JP7409298B2 - 不織布およびフィルター - Google Patents

Description

本発明は、不織布およびフィルターに関するものである。

環状オレフィン重合体（ＣＯＰ）は耐熱性、低吸水性、低誘電性等が高次元にバランスされた材料として光学材料、自動車部品、電機・電子部品などの幅広い分野に使用されている。さらに環状オレフィン重合体の優れた特性が注目され、繊維および不織布への応用が提案されている。
例えば、環状オレフィン単位の含量が多く、ガラス転移温度が高いなどの特性を有する環状オレフィン樹脂を無延伸又は低延伸倍率で溶融紡糸することによって、耐熱性、化学的安定性、強度に優れた繊維を用いた不織布を得ることが検討されていた（例えば、特許文献１参照）。

特開２００５－１７１４０４号公報

なお、近年、半導体チップ等の半導体素子の製造工程等において発生する微粒子を効率良く捕集することが望まれている。
ここで、特許文献１に開示された不織布を、微粒子を捕集するフィルターとして用いる場合、捕集性を向上させようとすると、圧力損失が上昇してしまう点や、短時間でフィルター交換が必要になってしまう点で更なる向上の余地があり、十分ではなかった。
そこで、本発明は、高い捕集率、低い圧力損失、および長期使用を可能にするフィルターを実現可能な不織布、および該不織布を備えるフィルターを提供することを目的とする。

この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明の不織布は、結晶性の環状オレフィン重合体としての脂環式構造含有樹脂を含有する繊維からなり、バブルポイント法で測定した孔径が５μｍ以下である、ことを特徴とする。このように、不織布が、結晶性の脂環式構造含有樹脂を含有する繊維からなり、バブルポイント法で測定した孔径が５μｍ以下であると、高い捕集率、低い圧力損失、および長期使用を可能にするフィルターを実現可能にする。
なお、「結晶性の脂環式構造含有樹脂」は、「融点Ｔｍを有する脂環式構造含有樹脂（すなわち、示差走査熱量計（ＤＳＣ）で融点を観測することができる脂環式構造含有樹脂）」を意味する。ここで、「結晶性の脂環式構造含有樹脂の融点」は、ＪＩＳＫ７１２１に従う示差走査熱量測定法により測定することができる。
また、「結晶性の有無」は、融点の有無で判断することができ、融点を有すれば、結晶性を有する。
さらに、「バブルポイント法で測定した孔径」は、不織布を液体（例えば、イソプロピルアルコール等）に浸漬し、気体圧力を上昇させ、最初に最大孔径の孔から気泡が発生し、その気泡発生時の圧力（バブルポイント圧）に基づいて、下記式（１）を用いて算出される最大孔径Ｄ_ＢＰ（μｍ）を意味する。
Ｄ_ＢＰ＝（４γｃｏｓθ／Ｐ）×１０^－６・・・（１）
但し、式（１）中、γは液体の表面張力（Ｎ／ｍ）を表し、θは液体と不織布との接触角（ｒａｄ）を表し、Ｐはバブルポイント圧（Ｐａ）を表す。

ここで、本発明の不織布は、前記結晶性の脂環式構造含有樹脂が、立体規則性を有するジシクロペンタジエン開環重合体水素化物であることが好ましい。結晶性の脂環式構造含有樹脂が、立体規則性を有するジシクロペンタジエン開環重合体水素化物であれば、高い捕集率、低い圧力損失、および長期使用を可能にするフィルターをより確実に実現可能にする。

また、この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明のフィルターは、上述した不織布のいずれかを備えることを特徴とする。上述した不織布のいずれかを備えるフィルターによれば、高い捕集率、低い圧力損失、および長期使用を可能にする。

ここで、本発明のフィルターは、半導体素子の製造に用いられる半導体素子製造用フィルターであることが好ましい。半導体素子の製造に用いられる半導体素子製造用フィルターであれば、半導体チップ等の半導体素子の製造工程等において発生する微粒子を効率良く捕集することができる。

本発明によれば、高い捕集率、低い圧力損失、および長期使用を可能にするフィルターを実現可能な不織布、該不織布を備えるフィルターを提供することができる。

以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。ここで、本発明の不織布およびフィルターは、例えば、半導体チップ等の半導体素子の製造工程等において発生する微粒子を効率良く捕集するために好適に用いられうる。

（不織布）
本発明の不織布は、結晶性の脂環式構造含有樹脂を含有する繊維からなる。そして、本発明の不織布は、バブルポイント法で測定した孔径が５μｍ以下である。

＜結晶性の脂環式構造含有樹脂＞
本明細書において、「結晶性の脂環式構造含有樹脂」とは、環状オレフィンを重合して得られる、分子内に脂環式構造を有すると共に、結晶性を有する重合体を指す。以下、結晶性の脂環式構造含有樹脂を、「重合体（α）」とも称することがある。ここで、本明細書において、重合体が「結晶性を有する」とは、ＪＩＳＫ７１２１に従う示差走査熱量測定（ＤＳＣ）法に従う測定により、融点が検出されることを意味する。なお、重合体の「結晶性」は、重合体鎖が立体規則性を有することに起因してもたらされうる、ある特定構造を有する重合体固有の性質である。

－重合体（α）－
重合体（α）としては、特に限定されることなく、ノルボルネン系開環重合体の水素化物であることが好ましい。より具体的には、重合体（α）としては、国際公開第２０１２／０３３０７６号に記載のシンジオタクチック立体規則性を有するジシクロペンタジエン開環重合体水素化物、特開２００２－２４９５５３号公報に記載のアイソタクチック立体規則性を有するジシクロペンタジエン開環重合体水素化物、及び特開２００７－１６１０２号公報に記載のノルボルネン開環重合体水素化物等の公知のものを用いることができる。重合体（α）がノルボルネン系開環重合体の水素化物であれば、耐薬品性を向上させることができる。

重合体（α）の融点は、特に制限はないが、１１０℃以上であることが好ましく、２００℃以上であることがより好ましく、２２０℃以上であることがさらに好ましく、２５０℃以上であることが特に好ましく、また、３５０℃以下であることが好ましく、３２０℃以下であることがより好ましく、３００℃以下であることがさらに好ましく、２７０℃以下であることが特に好ましい。
融点が上記下限値以上である重合体（α）を用いることで、耐熱性に優れる繊維を得ることが可能となる。さらに、融点が上記上限値以下である重合体（α）を用いることで、繊維を効率的に製造することが可能となる。

