JP7412996B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
よって、ウェーハを研削砥石で研削する研削装置においては、研削砥石を交換する事無くカセット内の全てのウェーハの研削加工を完了させるという課題がある。
しかし、本発明に係る研削装置は、研削砥石を用いてウェーハを研削するために、少なくとも研削砥石の品種と研削送り手段の送り速度とを含む加工条件を設定する加工条件設定部と、設定された加工条件でウェーハを研削して、一枚目のウェーハを仕上げ厚さまで研削した際の該研削手段の高さと二枚目のウェーハを仕上げ厚さまで研削した際の該研削手段の高さとの差で求められる該研削砥石の消耗量データが記憶される記憶媒体の一領域と、カセットに収納されているウェーハの枚数を設定するウェーハ枚数設定部と、該ウェーハ枚数設定部に設定された該枚数に該消耗量データをかけ該カセットに収納されているウェーハを全て研削した際の該研削砥石の累積消耗量を算出する累積消耗量算出部と、研削砥石の残量を認識する残量認識部と、加工開始前において、残量認識部によって認識された研削砥石の残量から累積消耗量算出部によって算出された累積消耗量を差し引いた値が砥石残量許容値以下になったら、カセット内の全てのウェーハの研削が完了する前に研削砥石が無くなると判断し通知する判断通知部と、を備えることで、カセットに収納されている全てのウェーハの研削加工が完了する前に研削砥石を交換する必要があることを、研削加工を開始する前に作業者に通知するので、通知があった場合に、作業者が研削加工前に研削砥石を交換し、その後、研削加工を開始することができるので、加工された複数枚のウェーハの厚さ等を含む加工結果を均一にする事ができる。
なお、本発明に係る研削装置は、研削手段として粗研削手段と仕上げ研削手段との2軸備え、回転するターンテーブルでウェーハWを保持した保持手段30を各研削手段の下方に位置付ける構成となっていてもよい。
厚さ測定手段38は、例えば、一対の厚さ測定器(ハイトゲージ)、即ち、保持手段30の保持面30aの高さ位置測定用の第1の厚さ測定器381と、保持手段30で保持されたウェーハWの被研削面である裏面Wbの高さ位置測定用の第2の厚さ測定器382とを備えている。
なお、厚さ測定手段38は、非接触式の厚さ測定手段であってもよい。
例えば、モータ22がサーボモータである場合には、サーボモータのロータリエンコーダは、サーボアンプとしての機能も有する制御手段9に接続されており、制御手段9の出力インターフェイスからサーボモータに対して動作信号が供給された後、サーボモータの回転数をエンコーダ信号として制御手段9の入力インターフェイスに対して出力する。そして、エンコーダ信号を受け取った制御手段9は、サーボモータの回転角度を基に研削手段4の移動量を逐次認識し、これによって研削手段4の高さ位置を逐次認識することができる。
なお、上記のように第1のカセット150aに収納されている加工前のウェーハWの枚数をウェーハ枚数設定部95に作業者が設定入力する以外に、第1のカセット150aに収納されているウェーハWを検知するセンサを備え、センサによってウェーハWの検知によって第1のカセット150aに収納されているウェーハWの枚数が検出され、さらに、ウェーハ枚数設定部95に設定されてもよい。
以下に、消耗量データ93を得る場合の一例を説明する。
例えば、一枚目のウェーハWが仕上げ厚さまで研削された場合の、研削砥石440の最初の消耗量は、消耗量L1であるとする。本消耗量L1は、一枚目のウェーハWに施される研削加工が安定したものとはならない場合や、セットアップ誤差が生じる場合が多いこと等を理由として、消耗量データ93として基本的には採用されない。
また、一枚目のウェーハWを仕上げ厚さまで研削した際の、研削手段4の高さ位置と、二枚目のウェーハWを仕上げ厚さまで研削した際の研削手段4の高さ位置との差をウェーハW一枚を研削した際の研削砥石440の消耗量(消耗量データ93)としてもよい。
なお、保持手段30と砥石残量検出手段35との間には、保持手段30側から研削屑等が砥石残量検出手段35側に進入するのを防ぐ図示しない遮蔽板が設置されていてもよい。
まず、例えば、作業者がタッチパネル16の入力画面上に表示される複数の加工条件から、これから加工するウェーハWに対する加工条件を選択して、制御手段9に入力する。選択した加工条件は、少なくとも研削砥石440の品種は品種1であり、研削送り手段2による研削手段4の研削送り速度は、研削送り速度V1である加工条件であるとする。該選択された加工条件は、加工条件設定部91に設定される。
該残量認識においては、まず、図示しないY軸方向送り手段によって、例えば保持手段30と共に移動する砥石残量検出手段35が、図3に示す任意の高さ位置Z3に位置する研削手段4の研削砥石440の下面直下に位置づけられる。
そして、砥石残量検出手段35の投光部350が研削砥石440の下面に向かって測定光を照射する。そして、CCD等からなる受光部351が研削砥石440の下面で反射した測定光を受光することで、光学的三角測距の測定原理等によって砥石残量検出手段35から研削砥石440の下面までのZ軸方向における距離を測定できる。該距離は、例えば、距離Laとなる。砥石残量検出手段35から、制御手段9に対して距離Laについての情報が送られ、制御手段9に記憶される。
そして、砥石残量検出手段35の投光部350がホイール基台441の下面に向かって測定光を照射する。そして、受光部351がホイール基台441の下面で反射した測定光を受光することで、砥石残量検出手段35からホイール基台441の下面までのZ軸方向における距離Lcを測定できる。砥石残量検出手段35から、制御手段9に対して距離Lcについての情報が送られ、制御手段9に記憶される。
