CN113766936A - 气体处理装置以及气体处理方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种能够抑制附着在吸附臭氧的过滤器的VOC的量、并长期将排出的VOC维持在低浓度的气体处理装置以及气体处理方法。气体处理装置在对从进气口进气的含有VOC及氧的处理对象气体进行处理之后，从设置在与进气口不同的位置的排气口排气，该气体处理装置具备：气体流路，构成为连接进气口与排气口；送风装置，使处理对象气体从进气口侧朝向排气口侧流通；紫外线光源，配置于气体流路内，放射波长为230nm以下的紫外线；过滤器，在气体流路内，配置于比紫外线光源靠排气口侧，至少吸附臭氧；以及控制部，进行送风装置的动作控制，控制部在开始从紫外线光源放射紫外线之后，使送风装置的送风动作开始。
Description
技术领域
本发明涉及气体处理装置以及气体处理方法，特别是涉及用于处理含有VOC(Volatile Organic Compounds：挥发性有机化合物)的气体的气体处理装置以及气体处理方法。
背景技术
以往，有可能对地球环境、人体造成影响的气体被视为问题，对汽车、工厂等中的排气设置有一定的限制。另外，在室内，在实验设备、医疗现场等可能利用特定药剂的场所，也大多设置有VOC的排出限制。
近年来，为了遵守VOC的排出限制，进行了分解处理VOC的装置的开发，作为其构成之一，特别开发了使用了紫外线的处理装置。例如，在下述专利文献1中记载了通过对处理对象气体中所含的氧照射规定的波长带的紫外线而产生臭氧，使VOC与臭氧反应来进行处理的气体处理装置。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2006－296980号公报
发明内容
发明要解决的课题
臭氧在VOC等处理中发挥重要的作用，但已知有臭味、且给人体带来负面影响。因此，使用臭氧进行VOC的处理的气体处理装置大多如上述专利文献1所记载的气体处理装置那样，具备用于吸附或分解臭氧的臭氧过滤器，以使不从排出处理后的气体的排气口排出臭氧。
然而，臭氧过滤器难以仅选择性地吸附臭氧，也会吸附无法处理的VOC。这并不是基于臭氧过滤器的特性，而是基于当VOC与物质的表面接触时会附着、堆积的特性。
若VOC附着、堆积于臭氧过滤器的表面，则可吸附臭氧的面缩小，导致吸附力的降低。另外，附着于臭氧过滤器的表面的VOC的一部分通过在气体流路内产生的气流而从臭氧过滤器的表面分离，与处理后的气体一起从排气口排出。
即，在如上述专利文献1所记载的那样的气体处理装置中，若不进行任何控制而使用，则未处理的VOC堆积于臭氧过滤器的表面。然后，堆积在臭氧过滤器的表面的VOC通过在气体流路内产生的气流而一点点地从臭氧过滤器分离，并逐渐从排气口排出。即，将一部分的VOC向气体处理装置的外部排出。
鉴于上述课题，本发明的目的在于提供一种气体处理装置以及气体处理方法，其能够抑制附着在吸附臭氧的过滤器的VOC的量，长期使排出的VOC维持在低浓度。
用来解决课题的手段
本发明的气体处理装置气体处理装置，在对从进气口进气的含有氧的处理对象气体进行处理之后，从设置在与所述进气口不同的位置的排气口排气，其特征在于，该气体处理装置具备：
气体流路，构成为连接所述进气口与所述排气口；
送风装置，使所述处理对象气体从所述进气口侧朝向所述排气口侧流通；
紫外线光源，配置于所述气体流路内，放射波长为230nm以下的紫外线；
过滤器，在所述气体流路内，配置于比所述紫外线光源靠所述排气口侧，至少吸附臭氧；以及