重合体（α）のガラス転移温度は、特に制限はないが、８５℃以上であることが好ましく、８７℃以上であることがより好ましく、９０℃以上であることがさらに好ましく、９５℃以上であることが好ましく、また、１７０℃以下であることが好ましく、１５０℃以下であることがより好ましく、１３０℃以下であることがさらに好ましく、１０５℃以下であることが特に好ましい。
ガラス転移温度が上記下限値以上である重合体（α）を用いることで、耐熱性に優れた不織布を得ることが可能となる。さらに、ガラス転移温度が上記上限値以下である重合体（α）を用いることで、成形性に優れた不織布を得ることが可能となる。

中でも、重合体（α）としては、高い捕集率、低い圧力損失、および長期使用を可能にするフィルターを実現可能な不織布が得られ易いことから、シンジオタクチック立体規則性を有するジシクロペンタジエン開環重合体水素化物（以下、「重合体（α１）」ということがある。）が好ましい。ここで、ジシクロペンタジエン開環重合体水素化物は、ジシクロペンタジエン類に由来する単量体単位を含む開環重合体の水素化物である。さらに、ジシクロペンタジエン開環重合体水素化物に含有されるジシクロペンタジエン類に由来する単量体単位の含有割合は、ジシクロペンタジエン開環重合体水素化物全体を１００質量％とした場合に、９０質量％超であることが好ましく、９５質量％超であることがより好ましい。

重合体（α１）の立体規則性の程度は特に限定されないが、耐熱性及び耐薬品性の高い繊維が得られ易いことから、重合体（α１）としては、立体規則性の程度が高いものが好ましい。
具体的には、ジシクロペンタジエンを開環重合して開環重合体を得て、当該開環重合体を水素化して得られる繰り返し単位についてのラセモ・ダイアッドの割合（メソ／ラセモ比）が、５１％以上であることが好ましく、６０％以上であることがより好ましく、６５％以上であることがさらに好ましく、７０％以上であることが特に好ましく、８０％以上であることが最も好ましい。
ラセモ・ダイアッドの割合が高いものほど、すなわち、シンジオタクチック立体規則性の高いものほど、高い融点を有するジシクロペンタジエン開環重合体水素化物となる。
ラセモ・ダイアッドの割合は、本明細書の実施例に記載の、^１３Ｃ－ＮＭＲスペクトル分析に基づいて決定することができる。

重合体（α１）は、ジシクロペンタジエン、メチルジシクロペンタジエン、５，６－ジヒドロジシクロペンタジエン等の、ジシクロペンタジエン類を含む単量体組成物（以下、「単量体組成物（α１）」とも称する。）を用いて開環重合を行って開環重合体を得て、得られた開環重合体中に存在する不飽和結合の少なくとも一部を水素化することにより調製することができる。ここで、上記単量体組成物（α１）に含有される全単量体を１００質量％とした場合に、ジシクロペンタジエン類の含有割合は、９０質量％超であることが好ましく、９５質量％超であることがより好ましく、１００質量％であることが特に好ましい。なお、単量体組成物（α１）に含有されうるジシクロペンタジエン類以外の他の単量体としては、ジシクロペンタジエン類と共重合可能である限りにおいて特に限定されることなく、ジシクロペンタジエン類以外のノルボルネン類や、環状オレフィン類、及びジエン類等が挙げられる。

また、ジシクロペンタジエン類には、エンド体及びエキソ体の立体異性体が存在する。単量体組成物（α１）に配合するジシクロペンタジエン類としては、エンド体及びエキソ体の何れも用いることができる。ここで、ジシクロペンタジエン類として、エンド体及びエキソ体の何れか一方のみを含んでいてもよい。或いは、ジシクロペンタジエン類として、エンド体及びエキソ体が任意の割合で混在する立体異性体混合物を、単量体組成物（α１）中に配合してもよい。中でも、得られる半導体容器の耐熱性及び耐薬品性を向上させる観点から、エンド体及びエキソ体の何れか一方の割合が、ジシクロペンタジエン類の主成分であることが好ましい。換言すれば、単量体組成物（α１）に含有される全ジシクロペンタジエン類の含有量を１００質量％とした場合に、エンド体及びエキソ体の何れか一方の割合が５０質量％超であることが好ましい。さらに、単量体組成物（α１）に含有されるジシクロペンタジエン類の主成分である立体異性体の割合が、８０質量％以上であることが好ましく、９０質量％以上であることがより好ましく、９５質量％以上であることがさらに好ましく、９７質量％以上であることが特に好ましい。なお、ジシクロペンタジエン類は、エキソ体よりもエンド体の方が、合成が容易であることから、単量体組成物（α１）に配合するジシクロペンタジエン類中にて、エンド体の割合をエキソ体の割合よりも高くすることが好ましい。

重合体（α）を合成する際に用いる開環重合触媒は、ジシクロペンタジエン類を開環重合させ、シンジオタクチック立体規則性を有する開環重合体が得られるものであれば、特に限定されない。好ましい開環重合触媒としては、下式（１）で示される金属化合物を含有する触媒が挙げられる。
Ｍ（ＮＲ^１）Ｘ_４－ａ（ＯＲ^２）_ａ・Ｌ_ｂ・・・（１）

上記式（１）中、Ｍは周期律表第６族の遷移金属原子から選択される金属原子であり、Ｒ^１は３，４，５位の少なくとも１つの位置に置換基を有していてもよいフェニル基、又は－ＣＨ_２Ｒ^３（Ｒ^３は水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、又は置換基を有していてもよいアリール基である。）で表される基であり、Ｒ^２は置換基を有していてもよいアルキル基及び置換基を有していてもよいアリール基から選択される基であり、Ｘはハロゲン原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基及びアルキルシリル基から選択される基であり、Ｌは電子供与性の中性配位子である。ａは０又は１であり、ｂは０～２の整数である。

Ｍは、周期律表第６族の遷移金属原子（クロム、モリブデン、タングステン）であり、モリブデン又はタングステンが好ましく、タングステンがより好ましい。

Ｒ^１の、３，４，５位の少なくとも１つの位置に置換基を有していてもよいフェニル基の炭素数は、特に限定されないが、６以上であることが好ましく、また、２０以下であることが好ましく、１５以下であることがより好ましい。
前記置換基としては、メチル基、エチル基等のアルキル基；フッ素原子、塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子；メトキシ基、エトキシ基、イソプロポキシ基等のアルコキシ基；等が挙げられる。
また、３，４，５位の少なくとも２つの位置に存在する置換基が互いに結合し、環構造を形成していてもよい。
３，４，５位の少なくとも１つの位置に置換基を有していてもよいフェニル基としては、無置換フェニル基；４－メチルフェニル基、４－クロロフェニル基、３－メトキシフェニル基、４－シクロヘキシルフェニル基、４－メトキシフェニル基等の一置換フェニル基；３，５－ジメチルフェニル基、３，５－ジクロロフェニル基、３，４－ジメチルフェニル基、３，５－ジメトキシフェニル基等の二置換フェニル基；３，４，５－トリメチルフェニル基、３，４，５－トリクロロフェニル基等の三置換フェニル基；２－ナフチル基、３－メチル－２－ナフチル基、４－メチル－２－ナフチル基等の置換基を有していてもよい２－ナフチル基；等が挙げられる。

