉 上述した気体処理装置１が備える構成は、あくまで一例であり、本発明は、図示された各構成に限定されない。

１ ： 気体処理装置
１０ ： 吸気口
１１ ： 排気口
１２ ： ガス流路
１３ ： 動作指示部
１４ ： 送風装置
１５ ： 紫外線光源
１６ ： フィルタ
１７ ： 制御部
２０ ： 管体
２１ａ，２１ｂ ： 電極
Ｇ１ ： 処理対象ガス
Ｇ２ ： 排出ガス
Ｌ１ ： 紫外線

Claims (8)

1. ドラフトチャンバ、又は排気ダクトに接続された吸気口から吸気された、ホルムアルデヒド、メタノール、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）、アセトン、エチレンオキサイド、トルエン、キシレン、酢酸エチルのうちの少なくとも一種及び酸素を含む処理対象ガスに対して処理を行った後、前記吸気口とは異なる位置に設けられた排気口から排気する気体処理装置であって、
   前記吸気口と前記排気口とを連絡するように構成されたガス流路と、
   前記処理対象ガスを前記吸気口側から前記排気口側に向かって通流させる送風装置と、
   前記ガス流路内に配置され、波長が２３０ｎｍ以下の紫外線を放射する紫外線光源と、
   前記ガス流路内において、前記紫外線光源よりも前記排気口側に配置され、少なくともオゾンを吸着するフィルタと、
   前記送風装置の動作制御を行う制御部とを備え、
   前記制御部は、前記紫外線光源から前記紫外線の放射が開始した後に、前記送風装置の送風動作を開始させることを特徴とする気体処理装置。
2. 前記制御部は、前記紫外線光源から前記紫外線の放射が停止した後に、前記送風装置の送風動作を停止させることを特徴とする請求項１に記載の気体処理装置。
3. 前記制御部は、前記紫外線光源の点灯制御を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の気体処理装置。
4. 作業者によって操作可能に構成された動作指示部を有し、
   作業者が前記動作指示部によって動作開始の操作を行うと、
   前記動作指示部は、前記制御部に対して処理開始信号を送信し、
   前記制御部は、前記動作指示部から送信される前記処理開始信号を受信すると、前記紫外線光源を点灯させる第一制御と、前記第一制御の実行後に前記送風装置の送風動作を開始させる第二制御を行うことを特徴とする請求項３に記載の気体処理装置。
5. 前記紫外線光源が点灯している時に、作業者が前記動作指示部によって動作停止の操作を行うと、
   前記動作指示部は、前記制御部に対して処理停止信号を送信し、
   前記制御部は、前記動作指示部から送信される前記処理停止信号を受信すると、前記紫外線光源を消灯させる第三制御と、前記第三制御の実行後に前記送風装置の送風動作を停止させる第四制御を行うことを特徴とする請求項４に記載の気体処理装置。
6. 前記紫外線光源は、主たる発光波長が１７２ｎｍの紫外線を放射するエキシマランプであることを特徴とする請求項１～５のいずれか一項に記載の気体処理装置。
7. ドラフトチャンバ、又は排気ダクトに接続された吸気口から吸気されてガス流路を通流する、ホルムアルデヒド、メタノール、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）、アセトン、エチレンオキサイド、トルエン、キシレン、酢酸エチルのうちの少なくとも一種及び酸素を含む処理対象ガスに対して、処理を行った後、少なくともオゾンを吸着するフィルタを通流させて前記吸気口とは異なる位置に設けられた排気口から排気する気体処理方法であって、
   紫外線光源から紫外線の放射を開始させる工程（Ａ）と、
   前記工程（Ａ）の実行後、前記ガス流路内を前記吸気口から前記排気口に向かって前記処理対象ガスを通流させるための送風装置の送風動作を開始させる工程（Ｂ）とを含むことを特徴とする気体処理方法。
8. 前記紫外線光源から前記紫外線の放射を停止させる工程（Ｃ）と、
   前記工程（Ｃ）の実行後、前記ガス流路内を前記吸気口から前記排気口に向かって前記処理対象ガスを通流させるための前記送風装置の送風動作を停止させる工程（Ｄ）とを含むことを特徴とする請求項７に記載の気体処理方法。

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