控制部，进行所述送风装置的动作控制，
所述控制部在开始从所述紫外线光源放射所述紫外线之后，使所述送风装置的送风动作开始。
本发明的气体处理装置例如用于使用福尔马林等药液进行作业的通风室的一部分、实验室的排气管道等中，从进气口取入处理对象气体，一边使其朝向排气口流通，一边使处理对象气体与由从紫外线光源放射的紫外线产生的臭氧、自由基接触，从而进行处理。
如上述那样，臭氧通过对处理对象气体中所含的氧照射从紫外线光源放射的紫外线而产生。另外，为了对氧照射紫外线而产生臭氧，紫外线光源优选能够放射可以利用光子能量从氧生成臭氧的230nm以下的波长的紫外线。
处理对象气体与氧一起被送风装置从进气口取入气体流路内，并在紫外线光源的周边流通。此时，从紫外线光源放射的波长为230nm以下的紫外线照射处理对象气体中所含的氧，从而产生臭氧。处理对象气体通过与该臭氧的反应而进行分解处理。之后，处理对象气体流过过滤器，作为排出气体从排气口排出。这里，由于无助于处理的臭氧被过滤器吸附、分解，因此不会在高浓度的状态下从排气口排出。
即，为了处理从进气口取入气体流路内的处理对象气体，在处理对象气体到达紫外线光源的周边时，必须从紫外线光源放射紫外线。若在处理对象气体到达紫外线光源时紫外线光源未放射紫外线，则由于未产生臭氧，处理对象气体不被处理而原样地朝向过滤器流通。于是，处理对象气体中所含的VOC附着于过滤器、或者从排气口原样地排出。
通过采用上述构成，在送风装置的送风动作开始的时刻，从紫外线光源放射紫外线，因此从进气口取入的处理对象气体不会通过未开始紫外线的放射的状态的紫外线光源的周围而流通到过滤器。
另外，由于控制部以在开始从紫外线光源放射紫外线后，使送风装置的送风动作开始的方式进行控制，因此不存在作业者错误地操作而先使送风装置的送风动作开始的隐患。而且，即使在从紫外线光源熄灭、送风装置正在进行送风动作的状态起动的情况下，也可以在待机到送风装置的送风动作停止后、如上述那样开始从紫外线光源放射紫外线之后，使送风装置的送风动作开始。
另外，为了应对由自然对流引起的流通、或者送风装置的送风动作错误地在紫外线光源的紫外线放射之前开始的情况等处理对象气体在紫外线光源放射紫外线之前流通到过滤器的情况，也可以设置用于在从紫外线光源放射紫外线之前遮挡气体流路的流通的机构(例如遮风板、闸板等)。由此，能够进一步抑制未经处理就朝向过滤器流通并附着在过滤器上的VOC的量。
也可以是，上述气体处理装置的所述控制部在停止从所述紫外线光源放射所述紫外线之后，使所述送风装置的送风动作停止。
在停止气体处理装置的情况下，若在停止从紫外线光源放射紫外线之前使送风装置的送风动作停止，则气体流路内的处理对象气体的流通停止，但通过从紫外线光源放射的紫外线继续生成臭氧。此时，若存在滞留在紫外线光源周边的VOC，则由从紫外线光源放射的紫外线生成的臭氧与它们反应而消失。
但是，送风装置的送风动作停止，几乎不从进气口取入新的处理对象气体，气体流路内的气流也停止，因此在气体流路内产生的臭氧不会与VOC反应，也不会被朝向过滤器送风。即，存在气体流路内陆续生成的臭氧逐渐在气体流路内扩散，最终一部分从进气口泄漏到外部的隐患。
如上述那样，臭氧有臭味、且给人体带来负面影响，因此不优选排出到气体处理装置的外部，优选的是在气体流路内产生的臭氧尽可能地被臭氧过滤器吸附、分解。
因此，通过采用上述构成，在紫外线光源放射紫外线、且在气体流路内生成臭氧的期间，成为送风装置继续进行送风动作的状态。因而，在气体流路内产生的臭氧被朝向臭氧过滤器送风，不存在朝向进气口侧扩散而臭氧从进气口漏出的隐患。