Ｒ^１の、－ＣＨ_２Ｒ^３で表される基において、Ｒ^３は水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基及び置換基を有していてもよいアリール基から選択される基を表す。
Ｒ^３の、置換基を有していてもよいアルキル基の炭素数は、特に限定されないが、１以上であることが好ましく、また、２０以下であることが好ましく、１０以下であることがより好ましく、４以下であることが特に好ましい。このアルキル基は直鎖状であっても分岐状であってもよい。
前記置換基としては、フェニル基、４－メチルフェニル基等の置換基を有していてもよいフェニル基；メトキシ基、エトキシ基等のアルコキシル基；等が挙げられる。
Ｒ^３の、置換基を有していてもよいアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｔ－ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ベンジル基、ネオフィル基等が挙げられる。

Ｒ^３の、置換基を有していてもよいアリール基の炭素数は、特に限定されないが、６以上であることが好ましく、また、２０以下であることが好ましく、１５以下であることがより好ましい。
前記置換基としては、メチル基、エチル基等のアルキル基；フッ素原子、塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子；メトキシ基、エトキシ基、イソプロポキシ基等のアルコキシ基；等が挙げられる。
Ｒ^３の、置換基を有していてもよいアリール基としては、フェニル基、１－ナフチル基、２－ナフチル基、４－メチルフェニル基、２，６－ジメチルフェニル基等が挙げられる。
これらの中でも、Ｒ^３で表される基としては、炭素数が１～２０のアルキル基が好ましい。

Ｘのハロゲン原子としては、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
Ｘの、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基としては、それぞれ、Ｒ^３の、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基として示したものと同様のものが挙げられる。
Ｘのアルキルシリル基としては、トリメチルシリル基、トリエチルシリル基、ｔ－ブチルジメチルシリル基等が挙げられる。
また、式（１）で示される金属化合物が、２以上のＸを有するとき、これらは互いに結合し、環構造を形成していてもよい。

Ｒ^２の、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基としては、それぞれ、Ｒ^３の、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基として示したものと同様のものが挙げられる。

Ｌの電子供与性の中性配位子としては、周期律表第１５族又は第１６族の原子を含有する電子供与性の配位子が挙げられる。その具体例としては、トリメチルホスフィン、トリイソプロピルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、トリフェニルホスフィン等のホスフィン類；ジエチルエーテル、ジブチルエーテル、１，２－ジメトキシエタン、テトラヒドロフラン等のエーテル類；トリメチルアミン、トリエチルアミン、ピリジン、ルチジン等のアミン類；等が挙げられる。これらの中でも、エーテル類が好ましい。

式（１）で示される金属化合物としては、フェニルイミド基を有するタングステン化合物（式（１）中のＭがタングステン原子で、Ｒ^１がフェニル基である化合物）が好ましく、テトラクロロタングステンフェニルイミド（テトラヒドロフラン）錯体がより好ましい。

式（１）で表される金属化合物の合成方法としては、特に限定されることなく、例えば、特開平５－３４５８１７号公報に記載された方法が挙げられる。すなわち、第６族遷移金属のオキシハロゲン化物と、３，４，５位の少なくとも１つの位置に置換基を有していてもよいフェニルイソシアナート類、又は一置換メチルイソシアナート類と、電子供与性の中性配位子（Ｌ）、及び必要に応じてアルコール類、金属アルコキシド、金属アリールオキシドを混合することにより、目的の金属化合物を合成することができる。
金属化合物の合成後、反応液をそのまま開環重合反応の触媒液として用いてもよいし、結晶化等の公知の精製処理により、金属化合物を単離、精製した後、得られた金属化合物を開環重合反応に供してもよい。

開環重合触媒は、式（１）で示される金属化合物のみからなるものであってもよいし、式（１）で示される金属化合物と有機金属還元剤を組み合わせたものであってもよい。式（１）で示される金属化合物と有機金属還元剤を組み合わせて用いることで、重合活性が向上する。
有機金属還元剤としては、炭素数１～２０の炭化水素基を有する周期律表第１、２、１２、１３、１４族の有機金属化合物が挙げられる。
前記有機金属化合物としては、メチルリチウム、ｎ－ブチルリチウム、フェニルリチウム等の有機リチウム；ブチルエチルマグネシウム、ブチルオクチルマグネシウム、ジヘキシルマグネシウム、エチルマグネシウムクロリド、ｎ－ブチルマグネシウムクロリド、アリルマグネシウムブロミド等の有機マグネシウム；ジメチル亜鉛、ジエチル亜鉛、ジフェニル亜鉛等の有機亜鉛；トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウム、ジエチルアルミニウムクロリド、エチルアルミニウムセスキクロリド、エチルアルミニウムジクロリド、ジエチルアルミニウムエトキシド、ジイソブチルアルミニウムイソブトキシド、エチルアルミニウムジエトキシド、イソブチルアルミニウムジイソブトキシド等の有機アルミニウム；テトラメチルスズ、テトラ（ｎ－ブチル）スズ、テトラフェニルスズ等の有機スズ；等が挙げられる。
これらの中でも、有機アルミニウム又は有機スズが好ましい。

開環重合反応は、通常、有機溶媒中で行われる。用いる有機溶媒は、開環重合体やその水素化物を、所定の条件で溶解もしくは分散させることが可能であり、かつ、開環重合反応や水素化反応を阻害しないものであれば、特に限定されない。
有機溶媒としては、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン等の脂肪族炭化水素類；シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、ジメチルシクロヘキサン、トリメチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、ジエチルシクロヘキサン、デカヒドロナフタレン、ビシクロヘプタン、トリシクロデカン、ヘキサヒドロインデン、シクロオクタン等の脂環族炭化水素類；ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；ジクロロメタン、クロロホルム、１，２－ジクロロエタン等のハロゲン系脂肪族炭化水素類；クロロベンゼン、ジクロロベンゼン等のハロゲン系芳香族炭化水素類；ニトロメタン、ニトロベンゼン、アセトニトリル等の含窒素炭化水素類；ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等のエーテル類；これらを組み合わせた混合溶媒；等が挙げられる。
これらの中でも、有機溶媒としては、芳香族炭化水素類、脂肪族炭化水素類、脂環族炭化水素類、エーテル類が好ましい。