例えば、研削装置1は、砥石残量検出手段35に代えて、図6に示す接触式の砥石残量検出手段36を備えていてもよい。
砥石残量検出手段36は、例えば、研削砥石440の下面又はホイール基台441の下面が接触し昇降可能な被接触昇降部365と、被接触昇降部365をZ軸方向に昇降可能に収容するケーシング360と、ケーシング360の内部底面に配設され被接触昇降部365を昇降可能に支持するバネ等の弾性部材364と、研削送り手段2によって下降する研削砥石440の下面又はホイール基台441の下面が被接触昇降部365に接触して被接触昇降部365が下降を開始するときを検出する透過型の光センサと、を備えている。
例えば、砥石残量検出手段36は、図示しない無線又は有線の通信経路を介して図1に示す制御手段9に各種検知信号を送信することができる。
図示しないY軸方向送り手段によって、例えば保持手段30と共に移動する砥石残量検出手段36が、研削手段4の研削砥石440の下面直下に位置づけられる。
そして、制御手段9による制御の下で研削送り手段2が、予め把握されている高さ位置に位置している研削手段4を所定の速度で下降させていく。また、下降し始めた研削手段4の高さ位置は、制御手段9によって常に把握されている。
そして、制御手段9による制御の下で研削送り手段2が、予め把握されている高さ位置に位置している研削手段4を所定の速度で下降させていく。
判断通知部99は、加工開始前において、残量認識部92によって認識された研削砥石440の残量Ldから累積消耗量算出部96によって先に説明したように算出された累積消耗量L9を差し引いた値L10を算出する。
例えば、値L10が0μm以下となったとする。この場合には、第1のカセット150a内の25枚全てのウェーハWの研削が完了する前に研削砥石440が無くなると判断し、タッチパネル16に該判断を表示したり、図示しないスピーカから該判断を発報したりして、該判断を作業者に通知する。この場合には、該判断を認識した作業者が、ウェーハWの研削加工を開始する前に、研削手段4に装着されている研削砥石440の残量が残量Ldである研削ホイール44を、新しい研削ホイール44と交換する。
なお、研削砥石440の砥石残量許容値を例えば数μmとしておき、加工開始前において、残量認識部92によって認識された研削砥石440の残量Ldから累積消耗量算出部96によって先に説明したように算出された累積消耗量L9を差し引いた値L10が、砥石残量許容値以下となった場合には、判断通知部99は、研削手段4に現時点で装着されている研削ホイール44が25枚のウェーハWを全て研削するのには不適との通知を作業者に通知するものとしてもよい。
なお、砥石残量許容値は、0を含め整数が設定される。
1:研削装置 10:ベース A:搬入出領域 B:加工領域 12:コラム
150:第1のカセットステージ 150a:第1のカセット
151:第2のカセットステージ 151a:第2のカセット
155:ロボット 152:仮置き領域 153:位置合わせ手段
154a:ローディングアーム 154b:アンローディングアーム 156:洗浄手段
30:保持手段 30a:保持面 39:カバー 39a:蛇腹カバー
2:研削送り手段 20:ボールネジ 21:ガイドレール 22:モータ 23:昇降板 24:ホルダ
4:研削手段 40:回転軸 41:ハウジング 42:モータ 43:マウンタ 44:研削ホイール 441:ホイール基台 440:研削砥石
38:厚さ測定手段 381:第1の厚さ測定器 382:第2の厚さ測定器
9:制御手段 91:加工条件設定部 93:消耗量データ 95:ウェーハ枚数設定部
96:累積消耗量算出部 92:残量認識部 99:判断通知部
35:砥石残量検出手段 350:投光部 351:受光部
36:砥石残量検出手段 365:被接触昇降部 360:ケーシング 364:弾性部材 362:投光部 363:受光部
Claims (1)
- 保持面によってウェーハを保持する保持手段と、研削砥石を装着し該保持手段に保持されたウェーハを研削する研削手段と、該研削手段と該保持手段とを相対的に該保持面に垂直な方向に研削送りする研削送り手段と、複数のウェーハを収納可能なカセットを載置するカセットステージと、該カセットと該保持手段との間でウェーハを搬送する搬送手段と、を備え、該カセットに収納されているウェーハを該研削砥石で研削する研削装置であって、
該研削砥石を用いてウェーハを研削するために、少なくとも該研削砥石の品種と該研削送り手段の送り速度とを含む加工条件を設定する加工条件設定部と、
設定された該加工条件でウェーハを研削して、一枚目のウェーハを仕上げ厚さまで研削した際の該研削手段の高さと二枚目のウェーハを仕上げ厚さまで研削した際の該研削手段の高さとの差で求められる該研削砥石の消耗量データが記憶される記憶媒体の一領域と、
該カセットに収納されているウェーハの枚数を設定するウェーハ枚数設定部と、
該ウェーハ枚数設定部に設定された該枚数に該消耗量データをかけ該カセットに収納されているウェーハを全て研削した際の該研削砥石の累積消耗量を算出する累積消耗量算出部と、
該研削砥石の残量を認識する残量認識部と、
加工開始前において、該残量認識部によって認識された該研削砥石の残量から該累積消耗量算出部によって算出された該累積消耗量を差し引いた値が砥石残量許容値以下になったら、該カセット内の全てのウェーハの研削が完了する前に該研削砥石が無くなると判断し通知する判断通知部と、を備える、研削装置。
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