假设若不通过控制部进行上述控制，则有时需要作业者分别进行使紫外线光源的点亮停止的指示和使送风装置的送风动作停止的指示。此时，考虑到作业者错误地在使紫外线光源的点亮停止之前，使送风装置的送风动作停止的可能性。但是，根据上述构成，在停止从紫外线光源放射紫外线之后，由控制部自动地进行使送风装置停止送风动作的控制，因此能够防止这种事态的发生。而且，即使在从紫外线光源点亮、送风装置未进行送风动作的状态停止的情况下，也能够在待机到送风装置的送风动作停止之后、如上述那样停止从紫外线光源放射紫外线之后，使送风装置的送风动作停止。
也可以是，上述气体处理装置的所述控制部进行所述紫外线光源的点亮控制。
通过采用上述构成，能够设定从使紫外线光源点亮到使送风装置的送风动作开始为止的控制的顺序以及从使紫外线光源熄灭到使送风装置的送风动作停止为止的控制的顺序。
例如，通过以在使紫外线光源点亮之后的几百毫秒～几秒后使送风装置的送风动作开始的方式进行控制，能够确保直到紫外线光源开始发光、从紫外线光源开始放射紫外线为止的充分的时间。另外，通过以在使紫外线光源熄灭之后的几秒～几分钟后使送风装置的送风动作停止的方式进行控制，能够确保用于在臭氧的产生停止后，将残留在流路内的臭氧向过滤器侧送风而将臭氧吸附、分解处理的足够的时间。
上述气体处理装置也可以是，
所述气体处理装置具有动作指示部，该动作指示部构成为能够由作业者操作，
当作业者通过所述动作指示部进行动作开始的操作时，
所述动作指示部对所述控制部发送处理开始信号，
所述控制部在接收到从所述动作指示部发送的所述处理开始信号时，进行第一控制和第二控制，所述第一控制使所述紫外线光源点亮，所述第二控制在执行所述第一控制后使所述送风装置的送风动作开始。
而且，上述气体处理装置也可以是，
当在所述紫外线光源点亮时，作业者通过所述动作指示部进行动作停止的操作时，
所述动作指示部对所述控制部发送处理停止信号，
所述控制部在接收到从所述动作指示部发送的所述处理停止信号时，进行第三控制和第四控制，所述第三控制使所述紫外线光源熄灭，所述第四控制在执行所述第三控制后使所述送风装置的送风动作停止。
通过采用上述构成，仅通过操作动作指示部，就能够使气体处理装置以适当的顺序起动，进而也能够使气体处理装置以适当的顺序停止。因而，能够防止作业者的操作失误等。
另外，也可以构成为，在使气体处理装置停止的情况下，在作业者操作动作指示部之后，在使紫外线光源熄灭之前，使来自紫外线光源的紫外线的放射和送风装置的送风动作继续进行规定的时间。通过这样的构成，能够充分地处理残留在作业空间、通风室内的处理对象气体。
也可以是，上述气体处理装置的所述紫外线光源是放射主发光波长为172nm的紫外线的准分子灯。
在处理对象气体中所含的物质中，也存在难以利用臭氧分解处理的物质。例如甲醛等难以由臭氧分解处理，主要通过对处理对象气体所含的水分照射紫外线而产生的羟基自由基来进行分解处理。
通过使紫外线光源为在由合成石英玻璃形成的管体内填充含有Xe的放电用气体而构成的准分子灯，当在电极间施加电压时，能够放射主发光波长为172nm的紫外线。若紫外线光源放射的紫外线的主发光波长为172nm，臭氧与羟基自由基均能够生成。
本发明的气体处理方法，在对从进气口进气并在气体流路中流通的含有氧的处理对象气体进行处理之后，使其在至少吸附臭氧的过滤器中流通，并从设置在与所述进气口不同的位置的排气口排气，其特征在于，该气体处理方法包括：
工序(A)，开始从紫外线光源放射紫外线；以及