開環重合反応は、単量体と、式（１）で示される金属化合物と、必要に応じて有機金属還元剤とを混合することにより開始することができる。これらの成分を添加する順序は、特に限定されない。例えば、単量体を含む溶液に、式（１）で示される金属化合物と有機金属還元剤を含む溶液を添加して混合してもよいし、有機金属還元剤を含む溶液に、単量体と式（１）で示される金属化合物を含む溶液を添加して混合してもよいし、単量体と有機金属還元剤を含む溶液に、式（１）で示される金属化合物の溶液を添加して混合してもよい。
各成分を添加する際は、それぞれの成分の全量を一度に添加してもよいし、複数回に分けて添加してもよい。また、比較的に長い時間（例えば１分間以上）にわたって連続的に添加してもよい。

開環重合反応開始時の単量体の濃度は、特に限定されないが、１質量％以上であることが好ましく、２質量％以上であることがより好ましく、３質量％以上であることが特に好ましく、また、５０質量％以下であることが好ましく、４５質量％以下であることがより好ましく、４０質量％以下であることが特に好ましい。単量体の濃度が低すぎると、生産性が低下するおそれがあり、高すぎると、開環重合反応後の溶液粘度が高すぎて、その後の水素化反応が困難になる場合がある。

開環重合反応に用いる式（１）で示される金属化合物の量は、（金属化合物：単量体）のモル比が、１：１００～１：２，０００，０００となる量であることが好ましく、１：５００～１：１，０００，０００となる量であることがより好ましく、１：１，０００～１：５００，０００となる量であることが特に好ましい。前記金属化合物の量が多すぎると、反応後に金属化合物を除去するのが困難になるおそれがあり、少なすぎると十分な重合活性が得られない場合がある。

有機金属還元剤を用いる場合、その使用量は、式（１）で示される金属化合物１モルに対して、０．１モル以上が好ましく、０．２モル以上がより好ましく、０．５モル以上が特に好ましく、１００モル以下が好ましく、５０モル以下がより好ましく、２０モル以下が特に好ましい。有機金属還元剤の使用量が少なすぎると重合活性が十分に向上しない場合があり、多すぎると副反応が起こりやすくなるおそれがある。

重合反応系には、活性調整剤を添加してもよい。活性調整剤を用いることで、開環重合触媒を安定化したり、開環重合反応の反応速度や重合体の分子量分布を調整することができる。
活性調整剤は、官能基を有する有機化合物であれば特に制限されない。活性調整剤としては、含酸素化合物、含窒素化合物、含リン化合物等が挙げられる。
含酸素化合物としては、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、アニソール、フラン、テトラヒドロフラン等のエーテル類；アセトン、ベンゾフェノン、シクロヘキサノンなどのケトン類；エチルアセテート等のエステル類；等が挙げられる。
含窒素化合物としては、アセトニトリル、ベンゾニトリル等のニトリル類；トリエチルアミン、トリイソプロピルアミン、キヌクリジン、Ｎ，Ｎ－ジエチルアニリン等のアミン類；ピリジン、２，４－ルチジン、２，６－ルチジン、２－ｔ－ブチルピリジン等のピリジン類；等が挙げられる。
含リン化合物としては、トリフェニルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、トリフェニルホスフェート、トリメチルホスフェート等のホスフィン類；トリフェニルホスフィンオキシド等のホスフィンオキシド類；等が挙げられる。
活性調整剤は、１種単独で、あるいは２種以上を組み合わせて用いることができる。添加する活性調整剤の量は、特に限定されないが、通常、式（１）で示される金属化合物に対して０．０１モル％以上１００モル％以下の間で選択すればよい。

重合反応系には、開環重合体の分子量を調整するために分子量調整剤を添加してもよい。分子量調整剤としては、１－ブテン、１－ペンテン、１－ヘキセン、１－オクテン等のα－オレフィン類；スチレン、ビニルトルエン等の芳香族ビニル化合物；エチルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテル、アリルグリシジルエーテル、酢酸アリル、アリルアルコール、グリシジルメタクリレート等の酸素含有ビニル化合物；アリルクロライド等のハロゲン含有ビニル化合物；アクリルアミド等の窒素含有ビニル化合物；１，４－ペンタジエン、１，４－ヘキサジエン、１，５－ヘキサジエン、１，６－ヘプタジエン、２－メチル－１，４－ペンタジエン、２，５－ジメチル－１，５－ヘキサジエン等の非共役ジエン；１，３－ブタジエン、２－メチル－１，３－ブタジエン、２，３－ジメチル－１，３－ブタジエン、１，３－ペンタジエン、１，３－ヘキサジエン等の共役ジエン；等が挙げられる。
分子量調整剤は、１種単独で、あるいは２種以上を組み合わせて用いることができる。添加する分子量調整剤の量は目的とする分子量に応じて適宜決定すればよいが、通常、ジシクロペンタジエンに対して、０．１～５０モル％の範囲で選択すればよい。

重合温度は、特に制限はないが、－７８℃以上であることが好ましく、－３０℃以上であることがより好ましく、＋２００℃以下であることが好ましく、＋１８０℃以下であることがより好ましい。重合時間は、特に制限はなく、反応規模にも依存するが、通常１分間以上１０００時間以下の範囲である。

開環重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、特に限定されないが、１，０００以上であることが好ましく、２，０００以上であることがより好ましく、１０，０００以上であることが特に好ましく、また、１，０００，０００以下であることが好ましく、５００，０００以下であることがより好ましく、１００，０００以下であることが特に好ましい。このような重量平均分子量を有する開環重合体を水素化反応に供することによって、成形加工性と、耐薬品性等とのバランスに優れた重合体（α１）を得ることができる。開環重合体の重量平均分子量は、重合時に用いる分子量調整剤の添加量などを調節することにより、調節することができる。

開環重合体の分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）は、特に限定されないが、通常、１．０以上であり、１．５以上であることが好ましく、また、４．０以下であることが好ましく、３．５以下であることがより好ましい。このような分子量分布を有する開環重合体を水素化反応に供することによって、成形加工性に優れた重合体（α１）を得ることができる。開環重合体の分子量分布は、重合反応時における単量体の添加方法や単量体の濃度により、調節することができる。
開環重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）や分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）は、テトラヒドロフランを展開溶媒とするゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定されるポリスチレン換算値である。

前記開環重合反応により、シンジオタクチック立体規則性を有するジシクロペンタジエン開環重合体を得ることができる。開環重合反応の後に行う水素化反応において反応条件を適切に設定すれば、通常、水素化反応により開環重合体のタクチシチーが変化することはないため、このシンジオタクチック立体規則性を有するジシクロペンタジエン開環重合体を水素化反応に供することにより、目的の重合体（α１）を得ることができる。なお、開環重合体のシンジオタクチック立体規則性の度合いは、開環重合触媒の種類を選択したり、使用量を変えたりすることなどにより、調節することができる。例えば、開環重合触媒の使用量を少なくすると、シンジオタクチック立体規則性がより高くなる傾向がある。

開環重合体の水素化反応は、水素化触媒の存在下で、反応系内に水素を供給することにより行うことができる。水素化触媒としては、オレフィン化合物の水素化触媒として公知の均一系触媒や不均一系触媒を用いることができる。

均一系触媒としては、酢酸コバルト／トリエチルアルミニウム、ニッケルアセチルアセトナート／トリイソブチルアルミニウム等の、遷移金属化合物と有機アルミニウム化合物の組み合わせからなる触媒；チタノセンジクロリド／ｎ－ブチルリチウム、ジルコノセンジクロリド／ｓｅｃ－ブチルリチウム等の、遷移金属化合物と有機アルカリ金属化合物の組み合わせからなる触媒；テトラブトキシチタネート／ジメチルマグネシウム等の、遷移金属化合物と有機マグネシウム化合物の組み合わせからなる触媒；ジクロロビス（トリフェニルホスフィン）パラジウム、クロロヒドリドカルボニルトリス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム、クロロヒドリドカルボニルビス（トリシクロヘキシルホスフィン）ルテニウム、ビス（トリシクロヘキシルホスフィン）ベンジリジンルテニウム（ＩＶ）ジクロリド、クロロトリス（トリフェニルホスフィン）ロジウム等の貴金属錯体触媒；等が挙げられる。

不均一系触媒としては、ニッケル、パラジウム、白金、ロジウム、ルテニウム等の金属触媒；ニッケル／シリカ、ニッケル／ケイソウ土、ニッケル／アルミナ、パラジウム／カーボン、パラジウム／シリカ、パラジウム／ケイソウ土、パラジウム／アルミナ等の、前記金属をカーボン、シリカ、ケイソウ土、アルミナ、酸化チタンなどの担体に担持させてなる固体触媒が挙げられる。

水素化反応は、通常、不活性有機溶媒中で行われる。不活性有機溶媒としては、ベンゼン、トルエン等の芳香族炭化水素類；ペンタン、ヘキサン等の脂肪族炭化水素類；シクロヘキサン、デカヒドロナフタレンなどの脂環族炭化水素類；テトラヒドロフラン、エチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル類；等が挙げられる。
不活性有機溶媒は、開環重合反応に用いた溶媒と同じものであってもよいし、異なるものであってもよい。また、開環重合反応液にそのまま水素化触媒を添加して、水素化反応を行ってもよい。

水素化反応の反応条件は、用いる水素化触媒によっても異なるが、反応温度は、－２０℃以上であることが好ましく、－１０℃以上であることがより好ましく、０℃以上であることが特に好ましく、＋２５０℃以下であることが好ましく、＋２２０℃以下であることがより好ましく、＋２００℃以下であることが特に好ましい。反応温度が低すぎると反応速度が遅くなりすぎる場合があり、反応温度が高すぎると副反応が起こる場合がある。
水素圧力は、０．０１ＭＰａ以上であることが好ましく、０．０５ＭＰａ以上であることがより好ましく、０．１ＭＰａ以上であることが特に好ましく、また、２０ＭＰａ以下であることが好ましく、１５ＭＰａ以下であることがより好ましく、１０ＭＰａ以下であることが特に好ましい。水素圧力が低すぎると反応速度が遅くなりすぎる場合があり、水素圧力が高すぎると高耐圧反応装置等の特別な装置が必要になる。
反応時間は、所望の水素化率が達成されるのであれば特に限定されないが、通常、０．１時間以上１０時間以下である。
水素化反応後は、常法に従って、目的の重合体（α１）を回収すればよい。さらに、回収した重合体（α１）を、常法に従って乾燥処理してもよい。

水素化反応における水素化率（水素化された不飽和結合の割合）は、特に限定されないが、９８％以上であることが好ましく、９９％以上であることがより好ましい。水素化率が高くなるほど、重合体（α１）の耐熱性が良好なものとなる。なお、水素化率は、^１Ｈ－ＮＭＲにより測定することができる。

本発明において、重合体（α）は一種単独で、あるいは二種以上を組み合わせて用いることができる。

＜繊維＞
繊維としては、上述の結晶性の脂環式構造含有樹脂を含有するものであれば、特に制限はないが、結晶性の脂環式構造含有樹脂を５０質量％以上含有することが好ましく、結晶性の脂環式構造含有樹脂を１００質量％含有すること、即ち、結晶性の脂環式構造含有樹脂のみからなることがより好ましい。

〔数平均繊維径〕
数平均繊維径としては、特に制限はないが、１ｎｍ以上であることが好ましく、５ｎｍ以上であることがより好ましく、１０ｎｍ以上であることが特に好ましく、また、１０μｍ以下であることが好ましく、７μｍ以下であることがより好ましく、５μｍ以下であることが特に好ましい。
数平均繊維径が上記下限値以上である繊維からなる不織布を用いることで、作業性を向上させることが可能となる。さらに、数平均繊維径が上記上限値以下である繊維からなる不織布を用いることで、捕集率の高いフィルターを作製することが可能となる。
なお、「数平均繊維径」は、本明細書の実施例に記載の方法で測定することができる。

以下、「不織布の孔径」、「不織布の表面積」、「不織布の通気度」について詳述する。

＜不織布の孔径＞
不織布の孔径は、５μｍ以下である限り、特に制限はないが、０．１μｍ以上であることが好ましく、０．５μｍ以上であることがより好ましく、０．８μｍ以上であることが特に好ましく、また、４．９μｍ以下であることが好ましく、４．８μｍ以下であることがより好ましく、４．７μｍ以下であることが特に好ましい。
孔径が上記下限値以上である不織布を用いることで、圧力損失が少ないフィルターを作製することが可能となる。さらに、孔径が上記上限値以下である不織布を用いることで、捕集率の高いフィルターを作製することが可能となる。
ここで、上記「不織布の孔径」とは、「バブルポイント法で測定した孔径」を意味し、不織布を液体（例えば、イソプロピルアルコール等）に浸漬し、気体圧力を上昇させ、最初に最大孔径の孔から気泡が発生し、その気泡発生時の圧力（バブルポイント圧）に基づいて、下記式（１）を用いて算出される最大孔径Ｄ_ＢＰ（μｍ）を意味する。
Ｄ_ＢＰ＝（４γｃｏｓθ／Ｐ）×１０^－６・・・（１）
但し、式（１）中、γは液体の表面張力（Ｎ／ｍ）を表し、θは液体と不織布との接触角（ｒａｄ）を表し、Ｐはバブルポイント圧（Ｐａ）を表す。