工序(B)，在执行所述工序(A)后，使送风装置的送风动作开始，该送风装置用于使所述处理对象气体在所述气体流路内从所述进气口朝向所述排气口流通。
通过采用上述方法，如上述记载那样，送风装置的送风动作开始，从进气口取入的处理对象气体不会通过未开始紫外线的放射的状态的紫外线光源的周围而流通到过滤器。
上述气体处理方法也可以是，包括：
工序(C)，停止从所述紫外线光源放射所述紫外线；以及
工序(D)，在执行所述工序(C)后，使所述送风装置的送风动作停止，该送风装置用于使所述处理对象气体在所述气体流路内从所述进气口朝向所述排气口流通。
通过上述方法，如上述记载那样，在紫外线光源放射紫外线、且在气体流路内生成臭氧的期间，送风装置成为继续进行送风动作的状态。因而，在气体流路内产生的臭氧朝向过滤器侧流通，因此不存在臭氧从进气口漏出的隐患。
发明效果
根据本发明，可实现能够抑制附着在吸附臭氧的过滤器上的VOC的量，并长期使排出的VOC维持在低浓度的气体处理装置以及气体处理方法。
附图说明
图1是示意地表示气体处理装置的一实施方式的侧面剖面图。
图2是在紫外线光源的中央部沿YZ平面将图1的气体处理装置剖切时的剖面图。
图3是表示控制部的控制顺序的流程图。
图4是以时间序列表示控制部的控制的时序图。
图5是表示实施例1的验证结果的图表。
图6是表示比较例1的验证结果的图表。
图7是在紫外线光源的中央部沿YZ平面剖切气体处理装置的另一实施方式时的剖面图。
图8是在紫外线光源的中央部沿YZ平面剖切气体处理装置的另一实施方式时的剖面图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的气体处理装置以及气体处理方法进行说明。另外，以下的各附图均示意性地进行图示，附图上的尺寸比、个数并不一定与实际的尺寸比、个数一致。
图1是示意地表示气体处理装置1的一实施方式的侧面剖面图。设想该气体处理装置1用于对含有VOC及氧的处理对象气体G1(即，含有VOC的空气)进行处理而降低VOC的浓度的用途。如图1所示，气体处理装置1具备：从外部取入处理对象气体G1的进气口10；将排出气体G2向外部排出的排气口11；构成为连接进气口10与排气口11的气体流路12；以及用于作业者进行气体处理装置1的处理开始的操作与处理停止的操作的动作指示部13。动作指示部13例如可以由能够通过作业者进行操作的开关、按钮等物理要素构成，也可以由触摸面板等构成。
另外，在气体流路12内配置有：用于使处理对象气体G1从进气口10侧朝向排气口11侧流通的送风装置14；为了产生臭氧而对处理对象气体G1中所含的氧照射紫外线L1的紫外线光源15；以及在比气体流路12内的紫外线光源15靠排气口11侧、用于吸附由紫外线光源15生成的臭氧的过滤器16。而且，气体处理装置1具备控制部17，该控制部17从动作指示部13接收处理开始信号，进行紫外线光源15的点亮控制与送风装置14的动作控制。
这里，在以下的说明中，如图1所示，将从进气口10朝向排气口11的方向作为X方向、将与其正交的面作为YZ平面而进行说明。
气体流路12也可以不是图1所示那样的沿X方向延伸的形状，也可以构成为弯曲的形状或在流路的中途流通的方向发生改变。另外，送风装置14例如为送风用风扇。送风装置14只要具有使处理对象气体G1从进气口10侧向排气口11侧流通的功能，也可以不配置在气体流路12内。
图2是在紫外线光源15的中央部沿YZ平面剖切图1的气体处理装置1时的剖面图。如图1及图2所示，本实施方式中的紫外线光源15是在由合成石英玻璃形成的圆筒状的管体20内填充有含有Xe的放电用气体的准分子灯，以管轴沿着X方向的方式配置。