＜不織布の表面積＞
不織布の表面積は、特に制限はないが、０．５ｍｍ^２／ｇ以上であることが好ましく、０．７ｍｍ^２／ｇ以上であることがより好ましく、０．９ｍｍ^２／ｇ以上であることが特に好ましく、また、２０ｍｍ^２／ｇ以下であることが好ましく、１５ｍｍ^２／ｇ以下であることがより好ましく、１２ｍｍ^２／ｇ以下であることが特に好ましい。
表面積が上記下限値以上である不織布を用いることで、捕集率の高いフィルターの作製が可能となる。さらに、表面積が上記上限値以下である不織布を用いることで、作業性を向上させることが可能となる。
ここで、上記「不織布の表面積」は、「不織布１ｇ当たりの表面積」を意味し、比表面積測定装置（ＭＯＮＯＳＯＲＢ、カンタクローム社製）を用いることにより測定される。
なお、不織布を備えるフィルターにおいて、不織布の孔径が大きくなると不織布の表面積が小さくなる傾向があるが、不織布の表面積が小さくなり過ぎると、液体の流し始めにかかる負荷が大きくなり、不織布における繊維が損傷し、フィルターにおける不織布の早期交換が必要となることがある。しかしながら、不織布の表面積が上記好ましい範囲内でれば、フィルターにおける不織布の早期交換を抑制することができる。

＜不織布の通気度＞
不織布の通気度は、特に制限はないが、１．０（ｓ（秒）／１０００ｍＬ）以上であることが好ましく、２．０（ｓ／１０００ｍＬ）以上であることがより好ましく、３．０（ｓ／１０００ｍＬ）以上であることが特に好ましい。
通気度が上記下限値以上である不織布を用いることで、捕集率の高いフィルターの作製が可能となる。
なお、「不織布の通気度」は、本明細書の実施例に記載の方法で測定することができる。

（フィルター）
本発明のフィルターは、本発明の不織布を備えるものであり、例えば、特開昭６０－５８２０８号公報に記載の公知の方法により、不織布をプリーツ状に加工したものをカートリッジに収容したもの、などが挙げられる。

＜プリーツ＞
プリーツの折り目の数としては、特に制限はないが、１０個以上であることが好ましく、また、１０００個以下であることが好ましい。
プリーツの折り目の数を適宜調整することで、（ｉ）カートリッジへの収容しやすさや、（ｉｉ）不織布と液体との接触面積、などを調整することができる。

＜カートリッジ＞
カートリッジとしては、特に制限はなく、例えば、特開昭６０－５８２０８号公報に記載の公知のカートリッジ、などが挙げられる。

以下、「フィルターの捕集率」、「フィルターの圧力損失」、「フィルターにおける不織布の交換所要時間」について詳述する。

＜捕集率＞
フィルターの捕集率は、特に制限はないが、９５％以上であることが好ましく、９６％以上であることがより好ましく、９７％以上であることが特に好ましく、１００％であることが最も好ましい。
捕集率が上記下限値以上である不織布を用いることで、効率よく粒子を捕集することができる。
なお、「捕集率」は、本明細書の実施例に記載の方法で測定することができる。

＜圧力損失＞
フィルターの圧力損失は、特に制限はないが、１０ｋＰａ以下であることが好ましく、９．８ｋＰａ以下であることがより好ましく、９．６ｋＰａ以下であることが好ましく、０ｋＰａであることが最も好ましい。
圧力損失が上記上限値以下である不織布を用いることで、不織布の目詰まりを抑制することができる。
なお、「圧力損失」は、本明細書の実施例に記載の方法で測定することができる。

＜交換所要時間＞
フィルターにおける不織布の交換所要時間は、特に制限はないが、２００分間以上であることが好ましく、２４０分間以上であることがより好ましく、２６０分間以上であることが特に好ましい。
交換所要時間が上記下限値以上である不織布を用いることで、不織布の目詰まりを抑制すると共に、効率よく粒子を捕集することができる。
なお、「交換所要時間」は、本明細書の実施例に記載の方法で測定することができる。

また、本発明のフィルターは、半導体チップ等の半導体素子を製造する際に使用される半導体素子製造用フィルターとして好適に用いられる。

＜半導体素子製造用フィルター＞
半導体素子製造用フィルターは、例えば、半導体チップ等の半導体素子を製造する際に使用される薬液等における不純物としての微粒子（パーティクル）を除去するために用いられる。
なおここで、半導体製造工程で用いられる薬液等に含まれる不純物としての微粒子（パーティクル）の粒子径は、通常、１００ｎｍ以下であるが、これらが凝集して二次粒子を形成すると、粒子径が１μｍ程度となる。ここで、本発明の不織布（バブルポイント法で測定した孔径：５μｍ以下）を備えるフィルターを用いれば、上記粒子径が１μｍ程度の二次粒子を捕集することができる。

以下、本発明について実施例に基づき具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。なお、以下の説明において、量を表す「％」及び「部」は、特に断らない限り、質量基準である。また、複数種類の単量体を共重合して製造される重合体において、ある単量体を重合して形成される単量体単位の前記重合体における割合は、別に断らない限り、通常は、その重合体の重合に用いる全単量体に占める当該ある単量体の比率（仕込み比）と一致する。
実施例及び比較例において、各種の物性の測定は、下記の方法に従って行った。

各種の物性の測定は、下記の方法に従って行った。
（１）開環重合体の分子量（重量平均分子量及び数平均分子量）
製造した各種開環重合体を含む溶液を採取して、測定用試料とした。得られた測定用試料について、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）システムＨＬＣ
－８３２０（東ソー社製）で、Ｈタイプカラム（東ソー社製）を用い、温度４０℃の下、テトラヒドロフランを溶媒として、開環重合体の分子量をポリスチレン換算値として求めた。

（２）脂環式構造含有樹脂の水素化率（水素添加率）
脂環式構造含有樹脂（Ａ）および（Ｂ）を測定用試料とした。
脂環式構造含有樹脂（Ａ）の水素化率は、オルトジクロロベンゼン－ｄ^４を溶媒として、１４５℃で、^１Ｈ－ＮＭＲ測定により測定した。
脂環式構造含有樹脂（Ｂ）の水素化率は、重クロロホルムを溶媒として、２３℃で、^１Ｈ－ＮＭＲ測定により算出した。

（３）脂環式構造含有樹脂のラセモ・ダイアッドの割合
脂環式構造含有樹脂（Ａ）および（Ｂ）を測定用試料とした。オルトジクロロベンゼン－ｄ_４／１，２，４－トリクロロベンゼン（ＴＣＢ）－ｄ_３（混合比（質量基準）１／２）を溶媒として、２００℃でｉｎｖｅｒｓｅ－ｇａｔｅｄｄｅｃｏｕｐｌｉｎｇ法を適用して^１３Ｃ－ＮＭＲ測定を行い、ラセモ・ダイアッドの割合（メソ／ラセモ比）を求めた。具体的には、例えば、脂環式構造含有樹脂（Ａ）の場合、オルトジクロロベンゼン－ｄ_４の１２７．５ｐｐｍのピークを基準シフトとして、メソ・ダイアッド由来の４３．３５ｐｐｍのシグナルと、ラセモ・ダイアッド由来の４３．４３ｐｐｍのシグナルの強度比に基づいて、ラセモ・ダイアッドの割合を求めた。

（４）脂環式構造含有樹脂のガラス転移温度及び融点
脂環式構造含有樹脂（Ａ）および（Ｂ）を測定用試料とした。得られた測定用試料を、窒素雰囲気下、３２０℃に加熱してから、液体窒素を用いて、冷却速度－１０℃／分にて室温まで急冷した。示差走査熱量計（ＤＳＣ）を用いて、１０℃／分で昇温し、脂環式構造含有樹脂のガラス転移温度及び融点を求めた。

（５）不織布の孔径
脂環式構造含有樹脂（Ａ）および（Ｂ）について得られた不織布を測定用試料とした。細孔径分布測定装置（ＰＭＩ社製、Ｐｅｒｍ－Ｐｏｒｏｍｅｔｅｒ）を用い、バブルポイント法（ＡＳＴＭ Ｆ３１６－８６、ＪＩＳ Ｋ ３８３２）に基づき、イソプロピルアルコールを測定液として、測定用試料の孔径を算出した。

（６）不織布の通気度
脂環式構造含有樹脂（Ａ）及び（Ｂ）について得られた不織布を測定用試料とした。測定用試料の通気度は、５０ｍｍ×５０ｍｍのサイズにカットした測定用試料について、ＪＩＳ Ｐ８１１７に従いガーレー式デンソメーター（安田精機製作所製、Ｎｏ．３２３－ＡＵＴＯ）を用いて測定した。

（７）不織布を構成する繊維の数平均繊維径
脂環式構造含有樹脂（Ａ）及び（Ｂ）について得られた不織布を測定用試料とした。測定用試料の不織布を構成する繊維の数平均繊維径は、デジタルマイクロスコープ（ＶＨＫ－６０００、キーエンス社製）を用いて、任意に１０本選択し、観察により測定した。

（８）捕集率
脂環式構造含有樹脂（Ａ）および（Ｂ）について得られた不織布を用いて作製したフィルターサンプルを測定用試料とした。測定用試料の捕集率は、以下の方法により求めた。
得られた不織布を４００ｃｍ×２０ｃｍのサイズにカットした。長手方向に１０ｃｍずつの長さで４０回つづら折りにしたものをカートリッジ内に設置したものをフィルターサンプルとした。
フィルターに流すセリアスラリーとしては、数平均粒径１μｍのセリアパウダーを０．１質量部となるように水中に分散させたものを用いた。
フィルターサンプルにセリアスラリーを分速１Ｌの流量で２０分間流した後のスラリー中のセリア濃度を粒度分布計（株式会社ピーエスエスジャパン製、Ａｃｃｕｓｉｚｅｒ ＦＸ－Ｎａｎｏ）で測定し、以下の式により捕集率を算出した。
Ｘ＝（Ａ０－Ａ）／Ａ０×１００
Ｘ（％）は捕集率を表し、Ａ０（個）は初期のスラリー中セリア個数を表し、Ａ（個）は２０分間流した後のスラリー中セリア個数を表す。

（９）圧力損失
脂環式構造含有樹脂（Ａ）および（Ｂ）について得られた不織布を用いて作製したフィルターサンプルを測定用試料とした。測定用試料の圧力損失は、フィルターサンプルにセリアスラリーを分速１Ｌの流量で流し始めて１分間後の差圧を測定することで算出した。
なお、セリアスラリーとして、上記「（８）捕集率」で用いたセリアスラリーと同じものを用いた。

（１０）交換所要時間
脂環式構造含有樹脂（Ａ）および（Ｂ）について得られた不織布を用いて作製したフィルターサンプルを測定用試料とした。測定用試料であるフィルターサンプルにおける不織布の交換所要時間は、フィルターサンプルにセリアスラリーを分速１Ｌの流量で流し始めて差圧が５０ｋＰａに達するまでの時間を測定した。

［脂環式構造含有樹脂（Ａ）（結晶性の脂環式構造含有樹脂）の製造］
内部を窒素置換した金属製耐圧反応容器に、有機溶媒であるシクロヘキサン１５４．５部、ジシクロペンタジエン類であるジシクロペンタジエン（エンド体含有率９９％以上）のシクロヘキサン溶液（濃度７０％）４２．８部（ジシクロペンタジエンとして３０部）、分子量調整剤である１－ヘキセン１．９部を加え、全容を５３℃に加熱した。一方、開環重合触媒としての金属化合物であるテトラクロロタングステンフェニルイミド（テトラヒドロフラン）錯体０．０１４部を０．７０部のトルエン（有機溶媒）に溶解して得られた溶液に、開環重合触媒としての有機金属還元剤であるジエチルアルミニウムエトキシドのｎ－ヘキサン溶液（濃度１９％）０．０６１部を加えて１０分間撹拌し、開環重合触媒溶液を調製した。この開環重合触媒溶液を前記反応器内に添加し、５３℃で４時間、開環重合反応を行い、ジシクロペンタジエン開環重合体を含む溶液を得た。

得られたジシクロペンタジエン開環重合体を含む溶液２００部に、停止剤として、１，２－エタンジオール０．０３７部を加えて、６０℃で１時間撹拌し、重合反応を停止させた。その後、吸着剤であるハイドロタルサイト様化合物（製品名「キョーワード（登録商標）２０００」、協和化学工業社製）を１部加えて、６０℃に加温し、１時間撹拌した。濾過助剤（製品名「ラヂオライト（登録商標）＃１５００」昭和化学工業社製）を０．４部加え、ＰＰプリーツカートリッジフィルター（製品名「ＴＣＰ－ＨＸ」、ＡＤＶＡＮＴＥＣ東洋社製）を用いて、吸着剤を濾別し、ジシクロペンタジエン開環重合体を含む溶液を得た。
この溶液の一部を用いて、ジシクロペンタジエン開環重合体の分子量を測定したところ、重量平均分子量（Ｍｗ）は２８，１００、数平均分子量（Ｍｎ）は８，７５０、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）は３．２１であった。

得られたジシクロペンタジエン開環重合体を含む溶液２００部（重合体含有量３０部）に、シクロヘキサン１００部、クロロヒドリドカルボニルトリス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム０．００４３部を添加し、水素圧６ＭＰａ、１８０℃で４時間水素化反応を行なった。反応液は、固形分が析出したスラリー液であった。
反応液を遠心分離することにより、固形分と溶液とを分離し、固形分を、６０℃で２４時間減圧乾燥し、ジシクロペンタジエン開環重合体水素化物（脂環式構造含有樹脂（Ａ））２８．５部を得た。
水素化反応における不飽和結合の水素化率は９９％以上、ジシクロペンタジエン開環重合体水素化物のガラス転移温度は９８℃、融点は２６２℃であった。また、ラセモ・ダイアッドの割合（メソ／ラセモ比）は８９％であった。