如图1及图2所示，作为准分子灯的紫外线光源15是朝向管体20的X方向观察时的形状呈矩形状，在对置的侧面形成有电极(21a、21b)的被称作扁平管形状的形状的准分子灯，当在电极(21a、21b)间施加电压时，放射主发光波长为172nm的紫外线L1。另外，紫外线光源15也可以在气体流路12内配置有多根。
过滤器16作为吸附臭氧的过滤器16，例如可以使用催化剂过滤器等，也可以是格子结构、蜂窝结构、或者铺满了片状的吸附剂的过滤器等。
图3是表示控制部17的控制顺序的流程图。图4是以时间序列表示控制部17的控制的时序图。如图3及图4所示，当作业者通过动作指示部13进行动作开始的操作时，从动作指示部13向控制部17发送处理开始信号(S1)。
控制部17在接收到从动作指示部13发送的处理开始信号时，进行使紫外线光源15点亮的控制(第一控制)(S2)，之后，在经过紫外线光源15放射紫外线L1所需的时间t1之后，进行使送风装置14的送风动作开始的控制(第二控制)(S3)。
在紫外线光源15点亮、送风装置14的送风动作开始之后，作业者能够使用药剂等进行实验等。气体处理装置1从进气口10取入含有由药剂等产生的含有VOC等的处理对象气体G1，一边使其朝向排气口11流通，一边使处理对象气体G1与由从紫外线光源15放射的紫外线L1产生的臭氧、自由基接触，由此进行处理。未用于处理的臭氧被过滤器16吸附、分解。由此，排出气体G2作为清洁的空气通过排气口11向气体处理装置1的外部排出。
当作业者结束作业而通过动作指示部13进行动作停止的操作时，从动作指示部13向控制部17发送处理停止信号(S4)。控制部17在接收到从动作指示部13发送的处理停止信号时，在使紫外线光源15的点亮与送风装置14的送风动作继续进行规定的时间t2(S5)后，进行使紫外线光源15熄灭的控制(第三控制)(S6)。之后，控制部17在经过了气体流路12内的臭氧被过滤器16充分吸附、分解所需的时间t3之后，进行使送风装置14的送风动作停止的控制(第四控制)(S7)，动作结束。
各时间例如由计时器或定序器等控制。本实施方式的气体处理装置1将从进行使紫外线光源15点亮的控制到使送风装置14的送风动作开始为止的时间t1设为1秒。另外，在本实施方式中，将控制部17接收到处理停止信号之后继续进行处理动作的时间t2设为1小时，将从进行使紫外线光源15熄灭的控制到使送风装置14的送风动作停止为止的时间t3设为1分钟。
通过采用上述构成，处理对象气体G1不会通过未点亮的紫外线光源15的周围而向过滤器16流通，也不存在臭氧从进气口10漏出的隐患。而且，作业者仅操作动作指示部13，就能够使气体处理装置1以适当的顺序起动与停止，能够防止操作失误等。
在本发明的气体处理装置1中，处理对象气体G1不会通过未点亮的紫外线光源15的周围而向过滤器16流通，因此能够将附着在过滤器16的处理对象气体G1中所含的VOC的量抑制在最小限度，还能够抑制从排气口11排出的处理对象气体G1中所含的VOC的量。而且，由于能够将附着在过滤器16的处理对象气体G1中所含的VOC的量抑制在最小限度，因此能够长期使用过滤器16。
[验证]
为了表示上述实施方式的效果，示出了以上述实施方式的控制顺序和与上述实施方式的控制顺序相反的控制顺序起动气体处理装置1后，对从排气口11排出的VOC的量进行了比较验证的结果。另外，本验证将处理对象气体G1中所含的作为处理对象物质的VOC设为甲醛而进行。
(验证方法)