［脂環式構造含有樹脂（Ｂ）（非晶性の脂環式構造含有樹脂）の製造］
ベンジリデン（１，３－ジメシチルイミダゾリジン－２－イリデン）（トリシクロヘキシルホスフィン）ルテニウムジクロリド５１部と、トリフェニルホスフィン７９部とを、トルエン９５２部に溶解させて触媒液を調製した。
窒素気流下で、テトラシクロ〔６．２．１．１^３，６．０^２，７〕ドデカ－４－エン７０部および２－ノルボルネン３０部からなるモノマー液と連鎖移動剤として１－ヘキセン０．３部をシクロヘキサン３０００部に溶解させた。これに上記触媒液６部を攪拌しながら加えて、１００℃に保ちながら２時間重合した。室温に戻し、重合溶液を２－プロパノール１２０００部に注ぎこみ、重合体を凝固させた。凝固した重合体を２－プロパノールで洗浄及びろ過を繰り返し、溶媒を除去した。

上記で得られた重合体３０部をシクロヘキサン７０部に溶解し、これにアルミナ担持ニッケル触媒（触媒１部中にニッケル０．３５部および酸化ニッケル０．２部を含有し、細孔容積が０．８ｃｍ^３／ｇ、比表面積が３００ｍ^２／ｇである）１部とイソプロピルアルコール２部を添加し、オートクレーブ中、２３０℃、水素圧５０ｋｇｆ／ｃｍ^２で５時間反応させた。反応終了後、精密ろ過によってニッケル触媒を１ｐｐｍ以下になるまで除去し、反応溶液を５００部のイソプロピルアルコールに攪拌しながら注ぎ、環状オレフィン重合体を凝固させた。凝固した重合体を、イソプロピルアルコールで洗浄及びろ過を繰り返し、次いで溶媒含有量１ｐｐｍになるまで溶媒を除去し、脂環式構造含有樹脂（Ｂ）を得た。

炭素－炭素不飽和結合への水素添加率（水素化率）はほぼ１００％であった。
脂環式構造含有樹脂（Ｂ）のＭｗは４００００、Ｍｎは２９０００、Ｍｗ／Ｍｎは１．３８、Ｔｇは１２０℃であった。なお、メルトインデックスフローは、ＡＳＴＭ Ｄ１２３８に従って、試験温度２６０℃、試験荷重２１．１７Ｎで測定した。

表１に、上記に従って得られた脂環式構造含有樹脂（Ａ）および（Ｂ）の物性を示す。

（実施例１）
３００℃に加熱した押出機（東芝機械株式会社製、商品名「ＴＥＭ－３５」）で脂環式構造含有樹脂（Ａ）を溶融させ、０．１５μｍの径のノズル孔が１５００個開いたダイを有するメルトブロー成形機（新和工業株式会社製、商品名「ＳＷＭＢ－Ｔ３００」）により、不織布を作製した。なお、コンベアスピードを５０ｍ／ｍｉｎとした。得られた不織布を用いて、上記方法に従って各種評価を行った。結果を表２に示す。

（実施例２）
実施例１において、押出機の加熱温度を３００℃にすることに代えて、押出機の加熱温度を３３０℃にしたこと以外は、実施例１と同様にして不織布を製造した。得られた不織布について、上記方法に従って各種評価を行った。結果を表２に示す。

（比較例１）
実施例１において、脂環式構造含有樹脂（Ａ）を用い、コンベアスピードを５０ｍ／ｍｉｎとすることに代えて、脂環式構造含有樹脂（Ｂ）を用い、コンベアスピードを１０ｍ／ｍｉｎとしたこと以外は、実施例１と同様にして不織布を製造した。得られた不織布について、上記方法に従って各種評価を行った。結果を表２に示す。

（比較例２）
実施例１において、押出機の加熱温度を３００℃にすることに代えて、押出機の加熱温度を２８０℃にしたこと以外は、実施例１と同様にして不織布を製造した。得られた不織布について、上記方法に従って各種評価を行った。結果を表２に示す。

表２より、結晶性の脂環式構造含有樹脂を含有する繊維からなり、バブルポイント法で測定した孔径が５μｍ以下である不織布を用いた実施例１および２は、フィルターの捕集率が高く、フィルターの圧力損失が低く、フィルターにおける不織布の交換所要時間が長いフィルターを実現できることが分かる。
なお、一般に、フィルターの捕集率を上げようとすると、フィルターの圧力損失が上昇する傾向があり、また、フィルターにおける不織布の交換所要時間が短くなる傾向がある。しかしながら、結晶性の脂環式構造含有樹脂（Ａ）からなる不織布を用いた実施例１，２のフィルターでは、高い捕集率、低い圧力損失、および長期使用を可能にしていることが分かる。一方、非晶性の脂環式構造含有樹脂（Ｂ）からなる不織布を用いた比較例１のフィルターでは、捕集率を上げようとすると、圧力損失が上がってしまい、また、短時間で不織布の交換が必要となることが分かる。
さらに、結晶性の脂環式構造含有樹脂（Ａ）からなるが、孔径が５μｍより大きい不織布を用いた比較例２のフィルターでは、捕集率が下がってしまい、また、短時間で不織布の交換が必要となることが分かる。

本発明によれば、高い捕集率、低い圧力損失、および長期使用を可能にするフィルターを実現可能な不織布、および、該不織布を備えるフィルターを提供することができる。

Claims (5)

1. 結晶性の脂環式構造含有樹脂を含有する繊維からなり、
   下記式（１）を用いて算出される、バブルポイント法で測定した最大孔径が５μｍ以下であり、
   通気度が１．０（ｓ／１００ｍＬ）以上である、不織布。
   （４γｃｏｓθ／Ｐ）×１０ ^－６ ・・・（１）
   但し、式（１）中、γはイソプロピルアルコールの表面張力（Ｎ／ｍ）を表し、θはイソプロピルアルコールと不織布との接触角（ｒａｄ）を表し、Ｐはバブルポイント圧（Ｐａ）を表す。
2. 前記結晶性の脂環式構造含有樹脂が、立体規則性を有するジシクロペンタジエン開環重合体水素化物である、請求項１に記載の不織布。
3. 表面積が０．５ｍｍ ^２ ／ｇ以上２０ｍｍ ^２ ／ｇ以下である、請求項１または２に記載の不織布。
4. 請求項１～３のいずれか一項に記載の不織布を備える、フィルター。
5. 半導体素子の製造に用いられる半導体素子製造用フィルターである、請求項４に記載のフィルター。