在气体流路12内配置紫外线光源15，在比紫外线光源15靠排气口侧配置过滤器16，将含有14～22ppm的甲醛的空气作为处理对象气体G1，使其以1000L/分的流量从进气口10向气体流路12内流通，计测了从点亮紫外线光源15起，从排气口11排出的排出气体G2中所含的甲醛的浓度的时间变化。
气体流路12将从进气口10至排气口11的长度设为5.0m，在距进气口10为4.5m的位置配置送风装置14，在距进气口10为1.0m的位置配置1根紫外线光源15，在距进气口10为2.0m的位置配置过滤器16。
紫外线光源15为如图2所示那样的扁平管形状的准分子灯，过滤器16为在由铝构成的金属制的蜂窝构结构的基材担载二氧化锰作为催化剂而成的催化剂过滤器。
(实施例1)
点亮紫外线光源15，之后，经过1分钟后，开始送风装置14的送风动作。
(比较例1)
使送风装置14的送风动作开始，之后，经过1分钟后，点亮紫外线光源15。
(结果)
图5是表示比较例1的验证结果的图表。如图5的图表所示，在比较例1中，在验证刚开始之后，排气口11处的甲醛浓度为15.3ppm，仅比进气口10处的甲醛浓度稍微减少。这是因为，在验证开始之后紫外线光源15未点亮，因此从进气口10取入到气体流路12内的处理对象气体G1被大致原样地从排气口11排出。
原样地计测排气口11处的甲醛浓度的结果为，5分钟后为1.54ppm，15分钟后为0.31ppm，25分钟后为0.21ppm。即使使气体处理装置1继续动作25分，从排气口11排出的排出气体G2的甲醛浓度也为无法降低至0.1ppm以下。
图6是表示实施例1的验证结果的图表。如图6的图表所示，在实施例1中，在验证刚开始之后，排气口11处的甲醛浓度为0.028ppm，从排气口11排出的排出气体G2中所含的甲醛的浓度在验证刚开始之后成为0.1ppm以下。
原样地计测排气口11处的甲醛浓度的结果为，20分钟后为0.02ppm，40分钟后为0.018ppm，60分钟后为0.016ppm。即使使气体处理装置1继续动作60分钟，从排气口11排出的排出气体G2的甲醛浓度也不增加。即，可知从进气口10取入气体流路12内的处理对象气体G1被依次分解处理，几乎没有蓄积在过滤器16中并通过送风动作逐渐从排气口11排出的甲醛等。
[另一实施方式]
以下，对另一实施方式进行说明。
〈1〉控制部17也可以进行如下控制：在紫外线光源15的点亮控制之后，通过检测紫外线L1的传感器感测出从紫外线光源15放射了紫外线L1，使送风装置14的送风动作开始。另外，控制部17也可以进行如下控制：在紫外线光源15的熄灭控制之后，计测气体流路12内的臭氧浓度，检测出达到规定的浓度以下，使送风装置14的送风动作停止。
通过采用上述构成，在动作开始时，能够控制为，在紫外线光源15可靠地放射了紫外线L1的状态下使送风装置14的送风动作开始，在动作停止时，能够控制为，在确认到气体流路12内的臭氧浓度充分降低的基础上使送风装置14停止。
〈2〉图7是在紫外线光源15的中央部沿YZ平面剖切气体处理装置1的另一实施方式时的剖面图。如图7所示，紫外线光源15中使用的准分子灯的形状也可以是，在朝向管体20延伸的方向观察时的形状呈圆筒形状，在内壁面形成有电极21a、在外壁面上形成有电极21b的被称作双重管形状的形状的准分子灯。
〈3〉图8是在紫外线光源15的中央部沿YZ平面剖切气体处理装置1的另一实施方式时的剖面图。如图8所示，紫外线光源15中使用的准分子灯的形状也可以是，在朝向管体20延伸的方向观察时的形状呈圆筒形状、在管体20的内侧形成有电极21a、在外壁面上形成有电极21b的被称作管形状的形状的准分子灯。
〈4〉紫外线光源15也可以使用准分子灯以外的光源。只要是能够放射波长为230nm以下的紫外线L1的光源即可，也可以是低压汞灯、LED等。
〈5〉处理对象气体G1中所含的VOC不限定于甲醛。例如，可列举甲醇、IPA(异丙醇)、丙醇、环氧乙烷、甲苯、二甲苯、乙酸乙酯等。
〈6〉上述气体处理装置1所具备的构成只不过是一个例子，本发明并不限定于图示的各构成。
附图标记说明
1：气体处理装置
10：进气口
11：排气口
12：气体流路
13：动作指示部
14：送风装置
15：紫外线光源
16：过滤器
17：控制部
20：管体
21a、21b：电极
G1：处理对象气体
G2：排出气体
L1：紫外线
Claims (8)
1.一种气体处理装置，在对从进气口进气的含有VOC及氧的处理对象气体进行处理之后，从设置在与所述进气口不同的位置的排气口排气，其特征在于，该气体处理装置具备：
气体流路，构成为连接所述进气口与所述排气口；
送风装置，使所述处理对象气体从所述进气口侧朝向所述排气口侧流通；
紫外线光源，配置于所述气体流路内，放射波长为230nm以下的紫外线；
过滤器，在所述气体流路内，配置于比所述紫外线光源靠所述排气口侧，至少吸附臭氧；以及
控制部，进行所述送风装置的动作控制，
所述控制部在开始从所述紫外线光源放射所述紫外线之后，使所述送风装置的送风动作开始。
2.如权利要求1所述的气体处理装置，其特征在于，
所述控制部在停止从所述紫外线光源放射所述紫外线之后，使所述送风装置的送风动作停止。
3.如权利要求1或2所述的气体处理装置，其特征在于，
所述控制部进行所述紫外线光源的点亮控制。
4.如权利要求3所述的气体处理装置，其特征在于，
所述气体处理装置具有动作指示部，该动作指示部构成为能够由作业者操作，
若作业者通过所述动作指示部进行动作开始的操作，
则所述动作指示部对所述控制部发送处理开始信号，
所述控制部若接收到从所述动作指示部发送的所述处理开始信号，则进行第一控制和第二控制，所述第一控制使所述紫外线光源点亮，所述第二控制在执行所述第一控制后使所述送风装置的送风动作开始。
5.如权利要求4所述的气体处理装置，其特征在于，
当在所述紫外线光源点亮时，若作业者通过所述动作指示部进行动作停止的操作，
则所述动作指示部对所述控制部发送处理停止信号，
所述控制部若接收到从所述动作指示部发送的所述处理停止信号，则进行第三控制和第四控制，所述第三控制使所述紫外线光源熄灭，所述第四控制在执行所述第三控制后使所述送风装置的送风动作停止。
6.如权利要求1至5中任一项所述的气体处理装置，其特征在于，
所述紫外线光源是放射主发光波长为172nm的紫外线的准分子灯。
7.一种气体处理方法，在对从进气口进气并在气体流路中流通的含有氧的处理对象气体进行处理之后，使其在至少吸附臭氧的过滤器中流通，并从设置在与所述进气口不同的位置的排气口排气，其特征在于，所述气体处理方法包括：
工序(A)，开始从紫外线光源放射紫外线；以及
工序(B)，在执行所述工序(A)后，使送风装置的送风动作开始，该送风装置用于使所述处理对象气体在所述气体流路内从所述进气口朝向所述排气口流通。
8.如权利要求7所述的气体处理方法，其特征在于，包括：
工序(C)，停止从所述紫外线光源放射所述紫外线；以及
工序(D)，在执行所述工序(C)后，使所述送风装置的送风动作停止，该送风装置用于使所述处理对象气体在所述气体流路内从所述进气口朝向所述排气口流通。
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